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ナノインプリント装置のメーカー14社一覧や企業ランキングを掲載中！ナノインプリント装置関連企業の2025年11月注目ランキングは1位:株式会社ウェルテック、2位:タツモ株式会社、3位:三井電気精機株式会社です。
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2025年11月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社ウェルテック |
21.3%
|
| 2 | タツモ株式会社 |
14.9%
|
| 3 | 三井電気精機株式会社 |
10.6%
|
| 4 | 東レエンジニアリング株式会社 |
10.6%
|
| 5 | 芝浦機械株式会社 |
10.6%
|
| 6 | SCIVAX株式会社 |
8.5%
|
| 7 | イーヴィグループジャパン株式会社 |
6.4%
|
| 8 | グローバルマシーナリー株式会社 |
4.3%
|
| 9 | リソテックジャパン株式会社 |
4.3%
|
| 10 | 株式会社協同インターナショナル |
4.3%
|
株式会社エイチ・ティー・エル
50人以上が見ています
NIL Technology社は、2006年デンマークのコペンハーゲンで設立、ナノインプリントモールドとインプリントサービスなどを提供しています...
株式会社協同インターナショナル
440人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
100.0% 返答率
35.9時間 返答時間
■PhableR 100は、300nmピッチ以下の高解像度を実現 ・PhableR 100 は、EULITHA社独自の露光技術であるPHABLE (Photonics Enablerの短縮...
株式会社三明
350人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
評判のとても良い企業
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79.4時間 返答時間
■3種類のナノインプリント装置 ・小型モールド。ナノインプリントステッパー ・一括全面転写。大型モールドを使用し全面一括 ・平板ロー...
株式会社日本レーザー
520人以上が見ています
返信の早い企業
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■特徴 ・極めて優れた堅牢性と安定性 ・高パルスエネルギーと綺麗なパルス形状 ・メンテナンスフリー&ターンキー ・繰り返し周波数、パ...
三井電気精機株式会社
370人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の比較的早い企業
評判の良い企業
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100.0% 返答率
28.4時間 返答時間
■ナノインプリント ナノインプリント法は数10nm~数100nmの極微細加工した金型を樹脂や硝子に押し付け短時間に同一形状の部品を大量に作...
三井電気精機株式会社
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最新の閲覧: 7時間前
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■ナノインプリント ナノインプリント法は数10nm~数100nmの極微細加工した金型を樹脂や硝子に押し付け短時間に同一形状の部品を大量に作...
株式会社協同インターナショナル
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最新の閲覧: 31分前
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■特徴 ・真空・加圧が必要ないシンプルな構成 ・解像度：100nmレベルでの微細構造パターン製作 ・高い生産性 (スループットは1~2分) ・...
三井電気精機株式会社
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最新の閲覧: 16時間前
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■ナノインプリント ナノインプリント法は数10nm~数100nmの極微細加工した金型を樹脂や硝子に押し付け短時間に同一形状の部品を大量に作...
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■ナノインプリント ナノインプリント法は数10nm~数100nmの極微細加工した金型を樹脂や硝子に押し付け短時間に同一形状の部品を大量に作...
株式会社協同インターナショナル
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■ナノインプリントお試しモールド (金型) NIL (ナノインプリント) や射出成型の初期検討、各種実験に適した、標準パターンのモールド (...
株式会社協同インターナショナル
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最新の閲覧: 1時間前
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PhableR100はタルボ効果を用いることにより周期構造に対して ハーフピッチ150nmの微細で一括露光できる特殊な装置です。 電子ビーム描画...
株式会社協同インターナショナル
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最新の閲覧: 1日前
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■大面積モールド、ロールtoロール (R2R) モールドとは ナノインプリントに用いられるモールド (金型) の多くは、20mm x 20mmといった比...
株式会社協同インターナショナル
390人以上が見ています
最新の閲覧: 30分前
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■大面積モールド、ロールtoロール (R2R) モールドとは ナノインプリントに用いられるモールド (金型) の多くは、20mm x 20mmといった比...
新電子株式会社
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最新の閲覧: 21時間前
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ガラス上に多層フォトレジスト加工された微細パターン (パターン幅3μ) を画像検査します。
豊和産業株式会社
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最新の閲覧: 30分前
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FPC (フレキシブル・プリント・サーキット) 基板は、ポリイミドフィルムをベース材としてCu電極をパターニングした回路基板です。ベース...
ナノインプリント装置とは、超微小回路パターンなどを形成するナノインプリントを行う装置です。
主に半導体の超微細回路パターンの形成などに使用されています。
ナノインプリント装置は、半導体などの超微小回路パターンの形成に使用されています。ナノインプリント装置を使用すれば、微細なパターンを容易に量産できるため、これまで難しくコストがかかっていた微小回路を作成することが可能です。
半導体分野以外に、バイオテクノロジー分野やディスプレイなどの分野などでも利用されています。また、大学や研究所などの研究機関における研究や開発の目的での使用、生産の現場における条件や仕様に合わせた試作品を作るための使用も進んでいます。
ナノインプリント装置は、ナノインプリント技術を実現する装置です。ナノインプリント装置は、ガラスや樹脂が塗布された基板および載置台、載置台に相対向して設置される超微細パターンが形成されている金型を有します。
そして、金型を基板に押し付けるプレス手段、ガラスや樹脂を硬化させる硬化手段が必須構成です。すなわち、基板上の溶融しているガラスや樹脂にプレス手段により金型を押し付け、金型の形状を転写します。
この金型の形状が転写されたガラスや樹脂を硬化手段により硬化し、基板上に超微細パターンを持つガラスまたは樹脂層を形成します。さらに、ナノインプリント装置は大型でスペースを必要とするものが一般的ですが、持ち運びができるほどコンパクトなサイズのナノインプリント装置も登場しています。
ナノインプリント技術とは、極微細加工により超微小サイズのパターンを刻み込んだ金型をガラスや樹脂などに押し付けて同じ形状を転写する技術です。この技術により、超微小サイズのパターンが形成されている同一の部品を短時間で量産できます。
ナノインプリント装置の基板上の樹脂層に使用される樹脂としては、「熱可塑性樹脂」と「光硬化型樹脂」があります。「熱可塑性樹脂」とは、高温加熱することにより溶融し、冷却することで再度硬化する樹脂のことです。
一方の「光硬化型樹脂」とは光を照射することにより硬化が起こる樹脂で、UV硬化型樹脂などが代表的です。このため、ナノインプリント装置の硬化手段としては、冷却する手段と紫外線などの光を照射する手段があります。
なお、ナノインプリント装置としては、どちら一方の手段を持つものと両方の手段を持つものがあります。
ナノインプリント装置において、ナノインプリントされる基板上の樹脂層の多くは基板上に一律に樹脂を塗布して形成したものです。この方法では、パターンを形成する場合にパターンの形状や樹脂の硬化速度によっては、パターンのエッジが甘くなるなどの問題が懸念されています。
そこで実施されているのが、基板上の樹脂の供給をインクジェットプリンターの技術を応用した方法です。すなわち、インクジェットプリンターの技術を利用して基板上のパターン形状に対応する部分にのみ、最適な量の溶融樹脂を噴出して塗布して樹脂層を形成しています。
このとき、パターンに応じた適量な樹脂量や樹脂のパターンへの流入速度、硬化速度などを考慮して溶融樹脂の最適供給量を求め装置に組み込んでいます。
半導体製造装置の中でもリソグラフィを利用した装置は、超微細パターンの形成に向いています。この装置では、基板上に一律に塗布された樹脂層上にパターンに応じて光を照射しています。つまり、光が当たった部分だけを硬化してパターンを形成し、現像して不要部分を取り除いてパターンが完成する仕組みです。
この方法の場合、光の照射は回路パターンに応じて縮小投影露光で行っています。この縮小投影露光はレンズ系により制御していますが、レンズ系の制御が困難で装置が大掛かりになるのが問題です。
しかし、ナノインプリント装置であれば、超微小回路パターンを形成した金型を樹脂層に押し当てて一気に光を照射するため、レンズ系の制御が必要ありません。非常にシンプルな操作で超微細回路パターンを有する半導体の製造が可能であり、ナノインプリント装置に対する期待が高まっています。
参考文献
https://www.mitsuiec.co.jp/nanoimprint
https://www.shinetsu.co.jp/jp/
https://xtech.nikkei.com/dm/article/WORD/20060314/114815/
