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【2020年版】洗浄装置6選 / メーカー32社一覧

洗浄装置のメーカー32社・94製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


洗浄装置とは

洗浄装置は、精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程において、パーティクルや汚れを洗浄する装置になります。

洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります。

洗浄の方法としては、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄など多岐に渡ります。

洗浄装置の使用用途

洗浄装置の使用用途は精密な製品の製造過程を中心に、多岐に渡ります。

洗浄装置の選定には、汚れや洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度を考慮する必要があります。それらを考慮して、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法を選択する必要があります。

洗浄装置の使用例を紹介します。

  • 半導体プロセスにおけるシリコンウェーハの洗浄
  • 金属フィルタのメッシュに付着した汚れの洗浄
  • 切削後の金属表面に付着した金属粉の除去

洗浄装置の原理

洗浄装置でも代表的な、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄の原理について説明します。

超音波洗浄装置

超音波洗浄装置は、溶剤中に洗浄対象を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置になります。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定する必要があります。

スプレー洗浄装置

スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象を洗浄する装置になります。ハンディタイプの洗浄装置もあるので、洗浄対象が大きくても対応が可能です。

ブラシ洗浄装置

ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す洗浄装置になります。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。

ドライ洗浄装置

ドライ洗浄装置は、UVを洗浄対象に照射してオゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く洗浄装置になります。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。

溶剤洗浄装置

溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用して汚れを溶かして取り除く洗浄装置になります。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。

 

参考文献

https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/59/8/59_8_526/_pdf

https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja

https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf

https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf

https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf

洗浄装置のメーカー情報

洗浄装置のメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 シャープ株式会社
  2. 2 日東精工株式会社
  3. 3 荒川化学工業株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 ProSys Inc.
  2. 2 ノードソン・アドバンスト・テクノロジー株式会社
  3. 3 株式会社ブルー・スターR&D

歴史のある会社

  1. 1 サクラ精機株式会社
  2. 2 シャープ株式会社
  3. 3 荒川化学工業株式会社

洗浄装置のメーカー32社一覧


洗浄装置6選

スイープタイプ

超音波工業株式会社 スイープタイプ 画像出典: 超音波工業株式会社公式サイト

特徴

振動子とコントローラーが分離しており、振動子には、投込型、底付型、貫通型を採用しているため、大型部品から複雑な形状の小型部品まで多様な洗浄用途に対応できる超音波式の洗浄機です。
超音波の出力は200W、400W、600W、1200W、2400Wと豊富にラインナップされ、振動子には、投込型、底付型、貫通型であるため、洗浄する部品の形態や洗浄精度、組み込む装置などに応じて最適なシステムを構築できます。

超音波工業株式会社の会社概要

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真・超音波洗浄装置(水系)

株式会社ブルー・スターR&D 真・超音波洗浄装置(水系) 画像出典: 株式会社ブルー・スターR&D公式サイト

特徴

超音波バリ取り洗浄装置は、液中に強力な超音波を照射し、その時に発生するキャビティ(微小真空核群)の生成と消滅時に、発生する、正と負の衝撃力で、バリを除去し、同時に洗浄を行う装置です。

使用する液体は、基本的に水ですが、それ以外の液も使用可能です(条件あり)。
簡単に操作でき、危険物を使用しません。主な消耗品は、バリ除去用フィルターとなりますので、ランニングコストが低コストです。

プラスチックから、各種金属、セラミックスなど、さまざまな材質のバリ取り洗浄に使用できます。

角が丸くなったり、径が変わったりすることなく、エッジを残したまま、バリだけが除去できます。ミクロンレベルのバリが除去できるのも、大きな特徴です。

エンジンブロックやバルブボディなどの自動車部品や、細管や注射針のような医療器具、パソコンやスマートフォンなどの精密部品、水道配管や油圧、空圧機器の部品、半導体部品など、あらゆる業界から引き合いをいただいております。

株式会社ブルー・スターR&Dの会社概要

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クオーバ ミニ

株式会社カイジョー クオーバ ミニ 画像出典: 株式会社カイジョー公式サイト

特徴

コンパクトサイズの洗浄装置でありながら、26kHz〜1.6MHzまで、幅広い周波に対応する超音波洗浄機です。
洗浄対象の試料を入れる外槽ユニットと、直感的な操作が可能な発振器ユニットで構成されたコンパクトサイズのため、大型部品の洗浄に不向きですが、精密部品や小型基板などの少量洗浄目的などの研究・開発に最適です。
またAC100V~240Vに対応するフリー電源方式を採用しているため電源を問いません。

株式会社カイジョーの会社概要

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WDXシリーズ

本多電子株式会社 WDXシリーズ 画像出典: 本多電子株式会社公式サイト

特徴

独自の方式により、同じ振動子から異なる2周波を同時に発生させる超音波洗浄機です。
最適な周波数と超音波出力の制御により、出力比率を変えずに低周波と高周波2種類の調整が可能です。
この機能に加えスイープ機能を使用することにより、更にワークの洗浄ムラやダメージなどを軽減する均一な洗浄を実現します。
発信機と振動子は、幅広い周波数のバリエーションも取り揃えているため、さまざまな精密洗浄に貢献します。

本多電子株式会社の会社概要

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WSシリーズ

本多電子株式会社 WSシリーズ 画像出典: 本多電子株式会社公式サイト

特徴

必要不可欠な機能を搭載した単周波のセパレート型超音波洗浄機のスタンダードモデルです。
発信器は、定格出力600Wを3機種、1200Wを2機種の5種類。振動子ユニットは、・投込タイプ、振動板タイプは600Wを3機種、1200Wを2機種の5種類と、槽タイプ、ヒーター付槽タイプは、600Wを2機種、1200Wを2機種の4種類。
これら幅広い周波数のバリエーションを取り揃え、幅広い洗浄目的に対応します。

本多電子株式会社の会社概要

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S8500 (200kHz) シリーズ

日本エマソン株式会社 S8500 (200kHz) シリーズ 画像出典: 日本エマソン株式会社公式サイト

特徴

一般的な超音波洗浄と異なり、独自の球面波を採用した中周波の超音波洗浄機です。
独自の球面波を用いた洗浄方法以外にも、負荷の変化や、洗浄液の液深と液温の変化を常に監視し、最適な周波数にて効率の良い超音波を出力します。
超音波出力は、マニュアル調整やPLC からの連続可変も可能で、20% ~ 100% の範囲で調整が可能なため、多様な用途に対応します。

日本エマソン株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 東京都品川区東品川1-2-5リバーサイド品川港南ビル 5F
  • URL: https://www.emerson.co.jp/
  • 創業: 1961年
  • 従業員数: 400人

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