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プラズマエッチング装置のメーカー8社一覧や企業ランキングを掲載中!プラズマエッチング装置関連企業の2025年10月注目ランキングは1位:株式会社サクラクレパス、2位:サムコ株式会社、3位:神港精機株式会社です。 プラズマエッチング装置の概要、用途、原理もチェック!
プラズマエッチング装置とは、半導体のLSI製造などの微細加工分野において、プラズマ化したガスを用いたエッチング装置です。
LSI (大規模集積回路) やその原版となるフォトマスク、スマートフォンのディスプレイなどは、基板上に非常に微細なパターンの形成を経て出来上がります。この工程で、現像工程に続くのがエッチング工程です。エッチングでは、現像されたレジストパターンに沿ってその下にあるシリコンやシリコンの酸化膜、金属膜等を削っていきます。
LSIの高集積化やディスプレイの高精細化が進むにつれて、パターンの微細化が進行しました。プラズマエッチング装置は、微細なパターンの形成に必要不可欠な装置です。
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2025年10月の注目ランキングベスト7
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社サクラクレパス |
22.2%
|
| 2 | サムコ株式会社 |
22.2%
|
| 3 | 神港精機株式会社 |
18.5%
|
| 4 | 住友精密工業株式会社 |
11.1%
|
| 5 | 株式会社日立ハイテク |
11.1%
|
| 6 | NU-Rei株式会社 |
7.4%
|
| 7 | 株式会社片桐エンジニアリング |
7.4%
|
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