反射型分光エリプソメーター Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE
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この製品について
■特徴
・1測定でのリファレンス分光エリプソメトリー測定 ・200スペクトル/秒の測定速度 ・膜厚評価のためのライブデータ処理 ・スポットサイズ：50x100 µmスポットサイズ (AOI = 60°における) ・膜厚の範囲 <1nm-10µm ・スペクトル範囲 450-900nm■概要
RSEは特殊なエリプソメーターで、サンプルとリファレンスを比較するものです。これにより、サンプルとリファレンスの光学的なわずかな差を測定することができます。リファレンスの向きにより、測定中に光学部品を移動させたり変調させたりする必要がなく、1回の測定で高解像度のスペクトルを得ることができます。 1秒間に200個のスペクトルを取得することが可能です。同期したX-Yステージにより、数分以内に広域の膜厚マップを取得することができます。-
シリーズ
反射型分光エリプソメーター Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE
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取扱企業
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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カテゴリ
エリプソメーター
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反射型分光エリプソメーター Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE |
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- 本社所在地: 東京都