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ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ-UTM1200A
ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ-三弘エマテック株式会社

ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ
三弘エマテック株式会社

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この製品について

■製品説明

磁気軸受採用のコントローラ一体型ターボ分子ポンプ。ポンプ本体、コントローラを一体にする事で、省配線、省スペースを実現しております。

■特徴

ポンプ本体とコントローラが一体型のため、面倒な配線の引き回しが不要です。取付方向に制限が無く、自由な方向に取付可能のため装置設計の際の自由度が上がります。ライトプロセスに適した広域大流量設計です。ポンプ回転数変更可能。回転数25~100%の範囲で、チャンバーの圧力調整が可能です。大気突入試験をはじめ、タッチダウン試験などの各種安全性を確認する試験をクリア。

  • シリーズ

    ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年9月9日にレビュー済み

顧客対応への満足度

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ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ 品番4件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) メーカー 排気口 到達圧力【Pa】 回転数可変機構 取付方向 表面処理 コントローラ 構成 コントローラ 電源 冷却方式 冷却水流量【L/min】 冷却水水圧【MpaG】 適合規格 選択仕様 ACケーブル オプション品 標準付属品
ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ-品番-UTM1200A

UTM1200A

要見積もり

(株) アルバック

VG150、ISO160F

KF40

1×10-7乗台

N2→1,030、Ar→980、H2→660

N2→2×10^8、He→7×10^3、H2→8×10^2

26

266

37,200

ポンプの規定回転数の25%~100%の間で運転回転数の変更可能

8

全方位取付可能

無し

D-sub25ピンメス 接点入出力

専用丸形コネクタ RS232C/RS485

ポンプ本体と一体 (底部に内蔵)

単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz)

0.75kVA

水冷

3~4

0.2~0.4

57

43

600L/min以上

CE、TUVus

ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m)

要 (M10)

ガスポート用アダプタKF10

給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM)

ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ-品番-UTM1600A

UTM1600A

要見積もり

(株) アルバック

VG200、VG250、ISO200F、ISO250F

KF40

1×10-7乗台

N2→1,400、Ar→1,330、H2→750

N2→2×10^8、He→7×10^3、H2→8×10^2

26

266

37,200

ポンプの規定回転数の25%~100%の間で運転回転数の変更可能

8

全方位取付可能

無し

D-sub25ピンメス 接点入出力

専用丸形コネクタ RS232C/RS485

ポンプ本体と一体 (底部に内蔵)

単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz)

0.75kVA

水冷

3~4

0.2~0.4

57

41

600L/min以上

CE、TUVus

ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m)

不要

ガスポート用アダプタKF10

給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM)

ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ-品番-UTM2300A

UTM2300A

要見積もり

(株) アルバック

VG250、ISO250F

KF40

1×10-7乗台

N2→2,100、Ar→2,000、H2→1,380

N2→1×10^8以上、He→5×10^3、H2→9×10^2

4.5

200

33,700

ポンプの規定回転数の25%~100%の間で運転回転数の変更可能

9

全方位取付可能

無し

D-sub37ピンメス 接点入出力

D-sub9ピンオス RS232C/RS485

ポンプ本体と一体 (底部に内蔵)

単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz)

1.2kVA

水冷

3~4

0.2~0.4

60

56

1,500L/min以上

CE、TUVus

ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m)

不要

ガスポート用アダプタKF10

給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM)

ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ-品番-UTM3400A

UTM3400A

要見積もり

(株) アルバック

VG300、VG350、ISO320F

KF40

1×10-7乗台

N2→3,200、Ar→3,100、H2→2,100

N2→1×10^9以上、He→1×10^5、H2→6×10^3

7

270

27,600

ポンプの規定回転数の25%~100%の間で運転回転数の変更可能

16

全方位取付可能

無し

D-sub37ピンメス 接点入出力

D-sub9ピンオス RS232C/RS485

ポンプ本体と一体 (底部に内蔵)

単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz)

1.2kVA

水冷

3~4

0.2~0.4

60

94

1,500L/min以上

CE、TUVus

ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m)

不要

ガスポート用アダプタKF10

給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM)

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会社概要

三弘エマテック株式会社は、1975年に設立された、真空機器、装置等の販売を行う企業です。 「真空技術」を軸とした、ポンプや分析機器、理化学機械を取り扱います。取り扱うメーカーは200社以上あり、顧客のニーズに合わせた製...

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