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ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ取扱企業
三弘エマテック株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 吸気口 | 排気口 | 到達圧力【Pa】 | 排気速度【L/sec】 | 圧縮比 | 最大給気口圧力【Pa】 | 最大排気口圧力【Pa】 | 回転数【min-1】 | 回転数可変機構 | 起動時間【min】 | 取付方向 | 表面処理 | 外部制御 (リモートインターフェース) | 外部制御 (シリアルインターフェース) | コントローラ 構成 | コントローラ 電源 | コントローラ 最大所要動力 | 冷却方式 | 冷却水流量【L/min】 | 冷却水水圧【MpaG】 | 騒音【dB (A) 】 | 質量【Kg】 | 推奨補助ポンプ | 適合規格 | 選択仕様 ACケーブル | 選択仕様 ポンプ固定用特殊ボルト要否 | オプション品 | 標準付属品 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
UTM1200A |
要見積もり |
(株) アルバック |
VG150、ISO160F |
KF40 |
1×10-7乗台 |
N2→1,030、Ar→980、H2→660 |
N2→2×10^8、He→7×10^3、H2→8×10^2 |
26 |
266 |
37,200 |
ポンプの規定回転数の25%~100%の間で運転回転数の変更可能 |
8 |
全方位取付可能 |
無し |
D-sub25ピンメス 接点入出力 |
専用丸形コネクタ RS232C/RS485 |
ポンプ本体と一体 (底部に内蔵) |
単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz) |
0.75kVA |
水冷 |
3~4 |
0.2~0.4 |
57 |
43 |
600L/min以上 |
CE、TUVus |
ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m) |
要 (M10) |
ガスポート用アダプタKF10 |
給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM) |
||
UTM1600A |
要見積もり |
(株) アルバック |
VG200、VG250、ISO200F、ISO250F |
KF40 |
1×10-7乗台 |
N2→1,400、Ar→1,330、H2→750 |
N2→2×10^8、He→7×10^3、H2→8×10^2 |
26 |
266 |
37,200 |
ポンプの規定回転数の25%~100%の間で運転回転数の変更可能 |
8 |
全方位取付可能 |
無し |
D-sub25ピンメス 接点入出力 |
専用丸形コネクタ RS232C/RS485 |
ポンプ本体と一体 (底部に内蔵) |
単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz) |
0.75kVA |
水冷 |
3~4 |
0.2~0.4 |
57 |
41 |
600L/min以上 |
CE、TUVus |
ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m) |
不要 |
ガスポート用アダプタKF10 |
給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM) |
||
UTM2300A |
要見積もり |
(株) アルバック |
VG250、ISO250F |
KF40 |
1×10-7乗台 |
N2→2,100、Ar→2,000、H2→1,380 |
N2→1×10^8以上、He→5×10^3、H2→9×10^2 |
4.5 |
200 |
33,700 |
ポンプの規定回転数の25%~100%の間で運転回転数の変更可能 |
9 |
全方位取付可能 |
無し |
D-sub37ピンメス 接点入出力 |
D-sub9ピンオス RS232C/RS485 |
ポンプ本体と一体 (底部に内蔵) |
単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz) |
1.2kVA |
水冷 |
3~4 |
0.2~0.4 |
60 |
56 |
1,500L/min以上 |
CE、TUVus |
ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m) |
不要 |
ガスポート用アダプタKF10 |
給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM) |
||
UTM3400A |
要見積もり |
(株) アルバック |
VG300、VG350、ISO320F |
KF40 |
1×10-7乗台 |
N2→3,200、Ar→3,100、H2→2,100 |
N2→1×10^9以上、He→1×10^5、H2→6×10^3 |
7 |
270 |
27,600 |
ポンプの規定回転数の25%~100%の間で運転回転数の変更可能 |
16 |
全方位取付可能 |
無し |
D-sub37ピンメス 接点入出力 |
D-sub9ピンオス RS232C/RS485 |
ポンプ本体と一体 (底部に内蔵) |
単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz) |
1.2kVA |
水冷 |
3~4 |
0.2~0.4 |
60 |
94 |
1,500L/min以上 |
CE、TUVus |
ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m) |
不要 |
ガスポート用アダプタKF10 |
給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM) |