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この製品について

ドライスクリュー真空ポンプ
COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプは、ソーラーモジュール、フラットパネル、半導体の製造、また工業用の各種コーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスに理想的な選択肢です。COBRA Semiconの動作原理は、最先端のスクリュー技術に基づいています。特許取得のセルフバランシングスクリューは、効率において新たな基準を打ち立てるものとなりました。COBRA Semiconは、高い排気能力と優れたベーパーおよび粉体への耐性を兼ね備えているため、 粉体を含むガスの吸引も問題ありません。
ドライかつ非接触式の動作原理が、低メンテナンス、低運用コスト、そして長寿命化を実現しています。COBRA Semiconはコンパクトサイズのため、限られたスペースにも簡単に設置できます。

動作原理
COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプの内部では、2本のスクリュー型のローターが互いに逆方向に回転します。吸引されたガスがシリンダーとスクリューチャンバーの間で捕捉され、 圧縮されながら排気口に運ばれます。このプロセス中に、スクリューローターが互いに接触したり、シリンダーと接触したりすることはありません。

COBRA BCシリーズのメリット
COBRA BC真空ポンプは、ロードロックおよびトランスファーチャンバーの用途に最適です。その他の用途としては、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセス、シリコンエッチングなどが挙げられます。特許取得のセルフバランシングスクリュー設計により、低振動と静音運転を実現しています。COBRA BC真空ポンプのスクリューは、一体の鋳物のため継ぎ目がありません。従ってプロセス流体や粒子が隙間に侵入することがありません。このため、腐食や堆積が防止されます。
COBRA BC真空ポンプの不等ピッチスクリューのツインローターは、ベル型のカンチレバー構造のため、モーター側のみで固定されています。独自の「フライングベアリング」設計のため、吸気口側のベアリングは不要です。そのため、吸引されたガスはベアリングと接触しません。これにより、クリーンな真空生成が確保され、吸引されたガスを完全に回収することができます。COBRA BCシリーズの真空ポンプには、効率的な直接水冷方式が採用されているため、 真空ポンプ全体の温度が均一に保たれ、 プロセス全体を通じた熱的安定性も保たれます。
完全にオープンな通信プロトコル (Modbus TCP-IP) で、すべての機能を制御できます。これには、アイドリングモードや可変速ドライブも含まれます。この通信プロトコルにより、一般的なインターフェースを使用して特定のネットワークにも簡単に適応できます。
直結式キャンドモーターを採用しているため、COBRA BCシリーズは非常にコンパクトです。設置場所を選ばない設計のため、既存のシステムにも簡単かつ迅速に後付けすることができます。

半導体のライト～ミディアムプロセス向けに理想的なソリューション
・高度なスクリュー設計
・ドライかつ非接触式の動作原理
・独自のフライングベアリング設計
・カンチレバー構造
・設置場所を選ばないコンパクト設計
・直接水冷方式
・完全にオープンな通信プロトコル

型番
この商品には46種類の型番があります

シリーズ
COBRA SEMICON

取扱企業
日本ブッシュ株式会社

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COBRA SEMICON 品番46件

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品番	価格 (税抜)	到達真空度到達真空度	使用水量	消費電力(到達真空度時)	定格モーター出力	設計排気速度	質量	定格モーター回転数	外形寸法(LxWxH)	騒音値(ISO2151)	ガスアウトレット	ガスインレット	窒素消費量	定格モーター出力(バックポンプ)	定格モーター出力(メカニカルブースター)	消費電力(アイドルモード時)	定格モーター回転数(バックポンプ)	定格モーター回転数(メカニカルブースター)
COBRA BC 0101 G 50Hz	要見積もり	0.01 hPa 0.01hPa(mbar)	1.0l/min	1.1kW	1.8kW	100m³/h	115kg	3600min⁻¹	520x300x340mm	58dB(A)	DN40KF	DN50KF	-	-	-	-	-	-
COBRA BC 0101 G 60Hz	要見積もり	0.01 hPa 0.01hPa(mbar)	1.0l/min	1.1kW	1.8kW	100m³/h	115kg	3600min⁻¹	520x300x340mm	58dB(A)	DN40KF	DN50KF	-	-	-	-	-	-
COBRA BC 0601 G 50Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小3.0–4.0l/min	1.7kW	-	550m³/h	315kg	-	905x354x660mm	62dB(A)	DN40ISO-KF	DN63ISO-K	0–70l/min	1.5kW	1.5kW	1.7kW	3000min⁻¹	3000min⁻¹
COBRA BC 0601 G 60Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小3.0–4.0l/min	1.7kW	-	640m³/h	315kg	-	905x354x660mm	62dB(A)	DN40ISO-KF	DN63ISO-K	0–70l/min	1.5kW	1.8kW	1.7kW	3000min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA BC 1001 G 50Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小3.0–4.0l/min	1.7kW	-	870m³/h	310kg	-	1054x425x615mm	62dB(A)	DN40ISO-KF	DN100ISO-K	0–70l/min	1.5kW	2.9kW	1.7kW	3000min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA BC 1001 G 60Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小3.0–4.0l/min	1.2kW	-	870m³/h	310kg	-	1054x425x615mm	62dB(A)	DN40ISO-KF	DN100ISO-K	0–70l/min	1.5kW	2.9kW	1.2kW	3000min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA BC 1200 A 50Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小4.0–5.0l/min	1.9kW	-	1200m³/h	360kg	-	1054x425x615mm	62dB(A)	DN40ISO-KF	DN160ISO-K	0–70l/min	1.5kW	4.0kW	1.9kW	3000min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA BC 1200 A 60Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小4.0–5.0l/min	1.3kW	-	1200m³/h	360kg	-	1054x425x615mm	62dB(A)	DN40ISO-KF	DN160ISO-K	0–70l/min	1.5kW	4.0kW	1.3kW	3000min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 0080 G 50Hz	要見積もり	0.03 hPa 0.03hPa(mbar)	4.0l/min	2.6kW	4.0kW	70m³/h	276kg	3000min⁻¹	865x385x667mm	<62dB(A)	DN40	DN40	0–75l/min	-	-	-	-	-
COBRA DS 0080 G 60Hz	要見積もり	0.03 hPa 0.03hPa(mbar)	4.0l/min	3.2kW	4.4kW	85m³/h	276kg	3600min⁻¹	865x385x667mm	<62dB(A)	DN40	DN40	0–75l/min	-	-	-	-	-
COBRA DS 0160 G 50Hz	要見積もり	0.03 hPa 0.03hPa(mbar)	4.0l/min	4.3kW	5.5kW	140m³/h	338kg	3000min⁻¹	975x425x697mm	<68dB(A)	DN40	DN50	0–75l/min	-	-	-	-	-
COBRA DS 0160 G 60Hz	要見積もり	0.03 hPa 0.03hPa(mbar)	4.0l/min	5.2kW	6.6kW	160m³/h	338kg	3600min⁻¹	975x425x697mm	<68dB(A)	DN40	DN50	0–75l/min	-	-	-	-	-
COBRA DS 0600 E 50Hz	要見積もり	0.01 hPa 0.01hPa(mbar)	6l/min	9kW	15kW	600m³/h	745kg	3600min⁻¹	1654x600x747mm	<70dB(A)	DN63	DN100	0–200l/min	-	-	-	-	-
COBRA DS 0600 E 60Hz	要見積もり	0.01 hPa 0.01hPa(mbar)	6l/min	9kW	15kW	600m³/h	745kg	3600min⁻¹	1654x600x747mm	<70dB(A)	DN63	DN100	0–200l/min	-	-	-	-	-
COBRA DS 0700 G 50Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	5.0l/min	3.0kW	-	500m³/h	445kg	-	865x385x917mm	<62dB(A)	DN40	DN63	0–75l/min	4.0kW	4.0kW	3.0kW	3000min⁻¹	3000min⁻¹
COBRA DS 0700 G 60Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	5.0l/min	3.6kW	-	610m³/h	445kg	-	865x385x917mm	<62dB(A)	DN40	DN63	0–75l/min	4.4kW	4.4kW	3.6kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA DS 1000 G 50Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	5.0l/min	3.3kW	-	775m³/h	576kg	-	1034x425x1017mm	<62dB(A)	DN40	DN100	0–75l/min	4.0kW	4.0kW	3.3kW	3000min⁻¹	3000min⁻¹
COBRA DS 1000 G 60Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	5.0l/min	4.0kW	-	960m³/h	576kg	-	1034x425x1017mm	<62dB(A)	DN40	DN100	0–75l/min	4.4kW	4.4kW	4.0kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA DS 2000 G 50Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	5.0l/min	5.6kW	-	1365m³/h	668kg	-	1063x465x1069mm	<68dB(A)	DN40	DN160	0–75l/min	5.5kW	5.5kW	5.6kW	3000min⁻¹	3000min⁻¹
COBRA DS 2000 G 60Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	5.0l/min	6.8kW	-	1640m³/h	668kg	-	1063x465x1069mm	<68dB(A)	DN40	DN160	0–75l/min	6.6kW	6.6kW	6.8kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA DS 1200 A 50Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	7.0–8.0l/min	-	-	1200m³/h	500kg	-	1073x426x740mm	<62dB(A)	DN40ISO-KF	DN160ISO-K	0–75l/min	4.0kW	4.0kW	-	3000min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 1200 A 60Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	7.0–8.0l/min	-	-	1200m³/h	500kg	-	1073x426x740mm	<62dB(A)	DN40ISO-KF	DN160ISO-K	0–75l/min	4.4kW	4.0kW	-	3600min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 1800 A 50Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	7.0–8.0l/min	-	-	1700m³/h	500kg	-	1073x426x750mm	<62dB(A)	DN40ISO-KF	DN160ISO-K	0–75l/min	4.4kW	4.0kW	-	5100min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 1800 A 60Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	7.0–8.0l/min	-	-	1700m³/h	500kg	-	1073x426x750mm	<62dB(A)	DN40ISO-KF	DN160ISO-K	0–75l/min	4.4kW	4.0kW	-	5100min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 1800 A H 50Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小7.0–8.0l/min	-	-	1700m³/h	520kg	-	1124x426x750mm	<62dB(A)	DN40ISO-KF	DN160ISO-K	0–75l/min	6.6kW	4.0kW	-	3600min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 1800 A H 60Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小7.0–8.0l/min	-	-	1700m³/h	520kg	-	1124x426x750mm	<62dB(A)	DN40ISO-KF	DN160ISO-K	0–75l/min	6.6kW	4.0kW	-	3600min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 2141 A 50Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小7.0–8.0l/min	5.0kW	-	1875m³/h	600kg	-	1133x425x954mm	<75dB(A)	DN50	DN160	0–75l/min	7.9kW	4.0kW	-	4320min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 2141 A 60Hz	要見積もり	0.003 hPa 0.003hPa(mbar)	最小7.0–8.0l/min	5.0kW	-	1875m³/h	600kg	-	1133x425x954mm	<75dB(A)	DN50	DN160	0–75l/min	7.9kW	4.0kW	-	4320min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 2610 E 50Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	10l/min	10kW	-	1830m³/h	1300kg	-	1420x722x1452mm	<75dB(A)	DN63	DN160	0–200l/min	15kW	5.5kW	10kW	3000min⁻¹	3000min⁻¹
COBRA DS 2610 E 60Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	10l/min	11kW	-	2130m³/h	1300kg	-	1420x722x1452mm	<75dB(A)	DN63	DN160	0–200l/min	15kW	6.6kW	11kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA DS 3010 F 50Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	10l/min	11.8kW	-	3200m³/h	1380kg	-	1420x722x1452mm	<75dB(A)	DN63	DN160	0–200l/min	15kW	15kW	11.8kW	3600min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 3010 F 60Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	10l/min	9.9kW	-	3200m³/h	1380kg	-	1420x722x1452mm	<75dB(A)	DN63	DN160	0–200l/min	15kW	15kW	9.9kW	3600min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 3161 B 50Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	10l/min	11.8kW	-	3200m³/h	1360kg	-	1316x633x1249mm	<75dB(A)	DN63	DN160	0–200l/min	15kW	15kW	11.8kW	3600min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 3161 B 60Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	10l/min	9.9kW	-	3200m³/h	1360kg	-	1316x633x1249mm	<75dB(A)	DN63	DN160	0–200l/min	15kW	15kW	9.9kW	3600min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 3181 B 50Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	最小10l/min	12.4kW	-	3500m³/h	1390kg	-	1654x722x1452mm	<75dB(A)	DN63	DN160	0–200l/min	18.5kW	15.0kW	10.3kW	4320min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 3181 B 60Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	最小10l/min	12.4kW	-	3500m³/h	1390kg	-	1654x722x1452mm	<75dB(A)	DN63	DN160	0–200l/min	18.5kW	15.0kW	10.3kW	4320min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 5161 A 50Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	12l/min	12.5kW	-	4200m³/h	1440kg	-	1550x723x1452mm	<75dB(A)	DN63	DN200	0–200l/min	15kW	15kW	12.5kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA DS 5161 A 60Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	12l/min	10kW	-	4200m³/h	1440kg	-	1550x723x1452mm	<75dB(A)	DN63	DN200	0–200l/min	15kW	15kW	10kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA DS 8161 F 50Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	13l/min	13kW	-	6000m³/h	1350kg	-	1441x627x1100mm	<75dB(A)	DN63	DN200	0–200l/min	15kW	20kW	13kW	3600min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 8161 F 60Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	13l/min	11kW	-	6000m³/h	1350kg	-	1441x627x1100mm	<75dB(A)	DN63	DN200	0–200l/min	15kW	20kW	11kW	3600min⁻¹	5400min⁻¹
COBRA DS 9161 B 50Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	13l/min	13kW	-	6160m³/h	1800kg	-	1567x810x1615mm	<75dB(A)	DN63	DN200	0–200l/min	15kW	20kW	13kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA DS 9161 B 60Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	13l/min	11kW	-	6160m³/h	1800kg	-	1567x810x1615mm	<75dB(A)	DN63	DN200	0–200l/min	15kW	20kW	11kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA DS 8162 F 50Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	22l/min	21kW	-	7000m³/h	2500kg	-	1604x1470x1860mm	<78dB(A)	2·DN63	DN200	2·(0–200)l/min	2·15kW	20kW	19kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA DS 8162 F 60Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	22l/min	21kW	-	7000m³/h	2500kg	-	1604x1470x1860mm	<78dB(A)	2·DN63	DN200	2·(0–200)l/min	2·15kW	20kW	19kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA DS 8163 B 50Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	31l/min	30kW	-	7385m³/h	3320kg	-	1604x2114x1860mm	<78dB(A)	3·DN63	DN200	3·(0–200)l/min	3·15kW	20kW	28kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹
COBRA DS 8163 B 60Hz	要見積もり	0.001 hPa 0.001hPa(mbar)	31l/min	30kW	-	7385m³/h	3320kg	-	1604x2114x1860mm	<78dB(A)	3·DN63	DN200	3·(0–200)l/min	3·15kW	20kW	28kW	3600min⁻¹	3600min⁻¹