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洗浄装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、洗浄装置のメーカー181社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。洗浄装置関連企業の2024年8月注目ランキングは1位:株式会社ダン科学、2位:株式会社イー・スクエア、3位:OKIネクステック株式会社となっています。
洗浄装置と関連するカテゴリ
洗浄装置 (英:cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。
精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります
洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%~40%を占めると言われています。
具体的な洗浄装置の使用例は、次の通りです
洗浄装置は、汚れの種類、洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度などを考慮して選択します。また、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法なども重要です。
半導体プロセスの場合、洗浄の役割はウェーハの汚れを除去することです。汚れはパーティクルと呼ばれる目に見えない小さなごみ、人の垢・フケに含まれる有機物、汗などの油脂、工場内で使っている金属による汚染などがあります。
洗浄装置は、この汚れを溶剤や純水で洗い流します。洗浄後は、乾燥が必須です。ドライイン・ドライアウトと呼ばれ、必ず乾燥させてから、ウェーハを装置から出します。
洗浄装置で代表的な方式は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などです。
超音波洗浄装置は、薬液中に洗浄対象物を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置です。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定します。
スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象物を洗浄する方式です。ハンディタイプの洗浄装置もあり、洗浄対象が大きくても対応が可能です。
ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す装置です。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。
ドライ洗浄装置は、UV (紫外線) を洗浄対象物に照射して、オゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く方式です。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。
溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用することにより、汚れを溶かして取り除く装置です。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。
洗浄装置の基本的構成は、搬送系、処理槽、純水槽、乾燥ステージです。搬送系は対象物を搬入・搬出する装置で、処理槽の中で対象物を洗浄します。純水槽は対象物に付着した薬液を洗い流す槽、乾燥ステージは対象物を乾燥させる装置です。
1種類の処理液で洗浄できる汚れは1つが原則であり、複数の汚れを洗浄する場合は、複数の処理槽と純水槽が必要です。半導体の製造プロセスでは、複数のウェーハをまとめて処理するバッチ式と、ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式の装置が使われます。
バッチ式は、キャリアと呼ばれるケースにウェーハをまとめて入れ、キャリア毎処理層に入れて洗浄します。また、枚葉式は、ウェーハを1枚ずつ回転させながら、スプレー式の洗浄を行います。
半導体の洗浄は、複数の処理液を使用します。各処理液で除去可能な汚れが異なります。各処理の後に純水で洗い流しを行います。
最後にウェーハを純水で洗い流して、乾燥工程を行います。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年8月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
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1 | 株式会社ダン科学 |
3.8%
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2 | 株式会社イー・スクエア |
2.5%
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3 | OKIネクステック株式会社 |
2.2%
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4 | 株式会社バンテック |
2.0%
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5 | 株式会社TOSEI |
2.0%
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6 | 株式会社北村製作所 |
2.0%
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7 | 高橋金属株式会社 |
2.0%
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8 | HUGパワー株式会社 |
1.8%
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9 | 株式会社ダン・タクマ |
1.8%
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10 | 澁谷工業株式会社 |
1.6%
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注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年8月の洗浄装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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製品の閲覧数をもとに算出したランキング
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355 点の製品がみつかりました
OKIネクステック株式会社
340人以上が見ています
■スクリーン版/メタルマスク版の性能維持 版の金属枠とマスクの接着部分に洗浄液がかからないため、テンションが緩む事象および接着部分剥がれを回避。 ■臭...
4種類の品番
PHT株式会社
260人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
半導体洗浄装置とは、半導体製造工程の1つである洗浄工程に用いられる装置の総称です。 洗浄工程は半導体製造工程全体の30〜40%を占める重要な工程です。高...
株式会社エコートプレシジョン
220人以上が見ています
■特長 ・セミ量産型の半⾃動機でありながら、研磨後の洗浄にも対応できる⾼い洗浄⼒を兼ね備えています。 ・研磨剤の性状に応じて洗剤洗浄も2⼯程を繰り返し...
株式会社永田製作所
160人以上が見ています
■精製水による容器洗浄とクリーンエアによる水切り フィルターを通して生成された超純水や純水で容器内外を洗浄し、クリーンエアによるエアブローで水切りを...
高橋金属株式会社
70人以上が見ています
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返信のとても早い企業
100.0% 返答率
5.4時間 平均返答時間
■高橋金属では20年以上前から電解イオン水を産業用洗浄用途に開発し、沢山のお客様に ご採用いただいてきました。 電解イオン水洗浄とは、水道水などを電気分...
株式会社中部
40人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
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100.0% 返答率
0.3時間 平均返答時間
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株式会社中部
60人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.3時間 平均返答時間
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株式会社中部
60人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.3時間 平均返答時間
■ガラス基板に付着した接着剤や油脂、コンタミの洗浄に。ロボットによる自動供給も可能。 ガラス基板に付着した接着剤や油脂、コンタミ洗浄ができ、汚れの状...
株式会社中部
40人以上が見ています
最新の閲覧: 23時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.3時間 平均返答時間
■環境に配慮したバイオエタノール洗浄剤をかけながらブラッシング洗浄 ウエハーリングの表裏の接着剤の残りやコンタミ洗浄が可能。洗浄ブラシを各種用意し、...
東洋空気調和株式会社
90人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
2.2時間 平均返答時間
■製品概要 プレ・アフターフィルターを挿入するだけで、素早く洗浄ができる装置です。手送り式のほか、フィルターを大量にご使用されているお客様向けに自動...
東洋空気調和株式会社
60人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
2.2時間 平均返答時間
■製品概要 プレ・アフターフィルターを挿入するだけで、素早く洗浄ができる装置です。手送り式のほか、フィルターを大量にご使用されているお客様向けに自動...
オガワ精機株式会社
130人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
14.7時間 平均返答時間
OSK50TH GWシリーズは、Smeg S.p.A.社の30年以上にわたるラボでの洗浄・消毒作業の経験をもとに開発された業務用洗浄器です。 ■高度な洗浄能力 ・Smeg Instr...
4種類の品番
オガワ精機株式会社
90人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
14.7時間 平均返答時間
■概要 小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。 ■特徴 ・操作は主に3つのボタンで行います。 ・同時に2個のグル...
オガワ精機株式会社
70人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
14.7時間 平均返答時間
■概要 小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。コントロールパネルで処理条件をこまかく設定でき、 洗浄と混錬の...
オガワ精機株式会社
130人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
14.7時間 平均返答時間
■概要 小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。 ■特徴 ・自動2室システムで、同時に2個のグルテンサンプルを準...
協和界面科学株式会社
180人以上が見ています
返信の早い企業
100.0% 返答率
10.9時間 平均返答時間
■全自動大型ガラス基板洗浄評価装置 ・ベースとなる装置 (例:膜厚測定装置) に組込み、ステージ・LD/ULDロボットの共用などにより、設置スペース・コスト...
アメミヤ機器株式会社
260人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
10.5時間 平均返答時間
シャボンチャンは、定時間強制手洗器です。手を差し出すと内臓された赤外センサーにより一定量の液体石鹸が吐出されます。手のひらで受け、よく泡立て、指先...
5種類の品番
株式会社光響
260人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
14.3時間 平均返答時間
■カスタム可能な100Wレーザークリーナーを全面リニューアルしました。 構成を根本から見直すことで、製品サイズ・重量を大幅に小型・軽量化して移動性を高め...
アメミヤ機器株式会社
190人以上が見ています
返信の早い企業
100.0% 返答率
10.5時間 平均返答時間
衛生管理機器てあらいくんは、洗浄液の吐出口の下に手を差し出すとセンサーが手を感知して、水、石鹸液、逆石鹸液、水が順番に決められた時間で吐出されます...
2種類の品番
オガワ精機株式会社
300人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
14.7時間 平均返答時間
GW6010シリーズは、Smeg S.p.A.社の30年以上にわたるラボでの洗浄・消毒作業の経験をもとに開発された業務用洗浄器です。 ■高度な洗浄能力 ・Smeg Instrumen...
7種類の品番
株式会社リサイクル
110人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
リサイクルグループでは多くの経験を活かしてお客様のニーズに対応した洗浄機を販売しております。また、販売するだけではなく、洗浄機の改造や法規制案内な...
アネスト岩田株式会社
290人以上が見ています
4.0 会社レビュー
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
25.9時間 平均返答時間
■特長 ・スプレーガン、カップを洗浄室に入れ、ペダルを踏むだけで、塗料通路や外面を自動洗浄します。 ・洗浄シンナーはリサイクル使用できます。 ・ミスト...
株式会社メイワ
290人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
■コンベア上に容器供給し自動運転にて容器内をクリーンエアー及び静電除去 エアーを用いてエアーブローし、同時にブロアー集塵し容器内の塵を除去する装置で...
6種類の品番
田端機械工業株式会社
80人以上が見ています
100.0% 返答率
スクリューに固着したポリマーを炭化炉で融解除去し、部品表面の薄い炭化皮膜となった残留樹脂をエアブラストで除去します。 スクリュー寸法に合わせての個...
株式会社メイワ
240人以上が見ています
最新の閲覧: 6分前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
■特徴 ・容器 (ペットボトル、瓶) を、クリーンエアーやクリーン水、温水で洗浄する装置です。 ・エアー、水洗浄が兼用できます。簡単にサイズチェンジができ...
4種類の品番
エンバイロ・ビジョン株式会社
290人以上が見ています
100.0% 返答率
49.8時間 平均返答時間
バイオサークル・ターボは、「完全自動」と「手動洗浄」の効果的な組み合わせをコンセプトにデザインされました。高圧スプレーシステムの装備で徹底的に洗浄...
3種類の品番
ベルトールドジャパン株式会社
30人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
100.0% 返答率
96または384ウェルプレートを同時洗浄できる超高速マイクロプレートウォッシャーです。スタッカーを搭載できますので、最大60枚のプレートを設置可能です。96...
大喜産業株式会社
90人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
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5種類の品番
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60人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
■特徴 ・電気式投げ込みヒーターです。 ※任意設定可能25℃~65℃範囲。本体に温度調節ダイヤル付き (オムロン・デイリータイムスイッチ) ・作業工程は、開けて...
丸善工業株式会社
50人以上が見ています
100.0% 返答率
特長 ■自動洗浄なので作業効率が上がります フィルターをセットし、洗浄ボタンを押すだけで後は自動で洗浄します。 ■フィルターは洗浄後、すぐに使用可能で...
Metoreeに登録されている洗浄装置が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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用途及び特徴・用力は電気と水のみ・油、塗料、化粧品の調合器の汚れ落としが得意・低圧(0.2MPa以下)なのでダメージが少ない
2024年4月18日
大気圧プラズマを用いたダイレクト接着の一例を紹介しています。接着界面にダメージを与えない分子結合を主体にした結果の一例です。光学レンズ・光学フィル...
2024年8月9日
過去、講演会等に用いた資料で、弊社が製造する大気圧プラズマ装置の基本的概念や装置性能、設計思想、使用実績アプリケーション等、性能検証方法等を紹介さ...
2022年7月12日
粒状(有機・無機に関係なく)物に対する、ラジカルによるドライ洗浄や親水処理、表面還元処理をダメージを与えることなく処理ができる。粒子径は数ミリから...
2023年3月17日
フッ素樹脂への塗布性能向上や銅箔や異種材フィルム等への接着をお考えの場合、弊社の分子結合接着技術を是非ご検討ください。接着界面にダメージを与えず、...
2023年3月17日
PTFEやPFAなどのフッ素樹脂表面への超親水化処理と、LCPやフッ素樹脂フィルムとCuとのダイレクト接着の方法の一例の紹介です。接着界面材質に応じ、付与する...
2024年8月9日
プラズマ照射幅5mm~30mm(ヘッド回転式)。処理ガスにエアー使用可能。小型、軽量。親水化、撥水化、還元、有機物除去。安価(250万円~)。
2023年8月4日
【特長】1.スクリーン/メタルマスクの性能維持 マスクの接着部分に洗浄液がかからないため接着剥がれを回避2.臭い漏洩防止 部分洗浄方式により、洗浄~乾...
2023年2月24日
弊社で扱う超音波バリ取り洗浄装置の総合カタログです。汎用・超音波装置のPERIONシリーズ(全24機種)や、汎用・真空前処理型超音波装置のMARSシリーズ(全2...
2024年6月13日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎自動2室システムで、同時に2個のグルテンサンプルを準備できます...
2024年3月19日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎操作は主に3つのボタンで行います。同時に2個のグルテンサンプル...
2024年3月25日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎設定はタッチボタン操作で行うことができます。同時に2個のグルテ...
2024年3月25日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎自動2室システムで、同時に2個のグルテンサンプルを準備できます...
2024年3月25日
一般的なシンクで使用できるコンパクトなボトル簡易洗浄台です。ポンプ等の装置を使用せず、洗浄台を蛇口と接続するだけで洗浄できます。電気を使用しないの...
2022年7月23日
抜群の節水効果--------------------異物混入防止対策に。衛生管理に。全部品食品衛生法的合材を使用。【特徴】・軽量でコンパクト・高い耐久性・使い易い流...
2024年6月21日
≪節水対策のお供に!≫≫食品飲料製造メーカー殿に関しては、1日の中で(若しくは1週間の中で)異なった商品の製造を行わなければなりません。そのタンク内に異...
2023年7月5日
レヒラー社製タンク洗浄ノズル型番:5B2 / 5B3スプレーボールシリーズ5B2/5B3は、多くのアプリケーションで実績のある設計です。高い衛生要件と高温の環境で...
2023年8月3日
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2024年5月24日
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省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサーRENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、プロセス...
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Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。【生産性】低コストながら高いパフォーマンス■ 前後側面マ...
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R&Dからパイロット生産への移行に適切なInception■ 量産ベースとなるプロセス開発に安定したプロセスを実現■ 最短のプロセス開発を可能にする柔軟性の高いソ...
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2024年9月1日
【洗浄から完全乾燥までこれ1台で完結!】~自動化と効率化を同時に実現~==================デモ動画をカタログに掲載中!エアーブローで...
2024年9月1日
スプレーガン自動洗浄装置・塗装後のガン洗浄に・一度に2丁まで洗浄できる・ガンをセット、タイマー回して45秒で洗浄完了・フタを開けると停止する安全装置付
2023年1月6日
汚水の跳ね返りSTOP!!高圧洗浄機用飛散防止カバー ウォーターガードノズルの先端に付けるだけ!洗浄作業時の汚水の飛散を防止します!跳ね返りを大幅に軽...
2023年2月28日
洗浄機故障の70%は、細かな粉塵が原因クリアーフィルターで防ぐポンプ寿命が2倍に!現場トラブルを大幅に減らし、利益約2割アップ!従来品より細かい250メ...
2023年2月28日
洗浄機付属品片面飛散ガードで横飛散防止廊下の角や隅をきれいに早く洗浄したいマンション・アパートの廊下の洗浄にドア側や壁への洗浄汚水の飛散防止にワン...
2023年2月28日
キクロンプロ タフネットは異物混入対策用に開発されたネットスポンジです。 扁平フィルムを立体的にねじり編みすることにより、キズつきにくく、これまでに...
2022年2月25日
「RECIPE 9」は洗浄の重要性・効率的な洗浄・洗浄ツールの知識をまとめた洗浄のための冊子です。 洗浄を「もっとキレイに、もっとスピーディに、もっと簡単に...
2022年2月25日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置【シバタのUFBテクノロジー】当社開発のウルトラファインバブル発生装置「シバタエンジン」は水道圧1passで...
2022年8月29日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。水道圧1パスで中心径100nmのUFBを生成、...
2023年7月26日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。水道圧1パスで中心径100nmのUFBを生成、...
2023年9月28日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。住宅や施設でも瞬時にバブルを生成。水道...
2024年4月1日
掲載内容:ウルトラファインバブル発生装置「シバタエンジン ベーシックシリーズ」大流量モデル。設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル...
2024年4月1日
掲載内容:ウルトラファインバブル発生装置のOEM。ファインバブル技術の市場は、様々なサービスやシステムとしての発展が予測されます。国際標準化も進みつつ...
2024年4月1日
当社は、化学薬品・医薬品・化粧品メーカー向けの液体充填装置や容器洗浄装置の設計・製造・販売を行っている会社です。半導体製造に欠かせない高純度薬液(フ...
2023年11月17日
半導体製造には,非常にクリーンな環境での高速搬送が求められる.当社で提供している半導体処理設備に用いられるウェーハ自動剥離装置も,そのような要求に...
2023年11月28日
1:ラップ後洗浄装置:ラッピング砥粒除去(アルカリ+界面を主にした洗浄です)。2:アルカリエッチング洗浄装置:グラインディング後の加工歪を除去するこ...
2023年11月28日
液体に気体を混合させ、マイクロバブルを製造し、気液の反応効率を上げます。・空気・酸素・窒素・オゾン等の気体を容易に液体に溶解することが可能です。・...
2023年12月19日
【ヘルメットクリーン と e-WASH が気になる雑菌・臭い・汚れを数秒で除菌・消臭・洗浄します】スーパーアルカリイオン水「e-WASH」がヘルメット内部の...
2024年8月30日
当社の水系超音波洗浄システムは、有機溶剤や炭化水素を一切使用せず、“水”を使用することで工場内、周辺地域への環境負荷を大きく低減し、その上で強力な洗...
2023年9月19日
洗浄装置のカタログ48件分をまとめてダウンロードできます!お迷いの方は便利な無料の一括ダウンロード機能をご利用ください。
企業
HUGパワー株式会社 株式会社イー・スクエア OKIネクステック株式会社 株式会社ブルー・スターR&D オガワ精機株式会社 東光技研工業株式会社 有光工業株式会社 株式会社マルヤス MONOVATE株式会社 株式会社明治機械製作所 ティックコーポレーション株式会社 株式会社インターテック販売 ピュアトラスト株式会社 精和産業株式会社 キクロン株式会社 株式会社シバタ 株式会社永田製作所 PHT株式会社 株式会社MEI 株式会社アールアンドアール 株式会社CJVインターナショナル219,922 円
29,719 円
1,140,000 円
価格について: Metoreeに登録されている洗浄装置の製品355点の2024年9月8日時点での価格データを元に算出しています。