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洗浄装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、洗浄装置のメーカー181社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。洗浄装置関連企業の2024年8月注目ランキングは1位:株式会社ダン科学、2位:株式会社イー・スクエア、3位:OKIネクステック株式会社となっています。
洗浄装置と関連するカテゴリ
洗浄装置 (英:cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。
精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります
洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%~40%を占めると言われています。
具体的な洗浄装置の使用例は、次の通りです
洗浄装置は、汚れの種類、洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度などを考慮して選択します。また、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法なども重要です。
半導体プロセスの場合、洗浄の役割はウェーハの汚れを除去することです。汚れはパーティクルと呼ばれる目に見えない小さなごみ、人の垢・フケに含まれる有機物、汗などの油脂、工場内で使っている金属による汚染などがあります。
洗浄装置は、この汚れを溶剤や純水で洗い流します。洗浄後は、乾燥が必須です。ドライイン・ドライアウトと呼ばれ、必ず乾燥させてから、ウェーハを装置から出します。
洗浄装置で代表的な方式は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などです。
超音波洗浄装置は、薬液中に洗浄対象物を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置です。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定します。
スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象物を洗浄する方式です。ハンディタイプの洗浄装置もあり、洗浄対象が大きくても対応が可能です。
ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す装置です。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。
ドライ洗浄装置は、UV (紫外線) を洗浄対象物に照射して、オゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く方式です。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。
溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用することにより、汚れを溶かして取り除く装置です。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。
洗浄装置の基本的構成は、搬送系、処理槽、純水槽、乾燥ステージです。搬送系は対象物を搬入・搬出する装置で、処理槽の中で対象物を洗浄します。純水槽は対象物に付着した薬液を洗い流す槽、乾燥ステージは対象物を乾燥させる装置です。
1種類の処理液で洗浄できる汚れは1つが原則であり、複数の汚れを洗浄する場合は、複数の処理槽と純水槽が必要です。半導体の製造プロセスでは、複数のウェーハをまとめて処理するバッチ式と、ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式の装置が使われます。
バッチ式は、キャリアと呼ばれるケースにウェーハをまとめて入れ、キャリア毎処理層に入れて洗浄します。また、枚葉式は、ウェーハを1枚ずつ回転させながら、スプレー式の洗浄を行います。
半導体の洗浄は、複数の処理液を使用します。各処理液で除去可能な汚れが異なります。各処理の後に純水で洗い流しを行います。
最後にウェーハを純水で洗い流して、乾燥工程を行います。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年8月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社ダン科学 |
3.8%
|
2 | 株式会社イー・スクエア |
2.5%
|
3 | OKIネクステック株式会社 |
2.2%
|
4 | 株式会社バンテック |
2.0%
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5 | 株式会社TOSEI |
2.0%
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6 | 株式会社北村製作所 |
2.0%
|
7 | 高橋金属株式会社 |
2.0%
|
8 | HUGパワー株式会社 |
1.8%
|
9 | 株式会社ダン・タクマ |
1.8%
|
10 | 澁谷工業株式会社 |
1.6%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年8月の洗浄装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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355 点の製品がみつかりました
三田理化工業株式会社
70人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■概要 本洗浄機は、濯ぎ専用として、洗剤液洗浄から湯洗浄、水洗浄の3サイクルを全自動で行うことができます。尚、本機は濯ぎを主目的とした洗浄機でもありま...
株式会社丸山製作所
70人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
100.0% 返答率
■特長 ・台車とフレームにはサビに強いステンレスを採用しました。 ・オートストップ機能を搭載し、自動運転時に洗浄ガンのレバーを離して約10秒でモータが停...
6種類の品番
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40人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
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2種類の品番
株式会社丸山製作所
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100.0% 返答率
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10種類の品番
株式会社丸山製作所
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最新の閲覧: 6分前
100.0% 返答率
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2種類の品番
株式会社丸山製作所
60人以上が見ています
最新の閲覧: 7分前
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※他にも品番がございます。
10種類の品番
株式会社中村超硬
40人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■必要なのはわずかな水と空気 当社で培ってきたノズル製造技術を活用し、自社で開発した電子部品吸着ノズル用の自動ノズル洗浄装置「MACシリーズ」。溶剤は一...
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10人以上が見ています
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株式会社ブルー・スターR&D
10人以上が見ています
誤解だらけの超音波洗浄を排し、真・超音波洗浄技術の採用を。超音波の真に正しい理解だけが、飛躍的な洗浄効果と品質の安定をもたらします。
2種類の品番
株式会社ブルー・スターR&D
20人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
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10人以上が見ています
■特徴 ・MR-10がフルモデルチェンジでさらに使いやすくなりました。PSE取得機です。 ・「電気用品安全法」適合機です。 ・家庭用単相100V電源で手軽に使用出...
株式会社岡常歯車製作所
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最新の閲覧: 23時間前
■特徴 ・洗車作業をしっかりサポート ・簡単ワンタッチ操作のダブルレバー ・カーマット対応幅がよりワイドに ・軽量コンパクト設計 ・絞りローラー分離パネ...
株式会社スギノマシン
最新の閲覧: 6時間前
100.0% 返答率
ランス先端部に3Dノズルを取付けたシンプルで軽量なウォータージェット (WJ) 洗浄機です。貯蔵槽・コンテナ等の小型缶洗浄に適しています。
森合精機株式会社
10人以上が見ています
■省スペース・省人化は、どの作業環境でも抱える課題。 森合精機のロータリー洗浄機は、ロータリー機構、テーブル回転式の洗浄で、省スペース設計による作業ス...
株式会社ブルー・スターR&D
10人以上が見ています
誤解だらけの超音波洗浄を排し、真・超音波洗浄技術の採用を。溶剤超音波洗浄の驚異的な洗浄効果の増大と品質の安定を保証いたします。 ■溶剤系超音波バリ取...
株式会社ブルー・スターR&D
20人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
■金属3D積層造形 内部に残留する金属粉の除去装置 金属3D積層造形における内部の極めて複雑な微細菅構造内における、金属微粉の超音波除去装置を販売開始。...
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株式会社岡常歯車製作所
10人以上が見ています
最新の閲覧: 13時間前
■特徴 ・快適作業、快速パワー洗浄の決め手はこのシリーズです ・高級ステンレスボイラー採用、安定した温度で燃費を抑えた経済的な作業を実現 ・理想的な圧...
株式会社岡常歯車製作所
10人以上が見ています
■特徴 ・ガソリンスタンド、コイン洗車場等あらゆるシーンで大活躍 ・抜群の吸引力 ・誰でも使える簡単操作 ・ゴミ捨ても簡単 ・フィルタは水洗い可能 ・全機...
株式会社スギノマシン
最新の閲覧: 6時間前
100.0% 返答率
缶上部から3Dノズルを垂直に降下させ洗浄するランスです。複雑な形状の撹拌翼や、直胴部の長い缶に効果を発揮し、全自動で缶内を洗浄します。搬送方法の違い...
有限会社ケー・ワールド
30人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
■特徴 ・吸着率のアップ ・装着率のアップ ・品質向上 ・人件費削減 ■環境・操作性 ・蒸留水を使用するので環境・人体に優しい。 ・12個のノズルを同時洗...
2種類の品番
森合精機株式会社
10人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
■省スペース・省人化は、どの作業環境でも抱える課題。 森合精機のロータリー洗浄機は、ロータリー機構、テーブル回転式の洗浄で、省スペース設計による作業ス...
株式会社ブルー・スターR&D
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最新の閲覧: 6時間前
誤解だらけの超音波洗浄を排し、真・超音波洗浄技術の採用を。超音波の真に正しい理解だけが、飛躍的な洗浄効果と品質の安定をもたらします。 ■キャビティー...
3種類の品番
株式会社岡常歯車製作所
10人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
■特徴 ・これまであきらめていた汚れはありませんか。120℃のパワーで解決します ・圧力10MPa時120℃ (水温20℃) ・温水、冷水、高温水、切替が自由に行えます ...
株式会社岡常歯車製作所
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最新の閲覧: 3時間前
■特徴 ・車内の清掃や工場の床の清掃など清掃場所を選びません ・フィルターの簡単清掃が実現 (Push&Clean) ・抜群のコストパフォーマンス ・充実の標準装...
株式会社スギノマシン
10人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
100.0% 返答率
ランスの搬送およびリアクターのウォータージェット (WJ) 洗浄を自動で制御します。作業者はボタンを押すだけで済み、安全性、作業性に優れており大幅な省人...
森合精機株式会社
20人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
■洗浄に関して長年の実績を誇る森合精機がお届けするジェット洗浄機。 高圧・高温噴射による高い洗浄力はもちろんのこと、ロータリー式テーブルの採用、洗浄液...
Metoreeに登録されている洗浄装置が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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用途及び特徴・用力は電気と水のみ・油、塗料、化粧品の調合器の汚れ落としが得意・低圧(0.2MPa以下)なのでダメージが少ない
2024年4月18日
大気圧プラズマを用いたダイレクト接着の一例を紹介しています。接着界面にダメージを与えない分子結合を主体にした結果の一例です。光学レンズ・光学フィル...
2024年8月9日
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2022年7月12日
粒状(有機・無機に関係なく)物に対する、ラジカルによるドライ洗浄や親水処理、表面還元処理をダメージを与えることなく処理ができる。粒子径は数ミリから...
2023年3月17日
フッ素樹脂への塗布性能向上や銅箔や異種材フィルム等への接着をお考えの場合、弊社の分子結合接着技術を是非ご検討ください。接着界面にダメージを与えず、...
2023年3月17日
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2024年8月9日
プラズマ照射幅5mm~30mm(ヘッド回転式)。処理ガスにエアー使用可能。小型、軽量。親水化、撥水化、還元、有機物除去。安価(250万円~)。
2023年8月4日
【特長】1.スクリーン/メタルマスクの性能維持 マスクの接着部分に洗浄液がかからないため接着剥がれを回避2.臭い漏洩防止 部分洗浄方式により、洗浄~乾...
2023年2月24日
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2024年6月13日
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2024年3月19日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎操作は主に3つのボタンで行います。同時に2個のグルテンサンプル...
2024年3月25日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎設定はタッチボタン操作で行うことができます。同時に2個のグルテ...
2024年3月25日
小麦粉のウェットグルテン含有量と品質を測定するために抽出するグルテン洗浄機です。◎特徴◎自動2室システムで、同時に2個のグルテンサンプルを準備できます...
2024年3月25日
一般的なシンクで使用できるコンパクトなボトル簡易洗浄台です。ポンプ等の装置を使用せず、洗浄台を蛇口と接続するだけで洗浄できます。電気を使用しないの...
2022年7月23日
抜群の節水効果--------------------異物混入防止対策に。衛生管理に。全部品食品衛生法的合材を使用。【特徴】・軽量でコンパクト・高い耐久性・使い易い流...
2024年6月21日
≪節水対策のお供に!≫≫食品飲料製造メーカー殿に関しては、1日の中で(若しくは1週間の中で)異なった商品の製造を行わなければなりません。そのタンク内に異...
2023年7月5日
レヒラー社製タンク洗浄ノズル型番:5B2 / 5B3スプレーボールシリーズ5B2/5B3は、多くのアプリケーションで実績のある設計です。高い衛生要件と高温の環境で...
2023年8月3日
妥協のない洗浄力に感動するだけでなく、衛生的な設計、プロセスの信頼性、耐用年数の面で新たな基準を打ち立て三次元ノズル!【 MeshClean の主な機能】・ス...
2023年8月31日
柔軟度が高く正確なプロセスコントロール200mmもしくは300mmウェハー用の自動ウェットプロセシングシステムである本製品はキャリア有無どちらでも使用でき、...
2024年5月24日
古い装置で、思うようにいかなかったら、新しい装置に変えましょう!RENA NAは現在の技術で新しいSRDを作りました。SRDは最先端の開発が進む装置業界で、取り...
2024年5月24日
省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサーRENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、プロセス...
2024年5月24日
Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。【生産性】低コストながら高いパフォーマンス■ 前後側面マ...
2024年5月24日
R&Dからパイロット生産への移行に適切なInception■ 量産ベースとなるプロセス開発に安定したプロセスを実現■ 最短のプロセス開発を可能にする柔軟性の高いソ...
2024年5月24日
【エアーノズルでは不可能だった100%完全な水切りがついに実現】~エアーブローだけで完全乾燥。乾燥工程が不要に~==================デ...
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【水洗い不要!風だけで汚れを落とすエアーブロー洗浄】~頑固な汚れから付着ダストまで~==================デモ動画をカタログに掲載中...
2024年9月1日
【洗浄から完全乾燥までこれ1台で完結!】~自動化と効率化を同時に実現~==================デモ動画をカタログに掲載中!エアーブローで...
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スプレーガン自動洗浄装置・塗装後のガン洗浄に・一度に2丁まで洗浄できる・ガンをセット、タイマー回して45秒で洗浄完了・フタを開けると停止する安全装置付
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汚水の跳ね返りSTOP!!高圧洗浄機用飛散防止カバー ウォーターガードノズルの先端に付けるだけ!洗浄作業時の汚水の飛散を防止します!跳ね返りを大幅に軽...
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2023年2月28日
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2022年2月25日
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2022年2月25日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置【シバタのUFBテクノロジー】当社開発のウルトラファインバブル発生装置「シバタエンジン」は水道圧1passで...
2022年8月29日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。水道圧1パスで中心径100nmのUFBを生成、...
2023年7月26日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。水道圧1パスで中心径100nmのUFBを生成、...
2023年9月28日
掲載内容:ウルトラファインバブル(UFB)発生装置設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル水に。住宅や施設でも瞬時にバブルを生成。水道...
2024年4月1日
掲載内容:ウルトラファインバブル発生装置「シバタエンジン ベーシックシリーズ」大流量モデル。設備や配管に「つなげるだけ」で水がウルトラファインバブル...
2024年4月1日
掲載内容:ウルトラファインバブル発生装置のOEM。ファインバブル技術の市場は、様々なサービスやシステムとしての発展が予測されます。国際標準化も進みつつ...
2024年4月1日
当社は、化学薬品・医薬品・化粧品メーカー向けの液体充填装置や容器洗浄装置の設計・製造・販売を行っている会社です。半導体製造に欠かせない高純度薬液(フ...
2023年11月17日
半導体製造には,非常にクリーンな環境での高速搬送が求められる.当社で提供している半導体処理設備に用いられるウェーハ自動剥離装置も,そのような要求に...
2023年11月28日
1:ラップ後洗浄装置:ラッピング砥粒除去(アルカリ+界面を主にした洗浄です)。2:アルカリエッチング洗浄装置:グラインディング後の加工歪を除去するこ...
2023年11月28日
液体に気体を混合させ、マイクロバブルを製造し、気液の反応効率を上げます。・空気・酸素・窒素・オゾン等の気体を容易に液体に溶解することが可能です。・...
2023年12月19日
【ヘルメットクリーン と e-WASH が気になる雑菌・臭い・汚れを数秒で除菌・消臭・洗浄します】スーパーアルカリイオン水「e-WASH」がヘルメット内部の...
2024年8月30日
当社の水系超音波洗浄システムは、有機溶剤や炭化水素を一切使用せず、“水”を使用することで工場内、周辺地域への環境負荷を大きく低減し、その上で強力な洗...
2023年9月19日
洗浄装置のカタログ48件分をまとめてダウンロードできます!お迷いの方は便利な無料の一括ダウンロード機能をご利用ください。
企業
HUGパワー株式会社 株式会社イー・スクエア OKIネクステック株式会社 株式会社ブルー・スターR&D オガワ精機株式会社 東光技研工業株式会社 有光工業株式会社 株式会社マルヤス MONOVATE株式会社 株式会社明治機械製作所 ティックコーポレーション株式会社 株式会社インターテック販売 ピュアトラスト株式会社 精和産業株式会社 キクロン株式会社 株式会社シバタ 株式会社永田製作所 PHT株式会社 株式会社MEI 株式会社アールアンドアール 株式会社CJVインターナショナル219,922 円
29,719 円
1,140,000 円
価格について: Metoreeに登録されている洗浄装置の製品355点の2024年9月8日時点での価格データを元に算出しています。