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真空バルブについての概要、用途、原理などをご説明します。また、真空バルブのメーカー33社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。真空バルブ関連企業の2024年11月注目ランキングは1位:株式会社キッツエスシーティー、2位:佐藤真空株式会社、3位:SMC株式会社となっています。
真空バルブの関連キーワード
真空バルブとは、真空状態の制御や封入を目的として使用される特殊なバルブ (弁) のことです。
真空技術の領域において、システム内の圧力や流れを適切に制御することに貢献しています。また、真空機器全体の性能や安全性を確保しています。
真空バルブは、真空チャンバー内のガスを封入したり排気したりするのに使用されます。真空チャンバー内の圧力を必要なレベルに調整することで、特定の実験やプロセスを行うために必要な真空状態を維持できます。
真空バルブは、真空ポンプの作動を制御するのに使用されます。ポンプのオン/オフやポンプからのガスの排出を調整することで、効率的な真空作成が可能になります。
真空バルブは、ガスの流れを制御するのに使用されます。特定の実験やプロセスに必要なガスの流量を調整し、適切な条件下での実験を行うことができます。
真空バルブは、異なる真空槽や真空系を連結したり分離したりするために使用されます。例えば、複数の真空チャンバーを1つのシステムに組み合わせる場合に、真空バルブを介して接続を行います。
真空バルブは、真空ポンプを保護するために使用されることもあります。特定のプロセスによって生成された物質がポンプに悪影響を与えるのを防ぐために、ポンプと真空槽を分離する際に真空バルブを使用します。
真空バルブの目的は、真空中でのガスの流れを制御することです。一般的な動作原理は、以下のとおりです。
ゲートバルブは、円盤状のバルブを真空チャンバーの内部で回転させることによって、ガスの流れを制御します。バルブが開いている場合、ガスは円盤の周囲を通過して流れます。バルブを回転させることで、円盤が真空チャンバーの中央に位置するため、ガスの流れを遮断してバルブを閉じることが可能です。
ソレノイドバルブは、電磁コイルを使用してバルブの開閉を制御します。電流がコイルに流れると、コイルによって生じる磁力がバルブを動かし、バルブが開きます。電流が止まると、磁力が消えてバルブが閉じます。このようにして電磁的にバルブを開閉することで、リモート制御が可能です。
バタフライバルブは、円盤状のバルブを回転させることによって、ガスの流れを制御します。円盤が真空チャンバーの中央に位置するときは、バルブが開いており、ガスが流れます。一方、円盤が真空チャンバーの外周に位置するときは、バルブが閉じてガスの流れを遮断します。
ピンチバルブは、柔軟なチューブを挟むことによってガスの流れを制御します。バルブを挟むことでチューブの内部の流れを遮断し、バルブを開放することでチューブの内部が開かれてガスが流れます。ピンチバルブは、チューブを挟む力を調整することで、ガスの流量を調整可能です。
上記で紹介したバルブ以外に、以下のような種類もあります。
回転する球体を用いて開閉するバルブです。球体が真空チャンバーの流路を遮断することでバルブを閉じ、回転させることで開きます。
直線的なパスに配置されたバルブで、ガスの流れを一貫して制御するために使用されます。
接続が90度の角度を形成するバルブで、限られたスペースに適しています。
シリンダー状のバルブがシートに対して開閉するタイプのバルブで、特に高いシール性が求められる場合に使用されます。
これらのバルブは、真空機器の設計や用途によって選択され、組み合わせられます。真空機器の性能や操作の正確さを確保するために、適切なバルブの選択が重要です。
参考文献
http://www.ikc.co.jp/technical/valve/whats_valve.html
http://www.asahiseiki.co.jp/column/post/05
https://www.giho.mitsubishielectric.co.jp/giho/pdf/2014/1411107.pdf
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年11月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社キッツエスシーティー |
12.5%
|
2 | 佐藤真空株式会社 |
8.7%
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3 | SMC株式会社 |
7.7%
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4 | 神港精機株式会社 |
6.7%
|
5 | 株式会社小林精密 |
5.8%
|
6 | 株式会社ブイテックス |
4.8%
|
7 | 株式会社フジ・テクノロジー |
4.8%
|
8 | 株式会社アルバック |
3.8%
|
9 | 株式会社旭精機 |
3.8%
|
10 | 株式会社パスカル |
2.9%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年11月の真空バルブページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。ブイテックスは豊富な経験...
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■特徴 ・使用圧力 大気圧~1X10^-6Pa ・リーク量 <1X10⁻10Pa・m2/s ・寿命回数 ☐FLV (自動) 10万回 ☐FLV (手動) 5万回 LX-☐FLV (自動) 100万回 ・操作圧力 0....
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■特徴 ・使用圧力 大気圧~1X10^-6Pa ・リーク量 <1X10⁻10Pa・m2/s ・寿命回数 ☐FLV (手動) 5万回 ・操作圧力 0.5~0.6MPa (自動) ・ベークアウト温度 (耐熱...
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ハンドル回転式の高真空用マニュアルバルブです。アルミボディタイプとSUSボディタイプをご用意しております。 ■業種 ・半導体製造工程 (前工程) ・半導体...
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豊富な種類と優れた性能。技術と粋を集めた自信作です。 ■特徴 ・フランジはJISB2290規格を採用。 ・本体材質はステンレスを使用。 ・Oリング材質はフッ素ゴ...
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■特長 ・クランプ継手は国際標準規格 (ISO) および日本工業規格 (JIS) です。 ・バルブのフランジの形状はクランプ形になっており、JISフランジ (B2290) と異...
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カットバルブとベントバルブの機能を兼ね備えた自動バルブです。圧縮空気および配管は不要でポンプの真空力を利用しての油の逆流防止します。 V-025SV アイ...
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キヤノンアネルバ株式会社
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キヤノンアネルバ株式会社
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10^-4 Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。NW25フランジでバルブが手動または圧空の2種類があります。 ■高真空領域まで使用可能 10^-4 Pa程度...
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10^-8 Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールにポリイミド樹脂を使用し、300 ℃までのベーキングが可能です。 本バルブは、10^-8 Pa...
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■高真空アングルバルブの特長 ・サイズは16Aから100Aまで対応。 ・空圧作動アングルバルブは電源/空圧源故障時に、スプリングにより「閉じた」状態に戻る保護...
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2022年5月13日