エリプソメーター
メーカー20社・38製品一覧 【2024年】
エリプソメーターについての概要、用途、原理などをご説明します。また、エリプソメーターのメーカー20社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。エリプソメーター関連企業の2024年6月注目ランキングは1位:日本セミラボ株式会社、2位:メイワフォーシス株式会社、3位:株式会社溝尻光学工業所となっています。
エリプソメーターとは
エリプソメーター (英: Ellipsometer) とは、光学特性を利用して薄膜の厚さや物質の光学常数を非接触、非破壊で測定する為の機器のことです。
日本語では楕円偏光解析装置と呼びます。測定対象に対して斜めから光源より光を当て、反射した光をセンサーで受光し、偏光状態の変化を測定する事で測定対象の光学常数を定量化します。
一般的にはエリプソと呼ばれますが、分光エリプソメーターが正しい呼び方です。光を透過しない不透過膜や表面が粗く十分な反射をしない場合は、測定ができません。
エリプソメーターの使用用途
エリプソメーターとは、光学定数の測定とそれを基にした膜厚の測定が主な用途です。反射偏光を測定するため、あまり厚みのある対象物 (1mm以下程度) は測定できません。
しかし、薄膜に対しては0.01nmスケールの分解能を有する装置もあるので、高精度に薄膜の厚さを測定する際に多用されます。半導体製造工程での薄膜成膜後の測定や各種コーティング、レンズ等の光学膜の光学特性測定、膜を構成する物質の結晶化率、組成、光学異方性等が測定できます。
また、装置によっては液体の光学特性も測定することも可能です。
エリプソメーターの原理
光源から斜めに投光された光を測定対象物 (膜) に当て、反射した光を受光センサーで受けて偏光の変化を測定します。投光側の光は既知のため、受光した光との差異を波長毎に測定し、フィッティング解析を行います。
エリプソメーターの光源は大きく、単波長のレーザー光源と分光タイプのキセノンランプ光源の2種類です。前者は単波長のみのため限られた測定しかできませんが、安価なのがメリットです。
後者は多層膜の解析や膜と膜の境界 (界面) の測定など、より詳細な測定が可能ですが、光源の校正や装置の高額化などのデメリットがあります。エリプソメーターの測定では、測定対象物の設置状態が重要であり、水平に設置されているかを測定するオートコリメーターも備えられています。
また、光源からの入射角も非常に重要なので、オートコリメーターからのデータと光源の角度 (固定値) を比較し、解析に利用されます。
エリプソメーターの選び方
1. 測定目的に合った波長範囲
エリプソメーターは、光の波長によって測定される性質が異なります。測定したい材料の特性や目的に合わせて、適切な波長範囲を持つエリプソメーターを選ぶことが重要です。
一般的な可視光から近赤外線までの波長範囲をカバーするエリプソメーターが多いですが、用途によってはより広い波長範囲を必要とする場合もあります。
2. 測定精度と感度
エリプソメーターの測定精度や感度は重要な要素です。高い精度と感度を持つエリプソメーターを選択することで、より正確な薄膜の光学特性や薄膜厚の測定が可能になります。特に研究や製造プロセス制御などの分野では、高精度な測定が求められます。
3. 自動化と使いやすさ
エリプソメーターの操作が簡単で、自動化されているかどうかを確認します。自動化されている場合、多くの測定を迅速に行えるため、効率的なデータ収集が可能です。また、使いやすいインターフェースやソフトウェアを持つエリプソメーターを選ぶことで、操作がスムーズに行えます。
4. サンプルサイズと形状への適合性
測定したいサンプルのサイズや形状に合わせて、適切な測定装置を選ぶことが重要です。一般的に、大きなサンプルや特殊な形状のサンプルにも対応できるエリプソメーターが求められます。さらに、非破壊測定が可能な非接触式のエリプソメーターも選択肢に入れて考慮すると良いです。
参考文献
https://www.horiba.com/jp/scientific/products-jp/ellipsometers/thin-film-metrology/guidance/1/
エリプソメーターメーカー 20社
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
エリプソメーター 2024年6月のメーカーランキング
*一部商社などの取扱い企業なども含みます2024年6月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 日本セミラボ株式会社 |
31.3%
|
| 2 | メイワフォーシス株式会社 |
9.4%
|
| 3 | 株式会社溝尻光学工業所 |
9.4%
|
| 4 | ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社 |
7.8%
|
| 5 | 株式会社堀場製作所 |
7.8%
|
| 6 | ミワオプト株式会社 |
4.7%
|
| 7 | ハイソル株式会社 |
4.7%
|
| 8 | 株式会社フォトニックラティス |
3.1%
|
| 9 | 伯東株式会社 |
3.1%
|
| 10 | 株式会社ニンバス |
3.1%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年6月のエリプソメーターページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
- 堀場製作所: 8,432人
- アルバック: 1,361人
- 伯東: 687人
設立年の新しい会社
- 西華デジタルイメージ: 2012年
- アイテック: 2003年
- フォトニックラティス: 2002年
歴史のある会社
- 堀場製作所: 1945年
- アルバック: 1952年
- 伯東: 1953年
エリプソメーター注目ランキング
製品の閲覧数をもとに算出したランキング
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
エリプソメーターの製品 38点
38 点の製品がみつかりました
ファイブラボ株式会社
ブレのない回転を実現 小型・高速分光エリプソメータ (分光楕円偏光解析装置)
190人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■タイプ 多入射・短波長・長波長 ■高精度測定Ⅰ 測定方式に回転位相子法を採用し、測定値Δ (位相差) の値に依存せず､どの領域でも高精度測定を実現しています...
9種類の品番
ファイブラボ株式会社
高精度測定を実現 分光エリプソメータ 大型基盤対応
190人以上が見ています
■タイプ 多入射・短波長・長波長 ■高精度測定Ⅰ 測定方式に回転位相子法を採用し、測定値Δ (位相差) の値に依存せず､どの領域でも高精度測定を実現しています...
9種類の品番
ファイブラボ株式会社
非接触･非破壊にて測定可能 レーザーエリプソメータ (自動楕円偏光解析装置)
180人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
■タイプ 手動・自動・多入射・裏面除去機能 ■装置概要 エリプソメーターとは、物質表面での光の入反射光の偏光状態の変化を測定し、薄膜の厚さ、屈折率や吸...
10種類の品番
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
薄膜を可視化 イメージングエリプソメーター Accurion EP4
30人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.4時間 平均返答時間
イメージングエリプソメーターEP4は、エリプソメトリーと顕微鏡を融合させた製品です。 EP4は1 µm程度の微細な構造物に対して、エリプソメトリーの感度で薄...
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
反射型分光エリプソメーター Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE
40人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.4時間 平均返答時間
反射型分光エリプソメーター (Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE) は、エリプソメーターをベースにした反射率計で、品質管理などにおける高速な膜...
ファイブラボ株式会社
高い測定再現性を実現 超小型エリプソメータ MACO-101
130人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
■タイプ 指定半導体レーザー・裏面除去機能 ■超小型･軽量 出来得る限り小型軽量に設計してあります。設置スペースを小さく出来る他、移設の際にも便利です。...
2種類の品番
ファイブラボ株式会社
各種ディスク形状・液晶基盤にも対応可能 エリプソメーター MAXY
130人以上が見ています
■タイプ 自動XZY・全自動位置検出・裏面除去機能 ■特徴 MARYの測定ユニット部のみを使用し、サンプル移動部を大型化したモデルです。各種ディスク形状・液晶...
伯東株式会社
レーザーエリプソメーター SE400adv、SE500adv
110人以上が見ています
100.0% 返答率
■特徴 ・632.7nm He-Neレーザーを採用 ・測定時間: 120nm~1.5S ・膜厚測定範囲: 表面平坦時1nm~40,000nm ・測定精度: 表面平坦時Ψ/0.02°、Δ/0.04° ・再現性 (...
2種類の品番
伯東株式会社
分光エリプソメータ SENresearch 4.0ファミリー
90人以上が見ています
100.0% 返答率
■特徴 DUV-VIS-NIR 分光エリプソメータ。 研究開発の分野に求められるさまざまな目的に応じた任意の装置仕様をデザインできます。 1.広範囲スペクトル測定...
伯東株式会社
分光エリプソメータ SENpro
70人以上が見ています
100.0% 返答率
■特徴 ・費用効率に優れたモデル ・マニュアルゴニオメーター搭載 (40-90°5°ステップ) ・測定スペクトル: 370nm～1,050nm ・専用ソフトSpectraRay/4、並びに...
伯東株式会社
分光エリプソメータ SENDIRA
60人以上が見ています
100.0% 返答率
■特徴 ・赤外分光エリプソメーター ・赤外スペクトラム領域での薄膜フィルム材料の膜厚、屈折率測定はもとより、材料固有の分子振動の吸収バンド領域よりの吸...
エリプソメーターのカタログ 1件
Metoreeに登録されているエリプソメーターが含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
