ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ 三弘エマテック株式会社
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100.0%
この製品について
■製品説明
磁気軸受採用のコントローラ一体型ターボ分子ポンプ。ポンプ本体、コントローラを一体にする事で、省配線、省スペースを実現しております。■特徴
ポンプ本体とコントローラが一体型のため、面倒な配線の引き回しが不要です。取付方向に制限が無く、自由な方向に取付可能のため装置設計の際の自由度が上がります。ライトプロセスに適した広域大流量設計です。ポンプ回転数変更可能。回転数25～100％の範囲で、チャンバーの圧力調整が可能です。大気突入試験をはじめ、タッチダウン試験などの各種安全性を確認する試験をクリア。-
シリーズ
ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ
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取扱企業
三弘エマテック株式会社
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ターボ分子ポンプ UTM-MIシリーズ 品番4件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 吸気口 | 排気口 | 到達圧力【Pa】 | 排気速度【L/sec】 | 圧縮比 | 最大給気口圧力【Pa】 | 最大排気口圧力【Pa】 | 回転数【min-1】 | 回転数可変機構 | 起動時間【min】 | 取付方向 | 表面処理 | 外部制御 (リモートインターフェース) | 外部制御 (シリアルインターフェース) | コントローラ 構成 | コントローラ 電源 | コントローラ 最大所要動力 | 冷却方式 | 冷却水流量【L/min】 | 冷却水水圧【MpaG】 | 騒音【dB (A) 】 | 質量【Kg】 | 推奨補助ポンプ | 適合規格 | 標準付属品 | 選択仕様 ACケーブル | 選択仕様 ポンプ固定用特殊ボルト要否 | オプション品 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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UTM1200A |
要見積もり | (株) アルバック | VG150、ISO160F | KF40 | 1×10-7乗台 | N2→1,030、Ar→980、H2→660 | N2→2×10^8、He→7×10^3、H2→8×10^2 | 26 | 266 | 37,200 | ポンプの規定回転数の25%~100％の間で運転回転数の変更可能 | 8 | 全方位取付可能 | 無し | D-sub25ピンメス 接点入出力 | 専用丸形コネクタ RS232C/RS485 | ポンプ本体と一体 (底部に内蔵) | 単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz) | 0.75kVA | 水冷 | 3~4 | 0.2~0.4 | 57 | 43 | 600L/min以上 | CE、TUVus | 給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM) | ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m) | 要 (M10) | ガスポート用アダプタKF10 | |
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UTM1600A |
要見積もり | (株) アルバック | VG200、VG250、ISO200F、ISO250F | KF40 | 1×10-7乗台 | N2→1,400、Ar→1,330、H2→750 | N2→2×10^8、He→7×10^3、H2→8×10^2 | 26 | 266 | 37,200 | ポンプの規定回転数の25%~100％の間で運転回転数の変更可能 | 8 | 全方位取付可能 | 無し | D-sub25ピンメス 接点入出力 | 専用丸形コネクタ RS232C/RS485 | ポンプ本体と一体 (底部に内蔵) | 単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz) | 0.75kVA | 水冷 | 3~4 | 0.2~0.4 | 57 | 41 | 600L/min以上 | CE、TUVus | 給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM) | ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m) | 不要 | ガスポート用アダプタKF10 | |
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UTM2300A |
要見積もり | (株) アルバック | VG250、ISO250F | KF40 | 1×10-7乗台 | N2→2,100、Ar→2,000、H2→1,380 | N2→1×10^8以上、He→5×10^3、H2→9×10^2 | 4.5 | 200 | 33,700 | ポンプの規定回転数の25%~100％の間で運転回転数の変更可能 | 9 | 全方位取付可能 | 無し | D-sub37ピンメス 接点入出力 | D-sub9ピンオス RS232C/RS485 | ポンプ本体と一体 (底部に内蔵) | 単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz) | 1.2kVA | 水冷 | 3~4 | 0.2~0.4 | 60 | 56 | 1,500L/min以上 | CE、TUVus | 給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM) | ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m) | 不要 | ガスポート用アダプタKF10 | |
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UTM3400A |
要見積もり | (株) アルバック | VG300、VG350、ISO320F | KF40 | 1×10-7乗台 | N2→3,200、Ar→3,100、H2→2,100 | N2→1×10^9以上、He→1×10^5、H2→6×10^3 | 7 | 270 | 27,600 | ポンプの規定回転数の25%~100％の間で運転回転数の変更可能 | 16 | 全方位取付可能 | 無し | D-sub37ピンメス 接点入出力 | D-sub9ピンオス RS232C/RS485 | ポンプ本体と一体 (底部に内蔵) | 単相AC200V~240V±10% (50~60Hz ±2Hz) | 1.2kVA | 水冷 | 3~4 | 0.2~0.4 | 60 | 94 | 1,500L/min以上 | CE、TUVus | 給気口Oリング (VGのみ) 、排気口ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書 (CD-ROM) | ACコネクタ/ACケーブル (5m/10m/15m/20m) | 不要 | ガスポート用アダプタKF10 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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