全てのカテゴリ
閲覧履歴
干渉計についての概要、用途、原理などをご説明します。また、干渉計のメーカー27社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。干渉計関連企業の2024年6月注目ランキングは1位:株式会社溝尻光学工業所、2位:株式会社マブチ・エスアンドティー、3位:株式会社ジズコとなっています。
図1. 干渉計のイメージ
干渉計とは、光を物体に当てた時に生じる干渉現象を測定することにより、物体の表面形状、屈折率、物体のサイズなどを測定する装置です。
干渉現象とは、複数の波の重ね合わせによって強めあったり打ち消し合ったりして新しい波形ができることです。同じ波源から出た波や、同じもしくは近い周波数を持つ波のときに顕著に現れます。
干渉計にはマイケルソン干渉計、マッハツェンダー干渉計、フィゾー干渉計などの種類があります。
干渉計の主な用途は、ガラス・金属・セラミックなどの平面板をはじめとする物体表面の非接触観測です。例えば、ガラス系では、スマートフォンなどのカバーガラス、液晶用ガラス、色分解光学系に使用されるプリズム、半導体マスク基盤など、金属系では金型やアルミディスクなどが挙げられます。
その他、電子機器用半導体デバイスに用いられるシリコンウェーハや、ハードディスク用基板などの特殊なものも測定することができます。また、電波干渉計は電波望遠鏡による天体観測にも用いられている仕組みです。
主要な干渉計は光源から出た光を2つの光に分割し、一方の光をサンプルに透過させ、もう一方の光と干渉させます。このとき、透過させるサンプルの屈折率や距離によって光学的距離が変化し、干渉縞のパターンが現れます。
干渉計ではこの干渉縞のパターンを解析することにより、測定サンプルの表面形状や透過波面形状を測定することが可能です。干渉計で測定できるサイズは大きくても数～十数cm程度になります。測定試料が大きい場合は、切り取るなどの工夫が必要です。
干渉計は、ガラス平面、ウェハ、ミラーなどの研磨面平面の測定が行えるもののほか、光学レンズ、鋼球、プラレンズなどの球面測定が可能なものなどがあります。また、2軸や3軸で測定する多軸の干渉計もあり、このような多軸干渉計では、より省スペースで感度の高い測定ができます。
レーザ走査干渉計では、円筒面など平面以外の測定も可能です。ガラス、ファイバ端面、セラミックス、 金属研削面、射出成型品のプラスチックなどの測定に用いられています。様々な種類があるため、用途に合わせて選択することが必要です。
図2. 干渉縞のイメージ
複数の波が重ね合わされるとき、ある点に新たに生じる波の振幅はその点に影響するすべての波の振幅の和と一致します。このとき、それぞれの波の位相が一致した部分では波が強め合い、位相が逆転している部分では弱めあうことを干渉現象と呼びます。干渉計は、このときに生じる干渉縞の様子を観測することで、物体の様子を観測する装置です。
図3. フィゾー干渉計で光路長差が生じる仕組み
フィゾー干渉計とは、レーザーを光源とする干渉計です。測定の仕組みは下記のようになります。
フィゾー干渉計は、簡単な構成で高精度の平面測定、球面測定が行えることが特徴です。
得られた干渉縞を用いて数値解析が行われます。代表的な方法の1つがフーリエ変換です。
フーリエ変換を行うことで、干渉縞から周波数スペクトルを取り出します。取り出したスペクトルを逆フーリエ変換により、測定材料の位相情報が得られます。
参考文献
https://www.fujifilm.com/jp/ja/business/optical-devices/interferometer/knowledge
https://www.global-optosigma.com/jp/application/guide-int01.html
http://www.seof.co.jp/basic/basic_01.html
https://www.tokaioptical.com/jp/technology01/
https://www.toppan.co.jp/electronics/display/anti_reflection_film/
http://www.seof.co.jp/basic/basic_01.html
http://www.material.tohoku.ac.jp/~denko/lecture/ryoshinyumon/kougi_3.pdf
https://www.japansensor.co.jp/faq/969/index.html
https://photonterrace.net/ja/photon/behavior/
https://japanknowledge.com/contents/nipponica/sample_koumoku.html?entryid=649
http://www.nhao.jp/~tsumu/Research/Intr_interferometry/interferometer.html
https://www.nao.ac.jp/research/telescope/alma.html
https://gwcenter.icrr.u-tokyo.ac.jp/KAGRA_Nobel/data/KAGRA2_panel.pdf
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年6月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社溝尻光学工業所 |
15.8%
|
| 2 | 株式会社マブチ・エスアンドティー |
10.5%
|
| 3 | 株式会社ジズコ |
10.5%
|
| 4 | キーサイト・テクノロジー株式会社 |
10.5%
|
| 5 | 株式会社アイ・アール・システム |
10.5%
|
| 6 | ソーラボジャパン株式会社 |
10.5%
|
| 7 | 株式会社ノビテック |
5.3%
|
| 8 | 株式会社オプセル |
5.3%
|
| 9 | ミカサ株式会社 |
5.3%
|
| 10 | アイウェーヴ株式会社 |
5.3%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年6月の干渉計ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
設立年の新しい会社
歴史のある会社
製品の閲覧数をもとに算出したランキング
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
24 点の製品がみつかりました
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
70人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.4時間 平均返答時間
Park NX-Hybrid WLIは、半導体デバイスの研究開発/生産現場における計測、品質保証、前工程のプロセスコントロール、後工程の高度なパッケージ管理などのため...
株式会社日本レーザー
60人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.0時間 平均返答時間
光コネクタの端面を3Dで測定可能な干渉計です。マイケルソン干渉計使用、幅広いタイプのファイバコネクタに対応した高分解能・広範囲で測定が可能。IEC (国際...
4種類の品番
株式会社日本レーザー
40人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.0時間 平均返答時間
GEMINIは、入力光を2つのレプリカ間の時間遅延を制御することにより、比類のない精度と再現性を提供する究極の干渉計です。FTIR分光計と同様に、同梱のドライ...
2種類の品番
Micro-Epsilon Japan株式会社
160人以上が見ています
最新の閲覧: 15時間前
100.0% 返答率
マイクロエプシロン社の革新的な白色光干渉計は、高精度な距離・厚み測定におけるベンチマークを打ち立てています。サブナノメートルの分解能で安定した測定...
4種類の品番
オプトデバイスコーポレーション株式会社
70人以上が見ています
外部より入射するLaser光を本体内部で分岐し、一方を基準となるよう波面形成し、もう一方のLaser光と干渉させることで被検Laser光の波面収差を観察計測するも...
4種類の品番
オプトデバイスコーポレーション株式会社
50人以上が見ています
In-Line干渉計は、平行Laser光の波面収差を評価するための干渉計Systemです。特に光PICKUP用の生産LineにおいてCollimator出射後の平行Laser光の波面収差の評...
2種類の品番
アメテック株式会社 ZYGO事業部
40人以上が見ています
最新の閲覧: 15時間前
■概要 NewView™ 9000 白色干渉計は、非接触式光学表面プロファイリングに力強い汎用性をもたらします。このシステムは鏡面、粗面、平面、傾斜、階段状など、...
アメテック株式会社 ZYGO事業部
40人以上が見ています
■生産現場で使える白色干渉計 ZeGage™ ProとZeGage™ Pro HR 白色干渉計は、製造現場での品質管理とプロセス管理を保証する、さまざまな種類の表面のマイクロ...
2種類の品番
アメテック株式会社 ZYGO事業部
40人以上が見ています
■概要 最も要求の厳しいアプリケーション向けに設計されたNexview™ NX2 白色干渉計は、超高精度、高度なアルゴリズム、汎用性、および自動化を1つのパッケー...
アメテック株式会社 ZYGO事業部
30人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
大型パネルを全自動測定対応機能 ■対応機能 ・XYステージストローク：650mm ・Film Analysis* ・Sure Scan・Part Finder ・Smart Setup ・Zoom 3種類搭載
アメテック株式会社 ZYGO事業部
20人以上が見ています
■表面全体の特性を測定 6軸ステージによる多方向測定により、測定対象物全域の三次元データマップを形成。様々な問題点・改善点を見出すことが可能です。 ■...
アメテック株式会社 ZYGO事業部
40人以上が見ています
最新の閲覧: 16時間前
■成功の積み重ね… ザイゴの新しい Qualifire™ レーザー干渉計 50年以上にわたり、位相シフト干渉計は高精度の表面形状測定機として選ばれてきた技術です。 ...
