株式会社協同インターナショナル
三菱重工工作機械株式会社

【2021年版】微細加工機 メーカー7社一覧

微細加工機のメーカー7社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


微細加工機とは

微細加工機とは、ミクロン単位の微細精密加工を行う加工機器です。 微細加工の対象となる素材は金属に限らず、樹脂やポリマー、無機材料に及び、近年では
10nm単位のプログラム制御を可能とする切削加工機などもでており、微細化スケールは日々進歩しています。
広義の微細加工機では放電加工機、ワイヤー放電加工機、ジグボーラー、レーザー加工機も含まれ、これら全般の加工機を用いて微細加工を行います。
これらの微細加工機を取り扱う上では、室温等の温度管理、オペレータの熟練度も非常に重要となります。

微細加工機の使用用途

微細加工技術は近年、あらゆる産業分野で必要とされ、幅広い用途に活用されています。
半導体や電子部品業界ではデバイスの微細化に伴い、パッケージ金型の加工や、各種部品、医療機器業界ではバイオチップの様なマイクロ流路を備える部品、微細な電極構造を
もつ部品などで必要不可欠な加工技術となります。 従来では加工できなかった極微小ピッチの放熱フィンや、穴ピッチがミクロンオーダーの穴加工、サブミクロンオーダーの突起
配列構造など、通常のエンドミルなどで加工できない微細構造を実現できます。

微細加工機の原理

上述した様に、広義の微細加工機には複数の加工機を包含しますが、代表的な加工機について説明します。

  • 微細NC加工機
    基本的な構造や原理は従来のNCマシニングセンタと大きく変わりませんが、各軸の駆動方法やクーラントの温度管理、回転数制御など、すべてに於いて
    高精度な制御が施されています。各軸の駆動にはリニアモータが用いられ、プログラム上の分解能は0.1nmに及ぶ製品もあります。また往復運動を司る
    ガイド部は油静圧案内が採用され、限りなく小さな摩擦抵抗と運動精度が実現されています。
    加工時に生じる発熱を管理するクーラントについては1/100℃レベルの温度制御が行われ、屋外から伝達する各種振動を遮る為に建屋基礎構造から防振対策
    を施したり、除震システム上に設置したりします。更に、機器の熱膨張を防ぐ為に恒温室へ設置します。
  • 放電加工機
    導電性材料の微細加工の場合には、材料側に陽極を繋ぎ、可動電極に陰極を持った放電加工機で加工します。この直流電流で加工する技術は、切削や
    研磨では加工ひずみ等の影響を受けやすい素材、形状の際に用いられ、繰り返し加工でより高精度、高い表面粗度を得る事が出来ます。
  • ワイヤー放電加工機
    基本的な原理は放電加工機と同じですが、0.05~0.3㎜程度の極細ワイヤーに陰極を接続し、ワイヤーと素材間に直流電流を印加する事で素材を切断する事が
    できます。 加工は導電率が管理された水中で行われ、加工中は常にワイヤーが送り出されます。 非接触で一筆書き状にカットする為、加工応力は一切生じず。
    切り代はワイヤー太さ+20~30ミクロンで切断する事が出来ます。

微細加工機のメーカー情報

微細加工機のメーカー7社一覧


微細加工機のメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 三菱重工工作機械株式会社
  2. 2 碌々産業株式会社
  3. 3 株式会社ナガセインテグレックス

設立年の新しい会社

  1. 1 三菱重工工作機械株式会社
  2. 2 株式会社オキサイド
  3. 3 株式会社ユーロテクノ

歴史のある会社

  1. 1 碌々産業株式会社
  2. 2 株式会社ナガセインテグレックス
  3. 3 株式会社協同インターナショナル

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