膜厚計のメーカー16社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。
膜厚計とは
膜厚計とは、物体の微少な厚みを測定することのできる機器のことです。塗装の皮膜や金属メッキの厚みなど、視覚的に計測の難しい薄膜を調べる際に使われます。透明なものか不透明なものかという測定物の特性や、接触で測るか非接触で測るかという測定条件の違いにより様々な方式の膜厚計があります。例えば、光の分光を利用したものや超音波を利用したものです。これらは測定物に触れることなく測定ができるため、万が一にも傷つける心配がありません。
膜厚計の使用用途
膜厚計には様々なものがあり、測定対象によって適した機器が使われます。例えばガラスのような透明な薄膜の厚みを測る場合、広帯域の光を用いる分光干渉式膜厚計や赤外線を用いる赤外線膜厚計が利用されます。しかし、金属などは光を通さないのでこれらの方法は使えません。金属メッキの薄膜などを測定する場合は、磁束の変化を用いた電磁式膜厚計や渦電流を用いた渦電流式膜厚計が利用されます。さらに、測定物に接触することが難しい場合は超音波膜厚計などの非接触式の膜厚計も使用されます。
膜厚計の原理
膜厚計には使用用途によって様々な種類がありますが、ここでは四つの方式の原理についてご紹介します。
- 分光干渉式膜厚計
光の干渉を利用した膜厚計です。測定物に光を入射させると、薄膜の表面と裏面で光は反射します。この二つの反射光は薄膜の厚み分位相がずれることになります。波は同位相で重なると強め合い、逆位相で重なると弱め合うので、この干渉の違いを測定することで厚みを計測します。 - 電磁式膜厚計
電束密度の変化を利用した膜厚計です。測定する薄膜が金属面に付着している場合は磁石を近づけると引力が発生します。この引力は金属までの距離によるので、引力の違いが発生して厚みを測定することが可能になります。ただし、薄膜の裏が金属に接していることや薄膜が金属でないことが条件です。 - 超音波膜厚計
超音波の反射を利用した膜厚計です。表面から超音波を放つと、測定物の内部を通って裏面で反射します。この反射までにかかった時間から厚みを測定することが可能です。
膜厚計の使い方
膜厚計の使い方は簡単で、測定したい物質にセンサー部分を当てることで数値が表示されます。注意点としては物質によって反応速度が違うため、センサー部分は反応するまで数秒待つことも必要となります。
気を付けなければならないのは測定したい物質が何の素地上に形成されているのかです。接触式の膜厚計には電磁誘導式と過電流式、デュアルタイプがあります。
電磁誘導式は鉄、鋼などの磁性体、過電流式はアルミ、ステンレスなどの非磁性体、デュアルタイプはどちらも測定可能です。
デュアルタイプなら問題ないのですが、どちらか測定方式しかない場合、膜厚計と測定したい膜が乗ってる素地が対応しているか事前に調べる必要があります。そうでないと正確な計測ができません。
膜厚計の種類
膜厚計には測定方法などにより、数多くの種類が存在します。これらの種類は膜厚の状態や成分、測定箇所などによって選択します。
膜厚計は大別して、接触式、非接触式、断面観察式の3つがあります。それぞれどのような型式なのか以下で解説します。
- 接触式
センサー部分と膜厚計本体がケーブルでつながっており、センサー部分を測定対象となる膜に当てて膜厚を計測します。電磁誘導式、過電流式、超音波式、触針式があります。
最もオーソドックスな膜厚計であり、性能にもよりますが数万～20万円程度で購入が可能です。 - 非接触式
膜厚計本体から光を放出し、膜の表面で反射した光、膜内に浸透した光の波長の干渉をスペクトルとして検出して膜厚を測定します。基本は人の手が届かない場所で使用し、反射分光式、赤外線式、静電容量式、放射線式があります。
検出部分には高精度な半導体素子を使用しているため、接触式よりも価格は高くなります。 - 断面観察式
TEM、SEMなどの電子顕微鏡が断面観察式になります。接触式や非接触式では測定できない極小物質などを測定するときに使用します。研究や技術開発で使用されることが多く、現場などでは採用されることはほとんどないと考えます。
参考文献
https://www.rex-rental.jp/faq/product/1018/knowledge_ultrasonic_thickness_gauge
https://www.rex-rental.jp/faq/product/933/measuring_principle_film_thickness_meter
https://www.keyence.co.jp/ss/3dprofiler/keijou/film/principle/
https://sooki.co.jp/upload/surveying_items/pdf/manual_pdf_054020.pdf
https://www.monotaro.com/s/pages/cocomite/142/
https://www.asumigiken.co.jp/products/thicknessmeter/about/
膜厚計のメーカー16社一覧
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
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浜松ホトニクス株式会社
メーカー
膜厚計一覧
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株式会社電測
膜厚計一覧
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株式会社フィッシャー・インストルメンツ
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株式会社サンコウ電子研究所
膜厚計一覧
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株式会社ケツト科学研究所
膜厚計一覧
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株式会社カスタム
TG-02U
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株式会社アントンパール・ジャパン
カロテストシリーズ
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東洋メディック株式会社
膜厚計一覧
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大塚電子株式会社
膜厚計一覧
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倉敷紡績株式会社
膜厚計一覧
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ダコタ・ジャパン株式会社
超音波厚さ計一覧
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エフ・アイ・テック株式会社
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Elcometer株式会社
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DKSHジャパン株式会社
エレクトロフィジック 膜厚計 ミニテスト70シリーズ
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A-MEC株式会社
膜厚計一覧
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株式会社菱光社
商社・代理店
フォトニックラティス
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膜厚計のメーカーランキング
社員数の規模
- 1 浜松ホトニクス株式会社
- 2 倉敷紡績株式会社
- 3 DKSHジャパン株式会社
設立年の新しい会社
- 1 ダコタ・ジャパン株式会社
- 2 株式会社アントンパール・ジャパン
- 3 株式会社カスタム
歴史のある会社
- 1 DKSHジャパン株式会社
- 2 倉敷紡績株式会社
- 3 株式会社ケツト科学研究所
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