メーカー 20社
製品 48点

メーカー 20社製品 48点

エリプソメーター
メーカー20社・48製品【2024年】

エリプソメーターについての概要、用途、原理などをご説明します。また、エリプソメーターのメーカー20社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。エリプソメーター関連企業の2024年11月注目ランキングは1位:日本セミラボ株式会社、2位:メイワフォーシス株式会社、3位:伯東株式会社となっています。

エリプソメーターとは？
エリプソメーターのメーカー20社
エリプソメーター48製品

エリプソメーターとは

エリプソメーター

エリプソメーター (英: Ellipsometer) とは、光学特性を利用して薄膜の厚さや物質の光学常数を非接触、非破壊で測定する為の機器のことです。

日本語では楕円偏光解析装置と呼びます。測定対象に対して斜めから光源より光を当て、反射した光をセンサーで受光し、偏光状態の変化を測定する事で測定対象の光学常数を定量化します。

一般的にはエリプソと呼ばれますが、分光エリプソメーターが正しい呼び方です。光を透過しない不透過膜や表面が粗く十分な反射をしない場合は、測定ができません。

エリプソメーターの使用用途

エリプソメーターとは、光学定数の測定とそれを基にした膜厚の測定が主な用途です。反射偏光を測定するため、あまり厚みのある対象物 (1mm以下程度) は測定できません。

しかし、薄膜に対しては0.01nmスケールの分解能を有する装置もあるので、高精度に薄膜の厚さを測定する際に多用されます。半導体製造工程での薄膜成膜後の測定や各種コーティング、レンズ等の光学膜の光学特性測定、膜を構成する物質の結晶化率、組成、光学異方性等が測定できます。

また、装置によっては液体の光学特性も測定することも可能です。

エリプソメーターの原理

光源から斜めに投光された光を測定対象物 (膜) に当て、反射した光を受光センサーで受けて偏光の変化を測定します。投光側の光は既知のため、受光した光との差異を波長毎に測定し、フィッティング解析を行います。

エリプソメーターの光源は大きく、単波長のレーザー光源と分光タイプのキセノンランプ光源の2種類です。前者は単波長のみのため限られた測定しかできませんが、安価なのがメリットです。

後者は多層膜の解析や膜と膜の境界 (界面) の測定など、より詳細な測定が可能ですが、光源の校正や装置の高額化などのデメリットがあります。エリプソメーターの測定では、測定対象物の設置状態が重要であり、水平に設置されているかを測定するオートコリメーターも備えられています。

また、光源からの入射角も非常に重要なので、オートコリメーターからのデータと光源の角度 (固定値) を比較し、解析に利用されます。

エリプソメーターの選び方

1. 測定目的に合った波長範囲

エリプソメーターは、光の波長によって測定される性質が異なります。測定したい材料の特性や目的に合わせて、適切な波長範囲を持つエリプソメーターを選ぶことが重要です。

一般的な可視光から近赤外線までの波長範囲をカバーするエリプソメーターが多いですが、用途によってはより広い波長範囲を必要とする場合もあります。

2. 測定精度と感度

エリプソメーターの測定精度や感度は重要な要素です。高い精度と感度を持つエリプソメーターを選択することで、より正確な薄膜の光学特性や薄膜厚の測定が可能になります。特に研究や製造プロセス制御などの分野では、高精度な測定が求められます。

3. 自動化と使いやすさ

エリプソメーターの操作が簡単で、自動化されているかどうかを確認します。自動化されている場合、多くの測定を迅速に行えるため、効率的なデータ収集が可能です。また、使いやすいインターフェースやソフトウェアを持つエリプソメーターを選ぶことで、操作がスムーズに行えます。

4. サンプルサイズと形状への適合性

測定したいサンプルのサイズや形状に合わせて、適切な測定装置を選ぶことが重要です。一般的に、大きなサンプルや特殊な形状のサンプルにも対応できるエリプソメーターが求められます。さらに、非破壊測定が可能な非接触式のエリプソメーターも選択肢に入れて考慮すると良いです。

参考文献
https://www.horiba.com/jp/scientific/products-jp/ellipsometers/thin-film-metrology/guidance/1/

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エリプソメーターメーカー 20社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

- - 株式会社溝尻光学工業所メーカー
    自動エリプソメータ一覧
  - 会社サイト創業: 1954年従業員数: 16人資本金: 48,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都品川区西品川2-8-2
- - 株式会社フォトニックラティスメーカー
    エリプソメータ一覧
  - 会社サイト創業: 2002年資本金: 90,000,000円会社詳細
  - 住所: 宮城県仙台市青葉区南吉成6丁目6-3LABO・CITY仙台
- - 株式会社ニンバスメーカー
    エリプソメータ
  - 会社サイト創業: 1993年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県南あわじ市福良乙1288の21
- - メイワフォーシス株式会社メーカー
    エリプソメーター（薄膜解析・超薄膜）　装置一覧
  - 会社サイト創業: 1968年従業員数: 34人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区新宿1-14-2KI御苑前ビル
- - アイテック株式会社メーカー
    エリプソメータ
  - 会社サイト創業: 2003年従業員数: 15人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目4番63号新大阪千代田ビル別館10F
- - 伯東株式会社メーカー商社・代理店
    分光エリプソメータ SENresearch 4.0ファミリー
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1953年従業員数: 687人資本金: 81,251,614円会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区新宿1丁目1番13号
- - ミワオプト株式会社メーカー商社・代理店
    レーザエリプソメータ
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 6人会社詳細
  - 住所: 東京都大田区南馬込5－30－5－502
- - 西華デジタルイメージ株式会社
    Tera Evaluator
  - 会社サイト創業: 2012年会社詳細
  - 住所: 東京都文京区後楽1-5-3 後楽国際ビルディング2階
- - 株式会社アルバック
    高速分光エリプソメータ
  - 会社サイト創業: 1952年従業員数: 1,710人資本金: 208,730,425,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地
- - 株式会社IBS
    圧力制御・計測機器　>　膜厚計測装置一覧
  - 会社サイト創業: 1997年従業員数: 105人会社詳細
  - 住所: 大阪府吹田市穂波町12番43号
- - 東京理科大学化学系機器分析センター
    分光エリプソメーター
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区神楽坂1-3
- - 東京工科大学バイオナノテクセンター
    レーザーエリプソメーター
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都八王子市片倉町1404-1東京工科大学内
- - 日本セミラボ株式会社
    分光エリプソメーター SE-2000 （回転補償子型）
  - 会社サイト創業: 1987年会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10YS新横浜ビル6階
- - リソテックジャパン株式会社
    エリプソメータ
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 20人資本金: 40,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県川口市並木2-6-6
- - ファイブラボ株式会社
    エリプソメーター製品一覧
  - 会社サイト創業: 1988年従業員数: 10人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市青葉区松風台27-23ヒルトピアIII
- - ナノテック株式会社
    分光エリプソメーター
  - 会社サイト創業: 1989年従業員数: 37人会社詳細
  - 住所: 千葉県柏市柏インター南4番地6ナノテクノプラザ
- - ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社
    エリプソメーター一覧
  - 会社サイト創業: 1995年会社詳細
  - 住所: 東京都杉並区荻窪5-22-9藤ビル2F
- - アルバック・ファイ株式会社
    PHI QuickSE シリーズ
  - 会社サイト創業: 1982年資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500
- - ハイソル株式会社商社・代理店
    自動偏光解析装置世界最小エリプソメーター一覧
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 25人会社詳細
  - 住所: 東京都台東区上野1-17-6
- - アルバック販売株式会社商社・代理店
    高速分光エリプソメータ一覧
  - 会社サイト創業: 1970年従業員数: 128人会社詳細
  - 住所: 東京都港区港南2-3-13品川フロントビル5F

エリプソメーター 2024年11月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2024年11月の注目ランキングベスト10

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	日本セミラボ株式会社	33.0%
2	メイワフォーシス株式会社	9.9%
3	伯東株式会社	6.6%
4	株式会社フォトニックラティス	6.6%
5	株式会社溝尻光学工業所	6.6%
6	ハイソル株式会社	4.4%
7	東京理科大学化学系機器分析センター	4.4%
8	ミワオプト株式会社	4.4%
9	株式会社アルバック	4.4%
10	ナノテック株式会社	3.3%