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THKプレシジョン株式会社

【2021年版】精密ステージ5選 / メーカー18社一覧

精密ステージのメーカー18社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


精密ステージとは

精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。機種によって移動可能な軸が異なり、1軸~4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。

ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。

精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。

精密ステージの使用用途

精密ステージは、X軸、Y軸、Z軸、その他3軸の回転方向など各軸方向を精密に独立して動かすことができるため、サンプルに位置を正確に制御したい場合に使用されます。

半導体素子を始めとした微小物体を観察するための顕微鏡のステージとして使用する場合や加工機械を用いて精密な加工を行うためのワーク固定用ステージとする場合、光学レンズ検査時の光軸合わせなどの検査用ステージなどとして使用する場合、高精度の位置決めで部品を接合するためのステージとして使用される場合があります。

精密ステージの原理

精密ステージは高精度のリニアガイドと送りねじ、送りねじを回転させるためのマイクロメータまたは減速機付きモータによって構成されており、可動軸の数だけこれらの機構が組み込まれています。送りねじを1回展させるとねじのピッチ分(コンマ数ミリメートル程度)ステージが移動します。

マイクロメータを使用する場合には、マイクロメータに刻まれた特殊な目盛りを読み取ることで移動量を把握することができます。

モータを使用する場合には、モータ内部にロータリーエンコーダが内蔵されており回転数を検知できるため、ステージの移動量を制御することができます。

精密ステージは使用用途によってX軸のみの1軸ステージからX軸とY軸の2軸ステージ、Z軸や回転を加えた3軸から6軸のステージと様々な製品が展開されています。6軸精密ステージで1軸のみを使用するようないわゆる大は小を兼ねる使い方をすることは可能ですが、精密ステージは可動軸数が多いほど価格も大きく上がるため必要最小限のスペックのものを選定することをおすすめします。

参考文献
https://www.orimvexta.co.jp/product/detail/?id=007001
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html

精密ステージのメーカー情報

精密ステージのメーカー18社一覧


精密ステージのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 住友重機械工業株式会社
  2. 2 THK株式会社
  3. 3 鍋屋バイテック会社

設立年の新しい会社

  1. 1 THKプレシジョン株式会社
  2. 2 ソーラボジャポン株式会社
  3. 3 THKプレシジョン株式会社

歴史のある会社

  1. 1 鍋屋バイテック会社
  2. 2 住友重機械工業株式会社
  3. 3 中央精機株式会社

精密ステージ5選

真空対応スイベルステージ

神津精機株式会社

特徴

真空環境下で使用できる、自動式のスイベル精密ステージです。

ステッピングモーターを接続し、1軸で約0.00192度の精密さで傾斜角を調整できます。

真空対応のケーブルで、真空外のコントローラと簡単に接続できます。

ステンレスやリン青銅の筐体、真空対応のグリースなど、真空に対応できる材料が選定されていて、検査や包装も特別に管理されています。

クロスローラガイドを採用していて、剛性が高く作業すべりが少ないのも特徴です。

神津精機株式会社の会社概要

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クイック接続型(アリ溝付き)回転ステージ

ソーラボジャポン株式会社 クイック接続型(アリ溝付き)回転ステージ 画像出典: ソーラボジャポン株式会社公式サイト

特徴

ステージを掴んで簡単に360度の回転運動ができる、光学システム用の手動式精密ステージです。

クロスローラーベアリングを使用することで、回転ふらつきの防止と、剛性の高さを実現しています。

側面についたドライバを回転させ、バーニア目盛での調整を行うことで、回転範囲±5度、分解能0.331度での精密な回転制御が可能なのも特徴です。

マウント用の溝がついているので、他のステージにも簡単にマウントでき、XY軸の移動も簡単に行えます。

ソーラボジャポン株式会社の会社概要

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ナノステージシステム

シグマ光機株式会社 ナノステージシステム 画像出典: シグマ光機株式会社公式サイト

特徴

1nmという超高分解能を持ち、精密な位置決めができる1軸の自動サーボモーター式ステージ。

ピエゾアクチュエータと回折干渉方式のリニアスケールを使い、高精度なフィードバック信号を専用のコントローラで解析することで、1nmの分解能を実現しています。

また外乱の影響を受けた際は、サーボ機能により再調整を自動で行います。

ステージの移動量は20mm、50mmから選択できます。

超高速光デバイスの位置決めや、細径の光ファイバの調芯装置などとして使用できます。

シグマ光機株式会社の会社概要

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高精度ACサーボモーターステージ

コムス株式会社 高精度ACサーボモーターステージ 画像出典: コムス株式会社公式サイト

特徴

高精度のACサーボモータを搭載した、自動式精密ステージです。

ステージがリニアスライドガイドに搭載されていて、700mmまでの長距離調整が行えます。

また、完全フルクローズドループ対応なので精度が高く、60kgまでの荷重にも耐えるなど、大型・重量物の長距離・高速移動が高精度に行なえるのが特徴です。

移動方向はX軸、XY軸、Z軸から選択でき、必要に応じてフルカスタム対応をしてもらえる自由度の高さも特徴です。

コムス株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 兵庫県尼崎市道意町7-1-3 尼崎リサーチコアセンタービル5F
  • URL: https://www.coms-corp.co.jp/
  • 創業: 1998年
  • 従業員数: 9人

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ピエゾモータステージ

THKプレシジョン株式会社 ピエゾモータステージ 画像出典: THKプレシジョン株式会社公式サイト

特徴

20~40nmの高い分解能で位置決め制御できる、高精度なピエゾモーターステージです。

静止時の安定性が高いことが特徴で、外乱に対し高い位置精度を保つため、光学系などで定点位置決めを行いたい時、位置を調整した後電源を切り、静止保持したい時に適しています。

1軸または2軸で、4mm~12.5mmまでの移動範囲を選択できます。

必要な保持力に合わせて、6Nタイプと20Nタイプのアクチュエータ推力から製品を選ぶことができます。

THKプレシジョン株式会社の会社概要

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