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研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series-FDS/FRS Series
研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series-株式会社FKDファクトリ

研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series
株式会社FKDファクトリ



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この製品について

基本仕様:DC1源スパッタ

■拡張オプション

・2源仕様マグネトロンカソード追加 ・高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ・反応性スパッタ仕様 (マスフローコントローラー追加) ・RFスパッタ仕様 (RF電源:オートマッチング 追加)

  • シリーズ

    研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series

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研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) スパッタ方式 スパッタ電源 カソード ターゲット 真空排気系 真空計 試料サイズ ガス流量調整 ガス導入 予備ポート 外形寸法 設置タイプ 使用電源 2源仕様マグネトロンカソード追加 型式 2源仕様マグネトロンカソード追加 仕様 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 型式 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 排気速度 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 到達圧力 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 真空計 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ガス圧力調整 反応性スパッタ仕様追加 型式 反応性スパッタ仕様追加 ガス種 反応性スパッタ仕様追加 流量 RFスパッタ仕様追加 型式 RFスパッタ仕様追加 発振周波数
研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series-品番-FDS/FRS Series

FDS/FRS Series

要見積もり

DCマグネトロンスパッタ/デポアップ

DC500V/0.8A

Φ2インチ/マグネトロンカソード

Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/etc.

ロータリーポンプ 162L/min

ピラニゲージ/5.0×10^-2Pa~1.0×10^5Pa

最大Φ2インチ/小片試料対応可能

アルゴン用MFC/20sccm

1/4インチSwagelok

NW40×2

W480×D510×H440mm※突起部は含まず

卓上型

AC100V/15A 1系統

OS-2CS

2源スパッタ化

OS-HVS

35L/s

≦5×10-4Pa

フルレンジゲージ

バタフライバルブ

OS-AGS

O2またはN2

5sccm

OS-RFS

13.56MHz

フィルターに該当する他製品

スパッタリング装置の中で同じ条件の製品
成膜環境: 高真空型

フィルターから探す

スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

スパッタ方式

DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型

成膜環境

高真空型 中真空型

ターゲット構成

単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型

対象搬送方式

静止基板型 回転基板型 スルーフィード型

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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