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レーザー干渉計のメーカー20社一覧や企業ランキングを掲載中!レーザー干渉計関連企業の2025年9月注目ランキングは1位:レニショー株式会社、2位:アメテック株式会社 ZYGO事業部、3位:株式会社オプトサイエンスです。 レーザー干渉計の概要、用途、原理もチェック!
レーザー干渉計とは、光の干渉を利用して非常に高い精度で距離や形状の測定を行う装置です。
装置の中に組み込まれた光源から出力されたレーザー光は、ビームスプリッターと呼ばれる特殊なミラーによって2つに分けられます。そして、片方は直接サンプルの表面に照射、もう片方はビームスプリッターで一度反射してから照射される仕組みです。
このとき2つのレーザー光の間の光路長に差が生じます。そして2つの波が重なり合ったとき、波の位相に応じて干渉パターンが変わります。干渉パターンは光路長によって変わるので、サンプルの表面の凹凸に応じて敏感に変化します。
そのため、干渉パターンからサンプル表面の形状解析が可能です。高い測定精度と非接触性から、工業分野や科学研究などさまざまな分野で使用されています。
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2025年9月の注目ランキングベスト7
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | レニショー株式会社 |
31.3%
|
2 | アメテック株式会社 ZYGO事業部 |
18.8%
|
3 | 株式会社オプトサイエンス |
18.8%
|
4 | 富士フイルム株式会社 |
12.5%
|
5 | アイテック株式会社 |
6.3%
|
6 | キーサイト・テクノロジー株式会社 |
6.3%
|
7 | キヤノンマーケティングジャパン株式会社 |
6.3%
|
項目別
使用用途
#表面形状測定
#振動解析
#変位計測
#厚み測定
#波面解析
#材料試験
#光学検査
#半導体製造
#マイクロマシニング
#精密加工
#研究開発
測定方式
干渉型
マイケルソン型
使用環境
空気中測定型
真空中測定型
高温測定型
高精度基準型
測定対象
幾何形状測定型
微細な変位測定型
全面測定型
位置決め測定分解能 nm
0 - 1
1 - 2
2 - 3
位置決め測定可能距離 m
0 - 50
50 - 100
100 - 200
200 - 500
500 - 1,000
位置決め計測精度 ppm
0 - 0.2
0.2 - 0.5
最大移動速度 m/s
0 - 2
2 - 5
10 - 15
15 - 20
光源
VCSEL
ファイバーカップルレーザーダイオード
ヘリウムネオンレーザー
白12発光ダイオードアレイ
半導体レーザー
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