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真空圧力計のメーカー21社一覧や企業ランキングを掲載中！真空圧力計関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:SMC株式会社、2位:アズビル株式会社となっています。 真空圧力計の概要、用途、原理もチェック！
真空圧力計 (英: vacuum pressure gauge) とは、大気圧以下の負圧を測定する圧力測定器のことです。
圧力測定器には、圧力計、連成計、真空計の3種類があり、真空計のことを真空圧力計と呼びます。これらの測定器はそれぞれ測定できる圧力の範囲が異なっており、圧力計は正圧のみ、連成計は限られた範囲の正圧と負圧、真空計は負圧のみを測定できます。
したがって、真空計を負圧以外の測定に使用すると、故障の原因になるので注意が必要です。
項目別
使用用途
#半導体製造
#化学プロセス
#製造工程監視
#排気系監視
測定原理
ブルドン管型
熱電導型
放電電流型
イオン化型
静電容量型
測定範囲
低真空型
高真空型
超高真空型
表示方式
アナログ
デジタル
ハイブリッド
測定範囲 Pa
-100,000 - 0
0 - 100
100 - 1,000
1,000 - 10,000
10,000 - 100,000
100,000 - 1,000,000
1,000,000 - 40,000,000
精度 %F.S.
0 - 1
1 - 2
2 - 3
3 - 5
5 - 16
16 - 31
31 - 51
使用温度範囲 ℃
0 - 10
10 - 40
40 - 50
50 - 60
電源 V
13 - 15
15 - 20
20 - 30
30 - 36
保護等級
30 - 40
40 - 55
55 - 65
質量 g
0 - 500
500 - 1,000
ビカ・ジャパン株式会社
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ビカ・ジャパン株式会社
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ビカ・ジャパン株式会社
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ビカ・ジャパン株式会社
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ビカ・ジャパン株式会社
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旭計器工業株式会社
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■概要 本圧力計は、負圧 (真空) がかかる計測場所で真空が精度良く読み取れ、かつ大きな正圧もかかる場合に用いる圧力計です。 ■特徴 ...
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