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ドライポンプのメーカー21社一覧や企業ランキングを掲載中！ドライポンプ関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:株式会社荏原製作所、2位:株式会社大阪真空機器製作所、3位:有限会社スコットプランニングとなっています。 ドライポンプの概要、用途、原理もチェック！
ドライポンプとは、オイルやその他の液体を利用せず真空を実現するさまざまな真空ポンプの総称です。
ドライポンプはオイルなどを利用して真空を作り出す、ウェットポンプと対比する名称です。ルーツ型ドライポンプ、スクロールポンプ、クロー型ドライポンプ、ダイアフラム型ドライポンプなど、メカニズムの違いによっていくつかの種類があります。
また、ロータリーポンプとは異なり、オイルミストの排出がないので、クリーンな環境での利用に適しています。
2025年8月の注目ランキングベスト9
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社荏原製作所 |
35.3%
|
| 2 | 株式会社大阪真空機器製作所 |
17.6%
|
| 3 | 有限会社スコットプランニング |
11.8%
|
| 4 | 株式会社協和コーポレーション |
5.9%
|
| 5 | 西和産業株式会社 |
5.9%
|
| 6 | 株式会社アンレット |
5.9%
|
| 7 | アネスト岩田株式会社 |
5.9%
|
| 8 | 神港精機株式会社 |
5.9%
|
| 9 | 株式会社アルバック |
5.9%
|
項目別
使用用途
#半導体製造
#医薬品製造
#食品製造
#真空乾燥
#分析装置
#真空搬送
#表面処理
#化学プロセス
#真空成形
使用環境
防爆型
到達真空度 Pa
0 - 100
100 - 1,000
1,000 - 10,000
10,000 - 20,000
排気速度 L/min
0 - 100
100 - 500
500 - 1,000
1,000 - 2,000
モーター出力 W
0 - 100
100 - 200
200 - 300
電源電圧 V
90 - 100
100 - 120
120 - 200
200 - 220
220 - 240
240 - 380
使用周囲温度範囲 ℃
-20 - 0
0 - 10
10 - 20
20 - 30
30 - 40
40 - 50
排気口径 mm
5 - 10
10 - 20
質量 kg
0 - 5
5 - 10
10 - 20
消費電力 W
0 - 100
100 - 500
33 点の製品がみつかりました
33 点の製品
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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標準で防爆仕様・可燃性ガス（水素、メタンほか）の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです！ ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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標準で防爆仕様・可燃性ガス（水素、メタンほか）の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです！ ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・極めて小型・軽量 ■推奨アプリケーション ・ガス分析 ・コン...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・極めて小型・軽量 ・調整ノブにより排気速度を変更可能 ■推...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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標準で防爆仕様・可燃性ガス（水素、メタンほか）の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです！ ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
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■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・ガスバラストにより高湿ガスに有効 ・高沸点溶媒の取り扱いに...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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標準で防爆仕様・可燃性ガス（水素、メタンほか）の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです！ ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・小型、軽量 ・サーマルスイッチ、ヒューズ内蔵 ■推奨アプリ...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・真空専用、圧力専用かをお知らせ下さい。 ・MF-10-TはMF-10を同一寸法内でさらに性能アップしております。 ・使用電圧は単相10...
2種類の品番
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ポンプを直列接続させ高い真空度を得ることが出来ます。又、特別仕様として並列接続も可能です。 ・使用電圧はAC100V/200V及び...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ポンプを直列接続させ高い真空度を得ることが出来ます。又、特別仕様として並列接続も可能です。 ・使用電圧はAC100V/200V及び...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ポンプを直列接続させ高い真空度を得ることが出来ます。又、特別仕様として並列接続も可能です。 ・使用電圧はAC100V/200V及び...
3種類の品番
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 大排気量でコンパクトサイズのドライ真空ポンプです。 ■特徴 ドライ真空ポンプとしては、最高レベルの到達圧力です。エアー...
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応したケミカルタイプのドライ真空ポンプです。 ■用途 近年の半導体製造産業、エレクトロニ...
3種類の品番
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードモデルです。接ガス部に油を使用していないドライタイプ...
5種類の品番
東京理化器械株式会社
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■一定速運転のNVP型シリーズ ロータリーエバポレーターとの組合せを考慮した設計で、エバポレーターシステム全体をトータルサポートしま...
株式会社柳生商会
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・オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプで、オイルによるコンタミネーションの心配がありません。 ・ロータリーエバポレ...
株式会社柳生商会
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■特長 ・油を使用していませんので、クリーンな排気が可能です。 ・サーマルプロテクター内蔵です。 ※吸気管・排気管は付属していません。
株式会社柳生商会
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株式会社柳生商会
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■特長 ・ダイアフラム式のドライ真空ポンプです。 ・100V電源で使用でき、長時間の連続運転に耐え保守も容易です。
株式会社柳生商会
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■特長 ・大気圧からの作動が可能です。 ・シンプルな構造で、メンテナンスが容易です。 ・バランスポート内蔵のため、真空状態からの...
株式会社宇野澤組鐵工所
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消費電力が少なく耐久性に優れた｢クリーンプロセス用ECOドライ真空ポンプ｣です。オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要...
ドライポンプとは、オイルやその他の液体を利用せず真空を実現するさまざまな真空ポンプの総称です。
ドライポンプはオイルなどを利用して真空を作り出す、ウェットポンプと対比する名称です。ルーツ型ドライポンプ、スクロールポンプ、クロー型ドライポンプ、ダイアフラム型ドライポンプなど、メカニズムの違いによっていくつかの種類があります。
また、ロータリーポンプとは異なり、オイルミストの排出がないので、クリーンな環境での利用に適しています。
ドライポンプの主な使用用途は、半導体製造ラインや食品加工ライン、電子顕微鏡をはじめとしたさまざまな科学分析装置などです。これらの用途では、利用環境への汚染を避けなければなりません。ドライポンプは排気中にオイルミストなどの混入がないことが最大の特長であることから、クリーンな環境が求められる用途に対しては、ドライポンプが適しています。
ただし、ドライポンプの到達真空度は1Pa程度であり、真空度としてはそれほど高くありません。高真空度が必要な場合には、ターボ分子ポンプやイオンポンプなどと組み合わせて利用します。また、種類によって排気速度が異なるので、利用方法に応じて適切なタイプの選択が必要です。
ドライポンプにはさまざまな方式がありますが、気体輸送式という区分のポンプが多くあります。いずれの気体輸送式ポンプには、気体を吸入するための吸気口と気体を排出する排気口があり、吸気口から取り入れた気体を排気口から排出することによって、ポンプ内部の気体を排出します。
さまざまな気体を輸送することによって空間内の気体の量を減らし、真空状態を作り出す仕組みです。ドライポンプと対比となるウェットポンプでは、気体を輸送する際に真空ポンプ内の密閉を完全にするために作動液、または作動油というオイルを使います。
作動油は密閉以外にも、部品同士の摩耗、摩擦の低減、圧縮熱と呼ばれる気体が圧縮されることによって発生する熱の吸収、ポンプ部品の錆止め効果の役割があります。
ドライポンプでは気体を輸送するために、さまざまな構造をしたポンプがあります。主なドライポンプは容積移送式であり、中でも回転式のタイプが主流です。
ベーンポンプは円形の空間内に、複数のベーンと呼ばれる羽根を内臓した円筒が、ベーンで空間内の空気を描き出すように回転運動するポンプです。ベーンに生じる遠心力によって、ベーンの先端が円形空間の壁面に接触して密閉空間を形成します。
クローポンプは2つのクローと呼ばれる爪形状のロータが並んで配置されており、互いに反対方向に回転しながらクローで気体を排出します。気体は圧縮されてポンプの外部に排出されます。
多段ルーツポンプも、一対の逆方向に回転するロータによって吸入した気体をポンプの外部に排出するポンプです。ロータはまゆ形断面の羽根を持っています。
スクロールポンプは、同じ渦巻形の壁面をした固定スクロール内を、旋回スクロールが回転しながら気体を移送するポンプです。
スクリューポンプは1~3つのスクリューと、スクリューを納めたケーシングで構成されたポンプです。スクリューが回転することによって、気体がケーシング内を押し出されるように移動して排出されます。
上記の回転式以外の容積移送式のドライポンプには、往復動式のポンプもあります。往復動をする部品はダイヤフラム、ピストン、ベローズなどです。
ドライポンプは気体が通過する経路に作動油が存在しません。排ガス中にオイルミストが混入したり、オイルが蒸発して真空容器中に拡散する心配もありません。クリーンな排気、真空空間が得られるのが、ドライポンプの大きな特徴です。
オイルの定期的な補充や交換といったメンテナンスが不要であることも、大きなメリットです。他にもドライポンプには小型軽量、低振動、低騒音などの特長があります。
参考文献
http://www.shinku-pump.com/vacuumpump/dry/
http://www.orionkikai-vacuum-pump.com/tech03-3.html
https://kurashi-no.jp/I0017669
