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【2020年版】平面度測定器10選 / メーカー8社一覧

平面度測定器のメーカー8社・16製品を一覧でご紹介します。


目次


平面度測定器のメーカー情報

平面度測定器のメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 株式会社キーエンス
  2. 2 株式会社ニデック
  3. 3 黒田精工株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 エスオーエル株式会社
  2. 2 株式会社テクノミュー
  3. 3 エスオーエル株式会社

歴史のある会社

  1. 1 黒田精工株式会社
  2. 2 株式会社テイエルブイ
  3. 3 株式会社溝尻光学工業所

平面度測定器のメーカー8社一覧


平面度測定器10選

超高精度平面度測定装置 SF-640M

黒田精工株式会社 超高精度平面度測定装置 SF-640M 画像出典: 黒田精工株式会社公式サイト

特徴

SF-640Mは、シリコンウェハや平面研削した加工物などの表面性状を評価するための平面度測定器です。

測定用の二次元ステージは、高精度のリニアサーボモータとエアスライダーを使用しているため、0.1umの繰り返し精度を誇り、その測定結果は独自の解析評価ソフトウェアですぐに判定できます。

ウェハのみならず、金属やセラミックスなどの計測もできるうえ、測定チャンバーは2重扉になっているため安全性も高く、熱源の電源部を外部に設置することで測定外乱も少なく抑えています。

黒田精工株式会社の会社概要

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波長シフト方式フィゾー干渉計FT-300WS

株式会社溝尻光学工業所 波長シフト方式フィゾー干渉計FT-300WS 画像出典: 株式会社溝尻光学工業所公式サイト

特徴

FT-300WSは、φ300mmサイズの大口径ガラスウエハの全面一括高速測定を可能にした非接触型の波長シフト方式フィゾー干渉計です。

ガラス等の透明平行板をフィゾー干渉計で測定する場合、表面、裏面、表裏面の 3つの干渉縞が重なってしまうため、複数の測定機で計測する必要がありましたが、
重なった干渉縞を分離する解析方法の開発により、「表面形状」、「裏面形状」、「板厚分布」を一度に全面一括で高速測定することが可能となり、大幅な作業時間の短縮を実現しています。

さらに、フィゾー干渉計ならではの高精度高分解能測定ができますので、鏡面サンプルでは通常の表面形状測定機としても使用可能です。

株式会社溝尻光学工業所の会社概要

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TFL2100

株式会社テクノミュー TFL2100 画像出典: 株式会社テクノミュー公式サイト

特徴

TFL2100は、非接触型の平面度測定器で、樹脂やガラス基板から大型の金型などの重量物まで幅広い用途に使用できます。

非接触型の平面測定器なため、対象物を傷つけることなく計測が可能で特に他の計測機では計測がむずかしい、大型の重量物に特化した装置設計をすることができます。

光源は可視光の半導体レーザーを使用し、高精度な計測結果を低価格で実現できるうえに、データの収集速度は高速なため、工場での面精度検査の効率を向上できます。

株式会社テクノミューの会社概要

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TFL3100

株式会社テクノミュー TFL3100 画像出典: 株式会社テクノミュー公式サイト

特徴

TFL3100XYシリーズは、ウェハーの平面度測定から研削加工品まで角型のワークに適しています。

非接触型の平面測定器なため、対象物を傷つけることなく計測が可能で、石定盤を使用しているため振動に圧倒的に強く、安定性の高い計測結果を得られます。

事前に計測結果の判定基準を登録することができ、計測結果の合否判定を瞬時にすることができます。

光源は可視光の半導体レーザーを使用し、2次元ステージを搭載しているため、ワークのサイズを問わずに検査ができます。

株式会社テクノミューの会社概要

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レーザー平面度計測器 LEVALIGN expert(レバライン エキスパート)シリーズ

株式会社テイエルブイ レーザー平面度計測器
LEVALIGN expert(レバライン エキスパート)シリーズ 画像出典: 株式会社テイエルブイ公式サイト

特徴

LEVALIGNexpertシリーズは、広範囲に対応する可視光レーザーを用いた平面度測定器です。

傾斜部や装置の基礎部分などあらゆる場所でも回転式ヘッドと直線性の高いレーザーを用いることで計測計測可能です。

計測対象によって、異なる分解能のセンサーを選定でき、平面および円形グリッドを定義し平坦度を算出することができます。

計測したデータをもとにソフトウェア上で自動で平坦度を算出するため、専門の解析知識を持たなくとも簡単に取り扱うことができます。

株式会社テイエルブイの会社概要

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高さ・平面度測定機 HM-1000 シリーズ

株式会社キーエンス

特徴

HM1000シリーズは、検査室や製造現場にてこれまで各種変位計で計測していた作業を代替せきる平面度測定器です。

従来ダイヤルゲージなどで1点ずつ手計測していた作業が、わずか0.3秒で検査できる上に、人やものに依存しない正確な検査結果を得ることができます。

これまでのレーザー変位計では、平面度測定を行うために駆動ステージとの組み合わせと調整が必要でしたが、HM1000は筐体一体型の計測システムなので、測定精度を保証しつつすぐに使うことができます。

株式会社キーエンスの会社概要

  • 会社所在地: 大阪府大阪市東淀川区東中島1-3-14
  • URL: https://www.keyence.co.jp
  • 創業: 1974年
  • 従業員数: 8,419人
  • 資本金: 30,600,000,000円

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FlatMaster-Semi Auto Wafer

エスオーエル株式会社 FlatMaster-Semi Auto Wafer 画像出典: エスオーエル株式会社公式サイト

特徴

FlatMaster-SemiAutoWaferはウェハ用の平面度測定器で、交換の必要のないユニバーサルチャックを採用しています。

設置から30秒でウェハ全面を一括測定でき、振動や温度などの外乱影響の少ない安定した計測できます。

測定精度は0.1um以下と高精を保証しながら、NIST規格の校正原器も付属しているため常に高精度の計測結果を担保できます。

搬送装置を排除した半自動機であるため低コストで導入できますが、のちに自動化へのアップグレードへも改造対応できます。

エスオーエル株式会社の会社概要

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UltraSortII

エスオーエル株式会社 UltraSortII 画像出典: エスオーエル株式会社公式サイト

特徴

UltraSortⅡは交換の必要のないユニバーサルチャックを採用した、ウェハ用の自動平面度測定器です。

吸着測定と非吸着測定が同時に行え、そのスループットは1時間で最大150枚と高速です。また、厚み測定も同時に行うことができ、安定的で高精度の平坦度測定が全自動でできます。

測定精度は0.1um以下と高精を保証しながら、NIST規格の校正原器も付属しているため常に高精度の計測結果を担保できます。

斜入射干渉計を用いた計測方法を採用しているため、鏡面だけでなく研削面まで計測できます。

エスオーエル株式会社の会社概要

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FlatMaster-Wafer

エスオーエル株式会社 FlatMaster-Wafer 画像出典: エスオーエル株式会社公式サイト

特徴

FlatMaster-Waferはウェハ用の平面度測定器で、垂直保持式のオーソドックスな手動モデルです。

サンプル設置や計測開始は手動で行う必要があるものの、設置から30秒でウェハ全面を一括測定でき、振動や温度などの外乱影響の少ない安定した計測できます。

測定精度は0.1um以下と高精を保証しながら、NIST規格の校正原器も付属しているため常に高精度の計測結果を担保できます。

垂直保持で平坦度計測できる機種はこのモデルのみで、使用実績は20年以上と抜群の耐久性を誇ります。

エスオーエル株式会社の会社概要

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FlatMaster MSP-Wafer

エスオーエル株式会社 FlatMaster MSP-Wafer 画像出典: エスオーエル株式会社公式サイト

特徴

FlatMaster-MSPはウェハ用の平面度測定器で、同時に平行度や高さ測定もできます。

約60秒でウェハ全面の平坦度と平行度や段差測定ができ、振動や温度などの外乱影響の少ない安定した計測できます。

測定精度は0.1um以下と高精を保証しながら、NIST規格の校正原器も付属しているため常に高精度の計測結果を担保できます。

フィゾー型の干渉計測手法を採用しており、独自のスキャン方法を組み合わせることで鏡面から粗面まで計測することが可能です。

エスオーエル株式会社の会社概要

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平面度測定器の16製品一覧

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