制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
真空ポンプのメーカー111社一覧や企業ランキングを掲載中！真空ポンプ関連企業の2025年6月注目ランキングは1位:株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン、2位:株式会社荏原製作所、3位:アネスト岩田株式会社となっています。 真空ポンプの概要、用途、原理もチェック！
真空ポンプは、装置や容器から空気を排出し、真空にするための装置です。真空ポンプは、ポンプ、排気口、吸気口で構成されています。ポンプには、真空にするための仕組みが多く開発されています。
真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、必要な真空度や、真空に到達するまでの時間、使用する温度環境を考慮して、使用する真空ポンプを適切に選定する必要があります。油を使用するかどうかで、ドライポンプとウェットポンプに分けられます。
関連キーワード
2025年6月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン |
7.6%
|
| 2 | 株式会社荏原製作所 |
5.1%
|
| 3 | アネスト岩田株式会社 |
3.6%
|
| 4 | 株式会社日本ピスコ |
3.3%
|
| 5 | 神港精機株式会社 |
3.3%
|
| 6 | 大同機械製造株式会社 |
2.5%
|
| 7 | 芝浦メカトロニクス株式会社 |
2.5%
|
| 8 | 日東工器株式会社 |
2.5%
|
| 9 | 防長商事株式会社 |
2.2%
|
| 10 | 株式会社ニクニ |
2.2%
|
21 点の製品がみつかりました
21 点の製品
日本ブッシュ株式会社
840人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ロータリーベーンは、堅牢性と機能性で定評ある技術です。円筒形のハウジング内に、複数枚のベーンが備わったローターが偏心して取り付...
4種類の品番
日本ブッシュ株式会社
1890人以上が見ています
最新の閲覧: 11分前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
2段式オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ ZEBRAシリーズでは、産業および分析プロセス向けの2段式ロータリーベーン真空ポンプを提供...
3種類の品番
日本ブッシュ株式会社
7940人以上が見ています
最新の閲覧: 37秒前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ドライスクリュー真空ポンプ COBRA Industryドライスクリュー真空ポンプは、高信頼で汚染のない気体やベーパーの排気が求められる産業用...
2種類の品番
日本ブッシュ株式会社
9330人以上が見ています
最新の閲覧: 14分前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ドライスクリュー真空ポンプ COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプは、ソーラーモジュール、フラットパネル、半導体の製造、また工...
2種類の品番
セル・ダイアグノスティックス合同会社
550人以上が見ています
100.0% 返答率
251.7時間 返答時間
NeoDryシリーズ (樫山工業) はルーツ式オイルレス真空ポンプです。ポンプ部に接触部分がないため、長時間の安定運転が可能です。 ■特徴...
三弘エマテック株式会社
560人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 T-station85 は、nEXT85H (ターボ分子ポンプ) とダイヤフラム型真空ポンプまたはロータリーポンプを組み合わせて、シンプル...
2種類の品番
エドワーズ株式会社
1250人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
100.0% 返答率
180.8時間 返答時間
■シンプルかつパワフルなロータリベーンポンプ E2S シリーズ - E2S45、E2S65、E2S85 - は、エドワーズ株式会社の最新の産業用 2 段式圧...
3種類の品番
Volkmann Japan株式会社
310人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
2.0時間 返答時間
Mシリーズ、MLシリーズのマルチエジェクターポンプは、3つのエジェクターステージを直列に接続した構造になっています。堅牢かつコンパ...
Volkmann Japan株式会社
230人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
2.0時間 返答時間
Mシリーズ、MLシリーズのマルチエジェクターポンプは、3つのエジェクターステージを直列に接続した構造になっています。堅牢かつコンパ...
Volkmann Japan株式会社
150人以上が見ています
最新の閲覧: 8分前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
2.0時間 返答時間
当社のマルチジェクター真空ポンプG、GLシリーズは4段エジェクターで、特にフリーサクションや低真空でのエネルギー効率をさらに向上さ...
Volkmann Japan株式会社
160人以上が見ています
最新の閲覧: 1分前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
2.0時間 返答時間
当社のマルチジェクター真空ポンプG、GLシリーズは4段エジェクターで、特にフリーサクションや低真空でのエネルギー効率をさらに向上さ...
真空ポンプは、装置や容器から空気を排出し、真空にするための装置です。真空ポンプは、ポンプ、排気口、吸気口で構成されています。ポンプには、真空にするための仕組みが多く開発されています。
真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、必要な真空度や、真空に到達するまでの時間、使用する温度環境を考慮して、使用する真空ポンプを適切に選定する必要があります。油を使用するかどうかで、ドライポンプとウェットポンプに分けられます。
真空ポンプは、医療機器や医療機器の製造過程、食品工場、電気機器、半導体の製造過程などで使用されます。また、真空を必要とする医療機器や理化学機器の補器としても使われます。真空ポンプは10種類以上の原理が開発されており、それぞれの特性を理解して適切に選定する必要があります。
真空ポンプの主な使用用途は以下の通りです。
真空ポンプを動作原理により分類し、そのうち代表的なものの動作原理を説明します。
油回転真空ポンプは、回転するローターなどの働きで吸入した空気を押し出すようにして排気する真空ポンプで、気密性を高めるために油を使うウェットポンプの総称です。ロータリー真空ポンプとも呼ばれます。
詳細な形式として、回転翼型油真空ポンプ、カム形油回転真空ポンプ、揺動ピストン型油回転真空ポンプなどがあります。回転翼、カム、ピストンに結合した揺動部と、空気と接する部位の形は異なりますが、いずれの形式でも、ローターの回転に伴って空気を排出することで真空を作ります。
油を使う以上、油の蒸気圧が真空の限界となりますが、油の働きで安定した性能を発揮でき、小型の装置で容易に中真空を得ることができます。
油拡散真空ポンプは、ボイラーとジェットノズル、凝縮機で構成されています。ボイラーで加熱して蒸気になった油をジェットノズルにより超音速で噴射し、ポンプ内の空気分子を排気口に押し出します。蒸気になった油は凝縮器で液体の油となり再利用されます。
回転翼型ドライ真空ポンプは、回転するローターとベーンが吸気口から吸入した空気をかき出すようにして排気する真空ポンプで、油を使わないものです。空気の逆流を防ぐことが出来ないため、低真空状態が限界になりますが、大きな排気速度を得ることができます。
揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、偏心回転軸に連動するピストンによって、空気を押し出すようにして排気する真空ポンプです。構造上、空気の逆流を防ぐことができないため、低真空状態が限界になりますが、メンテナンスが容易です。
ダイヤフラムポンプ( 膜ポンプ )とは、ゴム、樹脂、金属といった素材から成るダイアフラムの往復運動と逆止弁を組み合わせて流体を輸送するポンプです。真空ポンプとする場合、逆止弁があるため気密に油を用いる必要が無く、ドライポンプとすることができます。往復運動に伴い、真空にしたい側から空気を吸い込み、大気側に吐き出すことを繰り返して真空を作ります。
スクロール型ドライ真空ポンプは、渦巻型のステータとローターの運動の組み合わせによって排気するドライ真空ポンプです。渦巻の運動により、空気を中央に寄せて、中央部から排気します。
ターボ分子ポンプは、タービンの形をしたドライ真空ポンプです。タービン翼を分子の熱運動に近い速度で高速回転させ、タービン翼の傾きに応じた分子運動の偏りを作ることで排気を行います。タービン翼の高速回転を可能とするため、ある程度の真空中で使用する必要があり、他の真空ポンプと組み合わせて使われます。
真空ポンプの選定では、到達真空度、排気時間、排気容量などを考慮してポンプの種類を決定します。真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、それぞれに合った真空ポンプがあります。
低真空用では、ダイアフラム型ドライポンプ、揺動ピストン型ドライポンプ、回転翼型ドライポンプなどがあります。ダイアフラム型は回転翼型ドライポンプのような摺動部がないので煽動による微粒子が発生せず、クリーンな真空を得ることができます。揺動ピストン型は構造がシンプルでメンテナンスが容易です。回転翼型は大きな排気速度を得ることができます。
中真空用では、スクロール型、油回転型などがあります。スクロール型は多くの製品で2段圧縮により効率を確保しており、低振動、低騒音なものとなっています。油回転型は名前の通り、油により潤滑、密封を行っているため効率が良く、真空度の安定性が良いポンプです。
高真空用では、2つのローターを回転させて吸引、圧縮するルーツ型( メカニカルブースター )真空ポンプ、多段のルーツ型ポンプを一体化した多段ルーツ型真空ポンプ、構造がシンプルで排気速度が大きい油拡散型真空ポンプなどがあります。更に超高真空用と呼ばれるものにターボ分子ポンプやクライオポンプなどがあります。
このように様々な種類の真空ポンプがあるため、その特徴や特性を良く理解し、用途に合ったものを選択することが大切です。
真空を使用した設備では、到達真空度、排気時間を考慮して真空ポンプを選定します。しかし、一般的に真空度が上がると排気速度が遅くなること、高真空用ポンプの中には大気圧状態では使用できないものがあることから、真空ポンプ単独ではなく、組み合わせて使用する場合があります。
例えば、「低真空で排気速度の速いポンプ」と「高真空のポンプ」を切り替えて併用したり、同時使用したりすることで、高真空でもある程度の排気速度が得られます。
具体例としては、油回転型で低真空領域まで真空引き( 粗引き )し、その後、メカニカルブースターポンプに切り替えて高真空まで真空引き( 本引き )する方法が挙げられます。
また、2種類の真空ポンプを連結し、中低真空用ポンプを介することで大気圧でも高真空用ポンプを使用できるようにすることもあります。
油回転真空ポンプは、正しく使えば安定した性能を発揮しますが、オイルの管理が重要です。気体を吸引して真空をつくる性質上、どうしても吸引したものの中にある不純物( 水など )がオイルに混入してしまいます。このような不純物がオイルの性能を劣化させます。
ほとんどの油回転真空ポンプには、ガスバラストといって揮発性の成分を蒸発させる機能があるので、定期的にガスバラストを行うとよいでしょう。オイル量の日常点検、定期的なオイル交換も重要です。また、「オイルを汚染しやすい用途であるが安価なのでとりあえず油回転真空ポンプを設置していた」など、状況によっては近い性能のドライポンプに置き換えるなどの見直しも意義があるかもしれません。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/56/6/56_13-LC-014/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_657/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_670/_pdf
https://ulvac-kiko.com/support/pump_types.html
