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ドライポンプのメーカー21社一覧や企業ランキングを掲載中！ドライポンプ関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:株式会社荏原製作所、2位:株式会社大阪真空機器製作所、3位:有限会社スコットプランニングとなっています。 ドライポンプの概要、用途、原理もチェック！
ドライポンプとは、オイルやその他の液体を利用せず真空を実現するさまざまな真空ポンプの総称です。
ドライポンプはオイルなどを利用して真空を作り出す、ウェットポンプと対比する名称です。ルーツ型ドライポンプ、スクロールポンプ、クロー型ドライポンプ、ダイアフラム型ドライポンプなど、メカニズムの違いによっていくつかの種類があります。
また、ロータリーポンプとは異なり、オイルミストの排出がないので、クリーンな環境での利用に適しています。
2025年8月の注目ランキングベスト9
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社荏原製作所 |
35.3%
|
| 2 | 株式会社大阪真空機器製作所 |
17.6%
|
| 3 | 有限会社スコットプランニング |
11.8%
|
| 4 | 株式会社協和コーポレーション |
5.9%
|
| 5 | 西和産業株式会社 |
5.9%
|
| 6 | 株式会社アンレット |
5.9%
|
| 7 | アネスト岩田株式会社 |
5.9%
|
| 8 | 神港精機株式会社 |
5.9%
|
| 9 | 株式会社アルバック |
5.9%
|
4 点の製品がみつかりました
4 点の製品
株式会社アルバック
290人以上が見ています
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ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっ...
株式会社アルバック
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ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプとなっ...
フジ・インバック株式会社
110人以上が見ています
最新の閲覧: 34分前
100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
■アプリケーション ・エッチング ・PECVD ・SACVD ・ALD ・太陽光発電 ・LED ■特長 A4H シリーズのドライポンプは、高いガススループッ...
フジ・インバック株式会社
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39.6時間 返答時間
■アプリケーション ・エッチング ・PECVD ・SACVD ・ALD ・太陽光発電 ・LED ■特長 A4H シリーズのドライポンプは、高いガススループッ...
ドライポンプとは、オイルやその他の液体を利用せず真空を実現するさまざまな真空ポンプの総称です。
ドライポンプはオイルなどを利用して真空を作り出す、ウェットポンプと対比する名称です。ルーツ型ドライポンプ、スクロールポンプ、クロー型ドライポンプ、ダイアフラム型ドライポンプなど、メカニズムの違いによっていくつかの種類があります。
また、ロータリーポンプとは異なり、オイルミストの排出がないので、クリーンな環境での利用に適しています。
ドライポンプの主な使用用途は、半導体製造ラインや食品加工ライン、電子顕微鏡をはじめとしたさまざまな科学分析装置などです。これらの用途では、利用環境への汚染を避けなければなりません。ドライポンプは排気中にオイルミストなどの混入がないことが最大の特長であることから、クリーンな環境が求められる用途に対しては、ドライポンプが適しています。
ただし、ドライポンプの到達真空度は1Pa程度であり、真空度としてはそれほど高くありません。高真空度が必要な場合には、ターボ分子ポンプやイオンポンプなどと組み合わせて利用します。また、種類によって排気速度が異なるので、利用方法に応じて適切なタイプの選択が必要です。
ドライポンプにはさまざまな方式がありますが、気体輸送式という区分のポンプが多くあります。いずれの気体輸送式ポンプには、気体を吸入するための吸気口と気体を排出する排気口があり、吸気口から取り入れた気体を排気口から排出することによって、ポンプ内部の気体を排出します。
さまざまな気体を輸送することによって空間内の気体の量を減らし、真空状態を作り出す仕組みです。ドライポンプと対比となるウェットポンプでは、気体を輸送する際に真空ポンプ内の密閉を完全にするために作動液、または作動油というオイルを使います。
作動油は密閉以外にも、部品同士の摩耗、摩擦の低減、圧縮熱と呼ばれる気体が圧縮されることによって発生する熱の吸収、ポンプ部品の錆止め効果の役割があります。
ドライポンプでは気体を輸送するために、さまざまな構造をしたポンプがあります。主なドライポンプは容積移送式であり、中でも回転式のタイプが主流です。
ベーンポンプは円形の空間内に、複数のベーンと呼ばれる羽根を内臓した円筒が、ベーンで空間内の空気を描き出すように回転運動するポンプです。ベーンに生じる遠心力によって、ベーンの先端が円形空間の壁面に接触して密閉空間を形成します。
クローポンプは2つのクローと呼ばれる爪形状のロータが並んで配置されており、互いに反対方向に回転しながらクローで気体を排出します。気体は圧縮されてポンプの外部に排出されます。
多段ルーツポンプも、一対の逆方向に回転するロータによって吸入した気体をポンプの外部に排出するポンプです。ロータはまゆ形断面の羽根を持っています。
スクロールポンプは、同じ渦巻形の壁面をした固定スクロール内を、旋回スクロールが回転しながら気体を移送するポンプです。
スクリューポンプは1~3つのスクリューと、スクリューを納めたケーシングで構成されたポンプです。スクリューが回転することによって、気体がケーシング内を押し出されるように移動して排出されます。
上記の回転式以外の容積移送式のドライポンプには、往復動式のポンプもあります。往復動をする部品はダイヤフラム、ピストン、ベローズなどです。
ドライポンプは気体が通過する経路に作動油が存在しません。排ガス中にオイルミストが混入したり、オイルが蒸発して真空容器中に拡散する心配もありません。クリーンな排気、真空空間が得られるのが、ドライポンプの大きな特徴です。
オイルの定期的な補充や交換といったメンテナンスが不要であることも、大きなメリットです。他にもドライポンプには小型軽量、低振動、低騒音などの特長があります。
参考文献
http://www.shinku-pump.com/vacuumpump/dry/
http://www.orionkikai-vacuum-pump.com/tech03-3.html
https://kurashi-no.jp/I0017669
