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スパッタリング装置 SMDシリーズ取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年7月28日にレビュー済み
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スパッタリング装置の製品123点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 型式 | タイプ | 基板サイズ (mm) | 仕込/取出室 | 加熱室 | 搬送室 | スパッタ室 | 高真空排気系 | 基板移載システム |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
SMD-950X |
要見積もり |
G4.5 |
X-type |
730X920 |
2 |
1 |
1 |
2 (Up to 3 cathodes) |
クライオポンプ or ターボ分子ポンプ |
1 or 2段アーム |
スパッタリング装置の中で同じ条件の製品
成膜環境: 高真空型
スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800