洗浄装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、洗浄装置のメーカー30社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。洗浄装置関連企業の2023年08月注目ランキングは1位:株式会社TOSEI、2位:株式会社イー・スクエア、3位:OKIネクステック株式会社となっています。
洗浄装置 (英:cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。
精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります
洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%~40%を占めると言われています。
具体的な洗浄装置の使用例は、次の通りです
洗浄装置は、汚れの種類、洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度などを考慮して選択します。また、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法なども重要です。
半導体プロセスの場合、洗浄の役割はウェーハの汚れを除去することです。汚れはパーティクルと呼ばれる目に見えない小さなごみ、人の垢・フケに含まれる有機物、汗などの油脂、工場内で使っている金属による汚染などがあります。
洗浄装置は、この汚れを溶剤や純水で洗い流します。洗浄後は、乾燥が必須です。ドライイン・ドライアウトと呼ばれ、必ず乾燥させてから、ウェーハを装置から出します。
洗浄装置で代表的な方式は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などです。
超音波洗浄装置は、薬液中に洗浄対象物を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置です。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定します。
スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象物を洗浄する方式です。ハンディタイプの洗浄装置もあり、洗浄対象が大きくても対応が可能です。
ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す装置です。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。
ドライ洗浄装置は、UV (紫外線) を洗浄対象物に照射して、オゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く方式です。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。
溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用することにより、汚れを溶かして取り除く装置です。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。
洗浄装置の基本的構成は、搬送系、処理槽、純水槽、乾燥ステージです。搬送系は対象物を搬入・搬出する装置で、処理槽の中で対象物を洗浄します。純水槽は対象物に付着した薬液を洗い流す槽、乾燥ステージは対象物を乾燥させる装置です。
1種類の処理液で洗浄できる汚れは1つが原則であり、複数の汚れを洗浄する場合は、複数の処理槽と純水槽が必要です。半導体の製造プロセスでは、複数のウェーハをまとめて処理するバッチ式と、ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式の装置が使われます。
バッチ式は、キャリアと呼ばれるケースにウェーハをまとめて入れ、キャリア毎処理層に入れて洗浄します。また、枚葉式は、ウェーハを1枚ずつ回転させながら、スプレー式の洗浄を行います。
半導体の洗浄は、複数の処理液を使用します。各処理液で除去可能な汚れが異なります。各処理の後に純水で洗い流しを行います。
最後にウェーハを純水で洗い流して、乾燥工程を行います。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf
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洗浄装置のカタログ一覧はこちら企業
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企業の並び替え
2023年08月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社TOSEI |
10.3%
|
2 | 株式会社イー・スクエア |
6.9%
|
3 | OKIネクステック株式会社 |
6.7%
|
4 | 株式会社北村製作所 |
6.7%
|
5 | 有光工業株式会社 |
6.2%
|
6 | 株式会社カイジョー |
5.4%
|
7 | 荒川化学工業株式会社 |
5.1%
|
8 | シャープ株式会社 |
4.6%
|
9 | サクラ精機株式会社 |
4.6%
|
10 | 日東精工株式会社 |
4.4%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2023年8月の洗浄装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
設立年の新しい会社
歴史のある会社
洗浄装置10製品が登録されています。
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企業
株式会社イー・スクエア OKIネクステック株式会社 アサダ株式会社 東光技研工業株式会社 株式会社ヒメジ理化イノテック 有光工業株式会社 サクラ精機株式会社 日東金属工業株式会社 ティックコーポレーション株式会社 精和産業株式会社 朝日ライフサイエンス株式会社 キクロン株式会社 株式会社シバタ 株式会社CJVインターナショナル振動子とコントローラーが分離しており、振動子には、投込型、底付型、貫通型を採用しているため、大型部品から複雑な形状の小型部品まで多様な洗浄用途に対応できる超音波式の洗浄機です。
超音波の出力は200W、400W、600W、1200W、2400Wと豊富にラインナップされ、振動子には、投込型、底付型、貫通型であるため、洗浄する部品の形態や洗浄精度、組み込む装置などに応じて最適なシステムを構築できます。
超音波バリ取り洗浄装置は、液中に強力な超音波を照射し、その時に発生するキャビティ(微小真空核群)の生成と消滅時に、発生する、正と負の衝撃力で、バリを除去し、同時に洗浄を行う装置です。
使用する液体は、基本的に水ですが、それ以外の液も使用可能です(条件あり)。
簡単に操作でき、危険物を使用しません。主な消耗品は、バリ除去用フィルターとなりますので、ランニングコストが低コストです。
プラスチックから、各種金属、セラミックスなど、さまざまな材質のバリ取り洗浄に使用できます。
角が丸くなったり、径が変わったりすることなく、エッジを残したまま、バリだけが除去できます。ミクロンレベルのバリが除去できるのも、大きな特徴です。
エンジンブロックやバルブボディなどの自動車部品や、細管や注射針のような医療器具、パソコンやスマートフォンなどの精密部品、水道配管や油圧、空圧機器の部品、半導体部品など、あらゆる業界から引き合いをいただいております。
コンパクトサイズの洗浄装置でありながら、26kHz〜1.6MHzまで、幅広い周波に対応する超音波洗浄機です。
洗浄対象の試料を入れる外槽ユニットと、直感的な操作が可能な発振器ユニットで構成されたコンパクトサイズのため、大型部品の洗浄に不向きですが、精密部品や小型基板などの少量洗浄目的などの研究・開発に最適です。
またAC100V~240Vに対応するフリー電源方式を採用しているため電源を問いません。
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