株式会社堀場製作所
株式会社IBS

【2021年版】エリプソメーター メーカー17社一覧

エリプソメーターのメーカー17社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


エリプソメーターとは

エリプソメーター(英語:Ellipsometer)は光学特性を利用して薄膜の厚さや物質の光学常数を非接触、非破壊で測定する為の機器です。日本語では楕円偏光解析装置と呼称します。
測定対象に対して斜めから光源より光を当て、反射した光をセンサーで受光し、偏光状態の変化を測定する事で測定対象の光学常数を定量化します。 一般的にはエリプソと呼ばれますが、
分光エリプソメーターが正しい呼び方となります。 光を透過しない不透過膜や表面が粗く十分な反射をしない場合は測定が出来ません。

エリプソメーターの使用用途

光学常数の測定と、それを基にした膜厚の測定が主な用途となります。反射偏光を測定する為、あまり厚みのある対象物(1㎜以下程度)は測定出来ませんが、薄膜に対しては0.01nmスケール
の分解能を有する装置もある為、高精度に薄膜の厚さを測定する用途に多用されます。 半導体製造工程での薄膜成膜後の測定や各種コーティング、レンズ等の光学膜の光学特性測定、
膜を構成する物質の結晶化率、組成、光学異方性等が測定できます。また装置によっては液体の光学特性も測定する事が出来ます。

エリプソメーターの原理

光源から斜めに投光された光を測定対象物(膜)に当て、反射した光を受光センサーで受けて偏光の変化を測定します。投光側の光は既知の為、受光した光との差異を波長毎に測定します。
エリプソメーターでは光の屈折率(n)と消衰係数(k)を求める事が出来ますが、予め測定対象物の厚さ(d)、n値、k値を予測仮定し、その仮定データから光学モデルを作成して、測定により
得られたデータと比較、フィッティング解析を行って最終的な結果を算出します。 この一連のモデル構築、フィッティング解析等はエリプソメーターに搭載された解析システムにて実行されます。
上述の理由から、仮定する光学モデルが大きく異なってしまうと、測定結果も大きく異なる事となってしまいます。
エリプソメーターの光源は大きく分けて単波長のレーザー光源と分光タイプのキセノンランプ光源があり、前者は単波長のみの為限られた測定しか出来ませんが安価というメリットがあり、後者
は多層膜の解析や膜と膜の境界(界面)の測定など、より詳細な測定が可能ですが、光源の校正や装置の高額化などのデメリットがあります。
エリプソメーターの測定では、測定対象物の設置状態が重要であり、水平に設置されているかを測定するオートコリメーターも備えられています。また、光源からの入射角も非常に重要ですので、
オートコリメーターからのデータと光源の角度(固定値)を比較し、解析に利用されます。

参考文献
株式会社堀場製作所 https://www.horiba.com/jp/scientific/products-jp/ellipsometers/thin-film-metrology/guidance/1/

エリプソメーターのメーカー情報

エリプソメーターのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 株式会社堀場製作所
  2. 2 伯東株式会社
  3. 3 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター

設立年の新しい会社

  1. 1 地方独立行政法人大阪産業技術研究所
  2. 2 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター
  3. 3 株式会社IBS

歴史のある会社

  1. 1 株式会社堀場製作所
  2. 2 伯東株式会社
  3. 3 メイワフォーシス株式会社

エリプソメーターのメーカー17社一覧


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