日本セミラボ株式会社
株式会社堀場製作所
株式会社IBS

【2021年版】エリプソメーター5選 / メーカー13社一覧

エリプソメーターのメーカー13社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。

目次

エリプソメーターのメーカー13社一覧

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

日本セミラボ株式会社のエリプソメーター
・エリプソメータのパイオニアであるSopra時代からの多数の国内販売実績
・回転補償子法によりΔ=0°付近も高精度で測定可能
・金属薄膜、有機膜、多層膜なども解析可能な操作性に優れたソフトウェア

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エリプソメーターのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 株式会社堀場製作所
  2. 2 伯東株式会社
  3. 3 アルバック販売株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 株式会社IBS
  2. 2 ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社
  3. 3 ナノテック株式会社

歴史のある会社

  1. 1 株式会社堀場製作所
  2. 2 伯東株式会社
  3. 3 メイワフォーシス株式会社

エリプソメーター5選

日本セミラボ株式会社
分光エリプソメーター SE-2000 (回転補償子型)

分光エリプソメーター SE-2000 (回転補償子型) 画像出典: 日本セミラボ株式会社公式サイト

特徴


この商品は、ゴニオメーターにFTIRエリプソメーターヘッドを装着した事で深紫外(193mm)〜中赤外(25μm)ものスペクトル範囲を持つエリプソメーターです。

スペクトログラフとCCD検出器アレイ及びスペクトロメーターと単一検出器(PMT)が搭載されているので 測定スピードと分解能共に優れており、効率よく測定する事が可能です。

回転補償子型をを採用した事により⊿=0付近の領域も精度の高い測定を行う事が出来ます。

高性能電子機器が新しい為最新のGUIにも対応しており、それによりパラメーターの初期値を最適化しやすくなったので複数の光学モデルを駆使して分析したい研究者に向いています。

日本セミラボ株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10YS新横浜ビル6階
  • 会社サイト
  • 創業: 1987年

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東京理化大学化学系機器分析センター
分光エリプソメーター

分光エリプソメーター 画像出典: 東京理化大学化学系機器分析センター公式サイト

特徴

この商品は、薄膜やバルク材料などを解析したい時に使えるエリプソメーターです。

分光偏光解析法を用いて試料の波長分散特性を解析するのが得意です。

薄膜と基板の間から発生した光と薄膜表面から反射した光との偏光状態の変化を調べる事で、膜の厚さや屈折率はもちろん、結晶率の割合や合金比率、位相差等をモデル解析によって算出する事が出来ます。

装備されているソフトウェア(CompleteEASE)には光学モデルや最新の研究で導かれた数式等が反映されているので、研究用データを分析したい場合に使えます。

東京理化大学化学系機器分析センターの会社概要

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東京工科大学バイオナノテクセンター
レーザーエリプソメーター

レーザーエリプソメーター 画像出典: 東京工科大学バイオナノテクセンター公式サイト

特徴

この商品は、半導体酸化膜や窒化膜、レジストやITO等の膜の厚さと屈折率を同時に測定出来るエリプソメーターです。

偏光子調整型回転検光子偏光解析を使っており、入射角は55°から75°まで5°刻みで調整する事が可能です。

分布表示や多層膜解析、ブサイ=デルタ線図等のソフトも備え付けられているので、物体の性質をより深く理解する事が出来ます。

タッチパネルの専用コントローラーになっている為扱いも楽なので、学生の専門実習等での使用に向いています。

東京工科大学バイオナノテクセンターの会社概要

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伯東株式会社
分光エリプソメータ SENresearch 4.0ファミリー

分光エリプソメータ SENresearch 4.0ファミリー 画像出典: 伯東株式会社公式サイト

特徴

この商品は、CCDアレーセンサーレベルの高速測定を実現させたエリプソメーターです。

回転検光子は測定中は回転しないので、駆動部からのノイズを抑えられています。

赤外FTIR機能との併用が可能なので、1.7〜25μmの領域も分析する事が出来ます。

測定に使うスペクトルの範囲も190〜3500nmと広く、フィルムの厚さや屈折率、吸収係数や薄膜の材料組成比率、構造解析やキャリア濃度分布も測定・分析可能なので、研究開発の現場での使用に向いています。

伯東株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 東京都新宿区新宿1丁目1番13号
  • 会社サイト
  • 創業: 1953年
  • 従業員数: 680人

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ナノテック株式会社
分光エリプソメーター

分光エリプソメーター 画像出典: ナノテック株式会社公式サイト

特徴


この商品は、単層薄膜及び多層薄膜の膜の厚さや屈折率、消衰係数等を解析してくれるエリプソメーターです。

測定に使う波長の範囲は450〜1000nmで、液晶変調方式が採用されています。

My Auto ViewTMというイメージングソフトウェアが搭載されているので、表面の状態や測定位置を厳密に確認する事が出来ます。

検出器には高感度・高安定リニアCCDが使われているので、解析対象が膨大にあるので高速で解析したい研究者に向いています。

ナノテック株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 千葉県柏市柏インター南4番地6ナノテクノプラザ
  • 会社サイト
  • 創業: 1989年
  • 従業員数: 37人

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