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概要メーカー製品

洗浄装置
メーカー31社・49製品一覧【2024年】

洗浄装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、洗浄装置のメーカー31社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。洗浄装置関連企業の2024年3月注目ランキングは1位:株式会社TOSEI、2位:有光工業株式会社、3位:株式会社イー・スクエアとなっています。

洗浄装置とは？
洗浄装置のメーカー31社一覧
洗浄装置の製品49件一覧

洗浄装置とは

洗浄装置

洗浄装置 (英：cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。

精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります

洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%～40%を占めると言われています。

洗浄装置の使用用途

具体的な洗浄装置の使用例は、次の通りです

半導体プロセスにおけるシリコンウェーハの洗浄
金属フィルタのメッシュに付着した汚れの洗浄
切削後の金属表面に付着した金属粉の除去

洗浄装置は、汚れの種類、洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度などを考慮して選択します。また、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法なども重要です。

洗浄装置の原理

半導体プロセスの場合、洗浄の役割はウェーハの汚れを除去することです。汚れはパーティクルと呼ばれる目に見えない小さなごみ、人の垢・フケに含まれる有機物、汗などの油脂、工場内で使っている金属による汚染などがあります。

洗浄装置は、この汚れを溶剤や純水で洗い流します。洗浄後は、乾燥が必須です。ドライイン・ドライアウトと呼ばれ、必ず乾燥させてから、ウェーハを装置から出します。

洗浄装置で代表的な方式は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などです。

1. 超音波洗浄装置

超音波洗浄装置は、薬液中に洗浄対象物を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置です。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定します。

2. スプレー洗浄装置

スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象物を洗浄する方式です。ハンディタイプの洗浄装置もあり、洗浄対象が大きくても対応が可能です。

3. ブラシ洗浄装置

ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す装置です。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。

4. ドライ洗浄装置

ドライ洗浄装置は、UV (紫外線) を洗浄対象物に照射して、オゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く方式です。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。

5. 溶剤洗浄装置

溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用することにより、汚れを溶かして取り除く装置です。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。

洗浄装置の構造

洗浄装置の基本的構成は、搬送系、処理槽、純水槽、乾燥ステージです。搬送系は対象物を搬入・搬出する装置で、処理槽の中で対象物を洗浄します。純水槽は対象物に付着した薬液を洗い流す槽、乾燥ステージは対象物を乾燥させる装置です。

1種類の処理液で洗浄できる汚れは1つが原則であり、複数の汚れを洗浄する場合は、複数の処理槽と純水槽が必要です。半導体の製造プロセスでは、複数のウェーハをまとめて処理するバッチ式と、ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式の装置が使われます。

バッチ式は、キャリアと呼ばれるケースにウェーハをまとめて入れ、キャリア毎処理層に入れて洗浄します。また、枚葉式は、ウェーハを1枚ずつ回転させながら、スプレー式の洗浄を行います。

洗浄装置のその他情報

洗浄装置に使用する洗浄剤

半導体の洗浄は、複数の処理液を使用します。各処理液で除去可能な汚れが異なります。各処理の後に純水で洗い流しを行います。

SPM
硫酸と過酸化水素の混合物で、有機物の除去用です。
APM
アンモニアと過酸化水素の混合物で、パーティクルと有機物を除去します。さらに、超音波を加え、パーティクルの除去率を高めます。
DHF
フッ酸と純水の混合物で、金属や酸化膜を除去します。フッ酸は、強酸であり、シリコンも溶かしてしまうので、純水で希釈したものを使って、ウェーハの表面のみを処理します。
HPM
塩酸と過酸化水素の混合物で、残った金属や酸化物を除去し、表面に不働態化層を作って、汚れの再付着を防止します。

最後にウェーハを純水で洗い流して、乾燥工程を行います。

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf

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各社洗浄装置のカタログを無料一括ダウンロードできます。

大気圧プラズマ装置でのダイレクト接着　接合　５G 　６G　フッ素樹脂　LCP　　のカタログ

大気圧プラズマにおける表面機能化アプリケーションとその装置　親水化　接合　のカタログ

大気圧プラズマ装置での粒子（有機・無機・数ミリ～1ミクロン程度）への高効率表面処理のカタログ

大気圧プラズマ装置によるPTFE・PFA表面への超親水化とメッキ、ダイレクト接着のカタログ

OSK 01CU 6000 グルテンワッシャー/グルテン洗浄・混錬装置のカタログ

OSK 01CU 6100 グルテンワッシャー/グルテン洗浄・混錬装置のカタログ

洗浄装置メーカー 31社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

大気圧プラズマ装置　PreciseIIシリーズ注目製品
株式会社イー・スクエア

■幅広均一処理（ワーク幅：100mm~3000mm）
プラズマ処理後の界面活性化により洗浄液との反応性が高まり、洗浄性能が飛躍的に向上する。次工程での塗布膜や各種薄膜との密着性向上。プラズマ発生時のUV光によるワークの特性変化がない。高密度酸素ラジカルによるドライ洗浄。

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洗浄装置（スクリーン版／メタルマスク版）注目製品
OKIネクステック株式会社

◆スクリーン／メタルマスクの性能維持
　マスクの接着部分に洗浄液がかからないため接着剥がれを回避
◆臭い漏洩防止
　部分洗浄方式により、洗浄～乾燥工程での臭いを遮断
◆高い洗浄能力
　洗浄ムラの無いスプレー洗浄方式を採用
◆作業者および環境への配慮
　環境にやさしい洗浄液で、高い洗浄能力、短時間乾燥を実現

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- - 株式会社イー・スクエアメーカー
    PreciseIIダウンストリーム型、プラナー型・スポット型
  - 会社サイト創業: 1999年資本金: 81,500,000円会社詳細
  - 住所: 京都府久世郡久御山町栄二丁目1番地210
- 立ち合い実験可能各種小型実験装置製作受託加工 OHラジカルによる表面活性が洗浄効果向上プラズマによる表面の有機汚染層の除去低サイドエッチングダメージレス
  
  1999年より国内外表示デバイス（液晶・OLED・タッチパネル・その他）市場に1200台*以上を製造販売し、その実績から知り得た知見を踏まえ、他市場からのニーズに伴い、各種プラズマ装置開発及びアプリケーション開発を行っている大気圧プラズマ専門企業です。(*2021年)
  
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- - OKIネクステック株式会社メーカー
    洗浄装置（スクリーン版／メタルマスク版）
  - 会社サイト創業: 1960年従業員数: 279人資本金: 300,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県所沢市上山口1番地
- 受託開発 EMS 環境にやさしい
  
  OKIネクステックは、製造を請け負うＥＭＳだけでなく、開発設計の段階から製造まで一貫して請け負う
  ＤＭＳ（デザイン・アンド・マニュファクチュアリング）事業を展開しています。
  
  製品をみる会社サイトをみる
- - 超音波工業株式会社メーカー
    超音波洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1956年従業員数: 194人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都立川市柏町1-6-1
- - 株式会社北村製作所メーカー
    産業洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1945年従業員数: 411人会社詳細
  - 住所: 新潟県新潟市江南区両川1丁目3604番地12
- - 株式会社マルヤスメーカー
    メタルプレッシャー(MP)
  - 会社サイト創業: 1976年従業員数: 25人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 愛媛県愛媛県新居浜市外山町16-32
- - 株式会社カイジョーメーカー
    洗浄システム一覧
  - 会社サイト創業: 1948年従業員数: 280人会社詳細
  - 住所: 東京都羽村市栄町3-1-5
- - 株式会社TOSEI メーカー
    洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1950年従業員数: 342人資本金: 498,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都品川区東五反田1丁目24番2号東五反田1丁目ビル2階
- - 株式会社MCエバテックメーカー
    洗浄装置
  - 会社サイト創業: 1979年資本金: 280,000,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県兵庫県尼崎市潮江1丁目2番6号JRE尼崎フロントビル8階
- - 東光技研工業株式会社メーカー
    基板洗浄装置一覧
  - 会社サイト資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市旭区上白根町1107
- - 有光工業株式会社メーカー
    洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1945年従業員数: 250人資本金: 150,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市東成区深江北1-3-7
- - 日東精工株式会社メーカー
    マイクロバブル洗浄装置一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1938年従業員数: 536人資本金: 3,522,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府綾部市井倉町梅ヶ畑20番地
- - 日本アレックス株式会社メーカー
    超音波洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1991年従業員数: 28人会社詳細
  - 住所: 千葉県柏市十余二348-149
- - 日伸精機株式会社メーカー
    産業部品洗浄機（標準）一覧
  - 会社サイト創業: 1968年従業員数: 50人会社詳細
  - 住所: 東京都墨田区江東橋1-11-8 日伸ビル
- - シャープ株式会社メーカー
    洗浄システム一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1912年従業員数: 5,413人会社詳細
  - 住所: 大阪府堺市堺区匠町1番地
- - アダマンド並木精密宝石株式会社メーカー
    NAMIKI-ECCLEAR
  - 会社サイト創業: 1953年従業員数: 450人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都足立区新田3-8-22
- - 荒川化学工業株式会社メーカー商社・代理店
    洗浄装置および周辺機器一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1876年従業員数: 1,677人資本金: 3,343,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市中央区平野町1丁目3番7号
- - リックス株式会社メーカー商社・代理店
    洗浄装置／乾燥装置／ノズル一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1964年従業員数: 437人資本金: 827,900,000円会社詳細
  - 住所: 福岡県福岡市博多区山王1丁目15番15号
- - サクラ精機株式会社メーカー商社・代理店
    洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1870年従業員数: 500人会社詳細
  - 住所: 長野県千曲市大字鋳物師屋75-5
- - 株式会社香取組製作所
    製品紹介
  - 会社サイト創業: 1937年従業員数: 10人資本金: 6,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県さいたま市南区白幡4-5-11
- - 株式会社平出精密
    工業用部品洗浄機一覧
  - 会社サイト創業: 1964年従業員数: 134人資本金: 24,000,000円会社詳細
  - 住所: 長野県岡谷市今井1680-1
- - 株式会社ヴェルヴォクリーア
    製品情報一覧
  - 会社サイト創業: 1956年会社詳細
  - 住所: 東京都文京区大塚6-11-16
- - 株式会社ブルー・スターR&D
    超音波バリ取り洗浄装置（水系）一覧
  - 会社サイト創業: 2010年従業員数: 28人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県相模原市中央区横山台1-31-1
- - 株式会社ヒメジ理化イノテック
    超音波洗浄機一覧
  - 会社サイト創業: 1958年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 山形県上山市新金谷50-1
- - 株式会社ソニックテクノロジー
    超音波洗浄機一覧
  - 会社サイト創業: 2007年資本金: 12,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都板橋区舟渡3-5-8-503
- - 株式会社エスエヌディ
    製品案内一覧
  - 会社サイト創業: 1991年従業員数: 26人資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 長野県諏訪市四賀3225-2
- - 東美化学株式会社
    洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1952年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都江戸川区小松川3-2-2
- - ミタニマイクロニクス九州株式会社
    スクリーンマスク・メタルマスク洗浄機一覧
  - 会社サイト創業: 1972年従業員数: 68人会社詳細
  - 住所: 佐賀県多久市北多久町大字多久原306-14
- - ファインマシーンカタオカ株式会社
    洗浄機一覧
  - 会社サイト創業: 1985年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 愛知県安城市和泉町北大木3-10
- - ノードソン・アドバンスト・テクノロジー株式会社
    プラズマ処理洗浄システム一覧
  - 会社サイト創業: 2014年従業員数: 550人会社詳細
  - 住所: 東京都江東区越中島1丁目1番1号ヤマタネ深川1号館1階
- - エヌアイシ・オートテック株式会社
    洗浄機/ブロー機一覧
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1971年従業員数: 242人会社詳細
  - 住所: 東京都江東区有明3-7-26有明フロンティアビルB棟 11階
- - ProSys Inc.
    ProSys Megasonic Cleaning Products一覧
  - 会社サイト創業: 2019年会社詳細
  - 本社: アメリカ

洗浄装置 2024年3月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2024年3月の注目ランキングベスト10

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社TOSEI	9.9%
2	有光工業株式会社	7.1%
3	株式会社イー・スクエア	6.5%
4	株式会社北村製作所	6.0%
5	リックス株式会社	5.4%
6	OKIネクステック株式会社	5.2%
7	サクラ精機株式会社	4.5%
8	日東精工株式会社	4.3%
9	ファインマシーンカタオカ株式会社	3.9%
10	荒川化学工業株式会社	3.9%