メーカー 19社
製品 36点

メーカー 19社製品 36点

レーザー干渉計
メーカー19社【2025年】

レーザー干渉計についての概要、用途、原理などをご説明します。また、レーザー干渉計のメーカー19社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。レーザー干渉計関連企業の2025年1月注目ランキングは1位:アメテック株式会社 ZYGO事業部、2位:株式会社フィジックステクノロジー、3位:レニショー株式会社となっています。

レーザー干渉計とは？
レーザー干渉計のメーカー19社
レーザー干渉計36製品

レーザー干渉計の関連キーワード

レーザー変位計

レーザー干渉計とは

レーザー干渉計

レーザー干渉計とは、光の干渉を利用して非常に高い精度で距離や形状の測定を行う装置です。

装置の中に組み込まれた光源から出力されたレーザー光は、ビームスプリッターと呼ばれる特殊なミラーによって2つに分けられます。そして、片方は直接サンプルの表面に照射、もう片方はビームスプリッターで一度反射してから照射される仕組みです。

このとき2つのレーザー光の間の光路長に差が生じます。そして2つの波が重なり合ったとき、波の位相に応じて干渉パターンが変わります。干渉パターンは光路長によって変わるので、サンプルの表面の凹凸に応じて敏感に変化します。

そのため、干渉パターンからサンプル表面の形状解析が可能です。高い測定精度と非接触性から、工業分野や科学研究などさまざまな分野で使用されています。

レーザー干渉計の使用用途

レーザー干渉計は、固体サンプルの表面形状の解析に用いられます。例えば、カメラのレンズやコンタクトレンズのように精密に形状を制御する必要があるレンズの表面解析やDVDディスクやガラスなどの表面形状測定にも用いられます。

平面、球面、半球面など、サンプルの形状によらず測定が可能であるため、使用分野は幅広いです。一方で、外部の振動やサンプル表面のゆらぎ、粗さなどの影響を受けて測定結果が変動しやすいため、液体サンプルや未研磨のサンプルの測定にはあまり用いられません。

レーザー干渉計の原理

レーザー干渉計の原理は、干渉の原理に基づいています。レーザー干渉計では、1つのレーザー光源から出た光を分割し、2つの光路に分けます。この分割された光路の1つは「参照光路」と呼ばれ、もう1つは「測定光路」と呼ばれます。

参照光路と測定光路で分けられた光が再び合流すると、光の干渉が起こります。干渉によって生じる明るさの変化を検出することで、光路の長さや形状の微小な変化を測定可能です。

具体的には、光が干渉する際には波の位相差によって明るさが変化します。位相差が0であれば干渉が完全に合致し、明るさが最大になります。逆に、位相差が波長の半分 (180度) ずれると、干渉が打ち消されて明るさが最小になります。

測定光路の一方の光路の長さが変化すると参照光路との位相差が生じ、この位相差を検出することで、測定対象の形状や移動量を高い精度で計測可能です。

レーザー干渉計の特徴

1. 2つに分けた光の位相の差を解析する

レーザー干渉計は、上で述べたように装置内で2つに分けられた光が重なったときの干渉パターンからサンプル表面の解析を行います。光は波の1種であるため、2つの光がお互い山、谷同士で重なった場合は波が強くなり、片方の波が山、もう片方が谷で重なった場合、波は打ち消されるのが特徴です。

この2つの光の波のずれを位相差と呼び、位相差が光の波長の倍数と等しいときに重なった波は強くなります。逆に位相差が光の波長の1/2の倍数に等しいときは波が打ち消されます。

2. 1μm以下の微小な厚みの変化も測定可能

レーザー干渉計で使用している光源の波長は630ナノメートル付近であるため、数百ナノメートルの僅かな光路の変化でも干渉パターンは変わります。したがって、1マイクロメートル以下の微小な表面の厚みの変化もレーザー干渉計では検出可能となります。

3. 振動対策が必須

レーザー光によるサンプルの変性は起こりにくいため、非破壊で表面の測定を行うことが可能であることもレーザー干渉計の大きな特徴の1つです。なお、レーザー干渉計は実験台の微小な振動の影響も受けやすいので、装置は振動や衝撃から保護するために使用される防振台の上に設置する必要があります。

参考文献
https://www.fujifilm.com/jp/ja/business/optical-devices/interferometer/knowledge
https://www.global-optosigma.com/jp/application/guide-int02.html
https://www.keyence.co.jp/ss/3dprofiler/keijou/flatness/interferometer/

レーザー干渉計のカタログ6件をまとめてダウンロードできます！

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レーザー干渉計メーカー 19社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

圧倒的な日本シェア・世界シェアを持つ　　XL-80 レーザーシステム注目製品
レニショー株式会社

・位置決め・繰返し再現性のレーザー測長機での検証は、装置開発および製造の基本
・工作機械・半導体製造装置・測定機などには、この製品で精度保証できます
・そのコンパクトさと信頼性から、圧倒的な日本シェア・世界シェアを継続中

工作機械組立てに　XK10アライメントレーザーシステム注目製品
レニショー株式会社

・工作機械の直線軸および回転軸の幾何誤差の測定を目的として開発
・測定項目は、直線軸の真直度や直角度、平面度、平行度、水平度、回転軸の主軸方向や同軸度の精度調整
・機械組付けの効率化や、定期メンテナンスや衝突が起こった後の現場作業時間の削減

加工空間を測る　XM-60マルチアクシスキャリブレータ注目製品
レニショー株式会社

・工作機械および三次元測定機の空間補正のために開発
・直線軸に沿った 6 自由度の幾何学誤差を1回のセットアップで同時測定
・設置方法を選ばず、空間補正のためで迅速かつ正確にデータを取得

レーザー干渉計 - Qualifire™ 注目製品
アメテック株式会社 ZYGO事業部

新たな世界を切り開く位相シフト干渉計！
複数の機能強化を実現しながら装置の軽量化も同時に実現したZYGOの最新型レーザー干渉計は、半導体、リソグラフィ、宇宙搭載イメージング・システム、最先端家電、防衛などの業界に、超高精度の計測ソリューションを提供いたします。

最小分解能1ピコメートル　レーザー干渉計PicoScale 注目製品
株式会社フィジックステクノロジー

・最大5000mmのワーキングディスタンス
・最小分解能1ピコメートル
・10MHzのデータレート
・標準センサーヘッドサイズΦ4×13mmと小型で組込みが容易
・真空・超高真空・極低温など、様々な環境に対応するオプションを用意
・ステージのヨーイング・ピッチング測定やディファレンシャル測定などへの応用も可能

- - レニショー株式会社
    測定機器一覧
  - 会社サイト資本金: 360,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区四谷4-29-8　レニショービル
- 実機測定デモ世界シェア一位コンパクト設計
  
  世界の業界標準である三次元測定機・工作機械用タッチプローブなど、その信頼性の高さから業界をリードする計測ソリューションを生み出し続けています。世界35か国で、70以上の拠点から、5000名以上の社員が技術対応などのサポートをしています。
- - アメテック株式会社 ZYGO事業部
    レーザー干渉計
  - 会社サイト創業: 1970年会社詳細
  - 住所: 東京都港区芝大門1-1-30芝NBFタワー3F
- ZYGOは半導体やリソグラフィー、人工衛星用イメージングシステム、最先端の消費者向けエレクトロニクス製品、防衛関連のIRおよび熱画像システムなど、要求の厳しい計測アプリケーションの実現をサポートします
- - 株式会社フィジックステクノロジー
    レーザー干渉計PicoScale
  - 会社サイト創業: 2005年資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 千葉県市川市南八幡4-2-5　いちかわ情報プラザ
- 最小分解能1pm 小型センサーヘッドデモ機貸出可能
  
  当社は、精密ステージをはじめ、計測機器、医療機器検査装置、加工装置など海外メーカーから業界最先端の精密機器を取り揃えております。
- - 富士フイルム株式会社メーカー
    レーザー干渉計
  - 会社サイト創業: 2006年従業員数: 4,702人会社詳細
  - 住所: 東京都港区赤坂9-7-3
- - サイバネットシステム株式会社メーカー
    レーザー干渉計
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1985年従業員数: 335人会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区神田練塀町3番地富士ソフトビル
- - キーサイト・テクノロジー株式会社メーカー
    レーザー干渉計／レーザー測定器とキャリブレーション・システム一覧
  - 会社サイト創業: 2014年従業員数: 660人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都八王子市高倉町9-1
- - アイテック株式会社メーカー
    レーザー干渉計
  - 会社サイト創業: 2003年従業員数: 15人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目4番63号新大阪千代田ビル別館10F
- - キヤノンマーケティングジャパン株式会社メーカー商社・代理店
    レーザー干渉計 Sシリーズ
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1968年従業員数: 4,653人会社詳細
  - 住所: 東京都港区港南2-16-6キヤノンSタワー
- - 株式会社マブチ・エスアンドティー
    精密測定機一覧
  - 会社サイト創業: 1950年従業員数: 62人資本金: 90,000,000円会社詳細
  - 住所: 長野県上伊那郡辰野町大字樋口1365番地
- - 株式会社オプセル
    レーザ走査干渉計一覧
  - 会社サイト創業: 2001年資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県川口市上青木3-12-18
- - 東明技研株式会社
    AK-40ZFレーザー干渉計本体
  - 会社サイト創業: 1985年資本金: 11,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県上尾市壱丁目417-7
- - ミカサ株式会社
    レーザー干渉計ZLM500/700/800
  - 会社サイト創業: 1921年従業員数: 20人会社詳細
  - 住所: 東京都港区芝公園2丁目8番1号
- - イネイブル株式会社
    レーザー干渉計・非接触粗さ測定機一覧
  - 会社サイト創業: 2009年従業員数: 17人会社詳細
  - 住所: 埼玉県川口市本町4-1-8川口センタービル3階
- - Renishaw plc.
    XL-80 レーザーシステム
  - 会社サイト創業: 1973年従業員数: 5,000人会社詳細
  - 本社: イギリス
- - 株式会社日本レーザー商社・代理店
    超高安定性干渉計 “GEMINI”
  - 会社サイト創業: 1968年従業員数: 56人会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区西早稲田2-14-1
- - 株式会社オプトサイエンス商社・代理店
    レーザー干渉計
  - 会社サイト創業: 1987年従業員数: 37人会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区内藤町1番地内藤町ビルディングB棟
- - 株式会社アイ・アール・システム商社・代理店
    レーザー干渉計
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 27人会社詳細
  - 住所: 東京都多摩市愛宕4-6-20
- - 太陽計測株式会社商社・代理店
    レーザー測長器一覧
  - 会社サイト創業: 1950年従業員数: 161人会社詳細
  - 住所: 東京都大田区山王1-2-6
- - エヌピイエス株式会社商社・代理店
    レーザー干渉計
  - 会社サイト創業: 1971年会社詳細
  - 住所: 東京都江東区亀戸6-12-4

レーザー干渉計 2025年1月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年1月の注目ランキングベスト10

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	アメテック株式会社 ZYGO事業部	14.4%
2	株式会社フィジックステクノロジー	12.4%
3	レニショー株式会社	9.3%
4	キヤノンマーケティングジャパン株式会社	7.2%
5	キーサイト・テクノロジー株式会社	6.2%
6	株式会社マブチ・エスアンドティー	6.2%
7	株式会社オプトサイエンス	6.2%
8	富士フイルム株式会社	6.2%
9	株式会社アイ・アール・システム	5.2%
10	アイテック株式会社	4.1%