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洗浄装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、洗浄装置のメーカー218社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。洗浄装置関連企業の2024年10月注目ランキングは1位:OKIネクステック株式会社、2位:株式会社ダン科学、3位:森合精機株式会社となっています。
洗浄装置の関連カテゴリ
洗浄装置 (英:cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。
精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります
洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%~40%を占めると言われています。
具体的な洗浄装置の使用例は、次の通りです
洗浄装置は、汚れの種類、洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度などを考慮して選択します。また、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法なども重要です。
半導体プロセスの場合、洗浄の役割はウェーハの汚れを除去することです。汚れはパーティクルと呼ばれる目に見えない小さなごみ、人の垢・フケに含まれる有機物、汗などの油脂、工場内で使っている金属による汚染などがあります。
洗浄装置は、この汚れを溶剤や純水で洗い流します。洗浄後は、乾燥が必須です。ドライイン・ドライアウトと呼ばれ、必ず乾燥させてから、ウェーハを装置から出します。
洗浄装置で代表的な方式は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などです。
超音波洗浄装置は、薬液中に洗浄対象物を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置です。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定します。
スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象物を洗浄する方式です。ハンディタイプの洗浄装置もあり、洗浄対象が大きくても対応が可能です。
ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す装置です。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。
ドライ洗浄装置は、UV (紫外線) を洗浄対象物に照射して、オゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く方式です。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。
溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用することにより、汚れを溶かして取り除く装置です。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。
洗浄装置の基本的構成は、搬送系、処理槽、純水槽、乾燥ステージです。搬送系は対象物を搬入・搬出する装置で、処理槽の中で対象物を洗浄します。純水槽は対象物に付着した薬液を洗い流す槽、乾燥ステージは対象物を乾燥させる装置です。
1種類の処理液で洗浄できる汚れは1つが原則であり、複数の汚れを洗浄する場合は、複数の処理槽と純水槽が必要です。半導体の製造プロセスでは、複数のウェーハをまとめて処理するバッチ式と、ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式の装置が使われます。
バッチ式は、キャリアと呼ばれるケースにウェーハをまとめて入れ、キャリア毎処理層に入れて洗浄します。また、枚葉式は、ウェーハを1枚ずつ回転させながら、スプレー式の洗浄を行います。
半導体の洗浄は、複数の処理液を使用します。各処理液で除去可能な汚れが異なります。各処理の後に純水で洗い流しを行います。
最後にウェーハを純水で洗い流して、乾燥工程を行います。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年10月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | OKIネクステック株式会社 |
3.4%
|
2 | 株式会社ダン科学 |
3.3%
|
3 | 森合精機株式会社 |
2.8%
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4 | 株式会社イー・スクエア |
2.6%
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5 | 高橋金属株式会社 |
2.5%
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6 | 水道機工株式会社 |
1.9%
|
7 | 神奈川機器工業株式会社 |
1.4%
|
8 | 株式会社カイジョー |
1.4%
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9 | 株式会社北村製作所 |
1.4%
|
10 | 株式会社バンテック |
1.2%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年10月の洗浄装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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製品の閲覧数をもとに算出したランキング
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556 点の製品がみつかりました
三田理化工業株式会社
150人以上が見ています
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50人以上が見ています
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三田理化工業株式会社
70人以上が見ています
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■概要 本洗浄機は、濯ぎ専用として、洗剤液洗浄から湯洗浄、水洗浄の3サイクルを全自動で行うことができます。尚、本機は濯ぎを主目的とした洗浄機でもありま...
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60人以上が見ています
Glass 基板洗浄装置 抵抗膜式タッチパネル製造工程フローチャート ■上面 フィルム電極 Wet Etching 法 ・エッチングレジスト印刷 ・ITO 蝕刻 ・レジスト剥離...
株式会社アールエフテクノ
30人以上が見ています
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三田理化工業株式会社
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■概要 本洗浄機は、濯ぎ専用として、洗剤液洗浄から湯洗浄、水洗浄の3サイクルを全自動で行うことができます。尚、本機は濯ぎを主目的とした洗浄機でもありま...
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60人以上が見ています
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159.4時間 返答時間
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返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.0時間 返答時間
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三田理化工業株式会社
110人以上が見ています
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日進機工株式会社
70人以上が見ています
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返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.0時間 返答時間
大型卓上型洗浄機です。 大容量の洗浄槽と高出力に加え、音声ガイドと光電スイッチでハンズフリー操作が可能です。 FM+AM変調方式を採用で、洗浄ムラを低減し...
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MD (ミニディスク) 製造工程におけるディスクの洗浄と乾燥を行うシステム。目に見えない、ミクロのホコリも許されないクリーンルーム内でも円滑で正確な省力...
三田理化工業株式会社
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有限会社ケー・ワールド
70人以上が見ています
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100.0% 返答率
43.1時間 返答時間
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2種類の品番
三田理化工業株式会社
110人以上が見ています
最新の閲覧: 20時間前
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日進機工株式会社
70人以上が見ています
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返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.0時間 返答時間
大型卓上型洗浄機です。 大容量の洗浄槽と高出力に加え、音声ガイドと光電スイッチでハンズフリー操作が可能です。 FM+AM変調方式を採用で、洗浄ムラを低減し...
PHT株式会社
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100人以上が見ています
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株式会社エフティ・ファインテックプロダクト
50人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.6時間 返答時間
■FTFが提供するスーパーアルカリイオン水-SAIW- 水道水を純水レベルまでろ過し特許技術により電気分解することでつくられる強アルカリ性電解水の通称です。近...
日進機工株式会社
90人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.0時間 返答時間
錆、汚れ、油汚れやコーティング等を効率的に除去。機械加工、文化遺物の修復、金型洗浄、食品加工、電子回路など、各種用途に応用できます。 ■レーザークリ...
日進機工株式会社
70人以上が見ています
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返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.0時間 返答時間
■特長 4つの発振モードを搭載し、ムラを抑えた強力な洗浄を実現しました。 ・STANDARD:洗浄ムラの少ない洗浄が行えます。POWERFULとMULTIモードの両方...
三田理化工業株式会社
70人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
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株式会社エフティ・ファインテックプロダクト
100人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
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■FTFが提供するスーパーアルカリイオン水-SAIW- 水道水を純水レベルまでろ過し、特許技術により電気分解することでつくられる強アルカリ性電解水の通称です。...
3種類の品番
ハイソル株式会社
110人以上が見ています
最新の閲覧: 13時間前
100.0% 返答率
51.0時間 返答時間
研究開発用に最適な卓上型の洗浄装置です。CMPといった研磨後のウエハー洗浄など、手洗いの代替としてご使用頂けます。 ■特徴 ・スクラブと2流体 (ミスト) ...
日進機工株式会社
70人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
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三田理化工業株式会社
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紙や布の袋原料や、ファイバー缶や鉄缶、ポリタンク、紙袋等多く原料を搬入する際に、工場のクリーン度を保つために外部に付着した塵埃、紙粉、毛髪等を除去...
三田理化工業株式会社
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フジトク株式会社
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Metoreeに登録されている洗浄装置が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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用途及び特徴・用力は電気と水のみ・油、塗料、化粧品の調合器の汚れ落としが得意・低圧(0.2MPa以下)なのでダメージが少ない
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2023年3月17日
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2023年3月17日
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2024年8月9日
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2023年8月4日
【特長】1.スクリーン/メタルマスクの性能維持 マスクの接着部分に洗浄液がかからないため接着剥がれを回避2.臭い漏洩防止 部分洗浄方式により、洗浄~乾...
2023年2月24日
弊社で扱う超音波バリ取り洗浄装置の総合カタログです。汎用・超音波装置のPERIONシリーズ(全24機種)や、汎用・真空前処理型超音波装置のMARSシリーズ(全2...
2024年6月13日
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2024年3月19日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎操作は主に3つのボタンで行います。同時に2個のグルテンサンプル...
2024年3月25日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎設定はタッチボタン操作で行うことができます。同時に2個のグルテ...
2024年3月25日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎自動2室システムで、同時に2個のグルテンサンプルを準備できます...
2024年3月25日
◆スクリュー等の長尺部品洗浄機:スクリュープレッシャー◆ブレーカープレート等の小物部品洗浄機:メタルプレッシャー◆ダイス等の大型部品洗浄機:ボイルコン...
2024年11月15日
一般的なシンクで使用できるコンパクトなボトル簡易洗浄台です。ポンプ等の装置を使用せず、洗浄台を蛇口と接続するだけで洗浄できます。電気を使用しないの...
2022年7月23日
抜群の節水効果--------------------異物混入防止対策に。衛生管理に。全部品食品衛生法的合材を使用。【特徴】・軽量でコンパクト・高い耐久性・使い易い流...
2024年6月21日
≪節水対策のお供に!≫≫食品飲料製造メーカー殿に関しては、1日の中で(若しくは1週間の中で)異なった商品の製造を行わなければなりません。そのタンク内に異...
2023年7月5日
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2023年8月3日
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2024年9月1日
【水洗い不要!風だけで汚れを落とすエアーブロー洗浄】~頑固な汚れから付着ダストまで~==================デモ動画をカタログに掲載中...
2024年9月1日
【洗浄から完全乾燥までこれ1台で完結!】~自動化と効率化を同時に実現~==================デモ動画をカタログに掲載中!エアーブローで...
2024年9月1日
スプレーガン自動洗浄装置・塗装後のガン洗浄に・一度に2丁まで洗浄できる・ガンをセット、タイマー回して45秒で洗浄完了・フタを開けると停止する安全装置付
2023年1月6日
汚水の跳ね返りSTOP!!高圧洗浄機用飛散防止カバー ウォーターガードノズルの先端に付けるだけ!洗浄作業時の汚水の飛散を防止します!跳ね返りを大幅に軽...
2023年2月28日
洗浄機故障の70%は、細かな粉塵が原因クリアーフィルターで防ぐポンプ寿命が2倍に!現場トラブルを大幅に減らし、利益約2割アップ!従来品より細かい250メ...
2023年2月28日
洗浄機付属品片面飛散ガードで横飛散防止廊下の角や隅をきれいに早く洗浄したいマンション・アパートの廊下の洗浄にドア側や壁への洗浄汚水の飛散防止にワン...
2023年2月28日
キクロンプロ タフネットは異物混入対策用に開発されたネットスポンジです。 扁平フィルムを立体的にねじり編みすることにより、キズつきにくく、これまでに...
2022年2月25日
「RECIPE 9」は洗浄の重要性・効率的な洗浄・洗浄ツールの知識をまとめた洗浄のための冊子です。 洗浄を「もっとキレイに、もっとスピーディに、もっと簡単に...
2022年2月25日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置【シバタのUFBテクノロジー】当社開発のウルトラファインバブル発生装置「シバタエンジン」は水道圧1passで...
2022年8月29日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。水道圧1パスで中心径100nmのUFBを生成、...
2023年7月26日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。水道圧1パスで中心径100nmのUFBを生成、...
2023年9月28日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。住宅や施設でも瞬時にバブルを生成。水道...
2024年4月1日
掲載内容:ウルトラファインバブル発生装置「シバタエンジン ベーシックシリーズ」大流量モデル。設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル...
2024年4月1日
掲載内容:ウルトラファインバブル発生装置のOEM。ファインバブル技術の市場は、様々なサービスやシステムとしての発展が予測されます。国際標準化も進みつつ...
2024年4月1日
当社は、化学薬品・医薬品・化粧品メーカー向けの液体充填装置や容器洗浄装置の設計・製造・販売を行っている会社です。半導体製造に欠かせない高純度薬液(フ...
2023年11月17日
半導体製造には,非常にクリーンな環境での高速搬送が求められる.当社で提供している半導体処理設備に用いられるウェーハ自動剥離装置も,そのような要求に...
2023年11月28日
1:ラップ後洗浄装置:ラッピング砥粒除去(アルカリ+界面を主にした洗浄です)。2:アルカリエッチング洗浄装置:グラインディング後の加工歪を除去するこ...
2023年11月28日
液体に気体を混合させ、マイクロバブルを製造し、気液の反応効率を上げます。・空気・酸素・窒素・オゾン等の気体を容易に液体に溶解することが可能です。・...
2023年12月19日
【ヘルメットクリーン と e-WASH が気になる雑菌・臭い・汚れを数秒で除菌・消臭・洗浄します】スーパーアルカリイオン水「e-WASH」がヘルメット内部の...
2024年8月30日
当社の水系超音波洗浄システムは、有機溶剤や炭化水素を一切使用せず、“水”を使用することで工場内、周辺地域への環境負荷を大きく低減し、その上で強力な洗...
2023年9月19日
洗浄装置のカタログ49件分をまとめてダウンロードできます!お迷いの方は便利な無料の一括ダウンロード機能をご利用ください。
企業
HUGパワー株式会社 株式会社イー・スクエア OKIネクステック株式会社 株式会社ブルー・スターR&D オガワ精機株式会社 東光技研工業株式会社 有光工業株式会社 株式会社マルヤス MONOVATE株式会社 株式会社明治機械製作所 ティックコーポレーション株式会社 株式会社インターテック販売 ピュアトラスト株式会社 精和産業株式会社 キクロン株式会社 株式会社シバタ 株式会社永田製作所 PHT株式会社 株式会社MEI 株式会社アールアンドアール 株式会社CJVインターナショナル138,346 円
4,000 円
1,140,000 円
価格について: Metoreeに登録されている洗浄装置の製品556点の2024年11月23日時点での価格データを元に算出しています。