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【2020年版】プローバー メーカー3社・8製品一覧

プローバーのメーカー3社・8製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


プローバーとは

プローバーは、半導体の製造過程において、前工程において作成された半導体の測定のために、測定装置の接触部のニードルを半導体の電極の正しい位置に接続するための位置決めの装置です。半導体の電極部分は非常に小さいため、正確な位置に検査装置の接触部分のニードルを当てる必要があります。そのために、位置決めのための非常に正確な制御がプローバーには求められます。

プローバーの使用用途

プローバーの使用用途は、半導体の検査時に使用されます。研究開発用に使用する場合には、ノイズの除去や信号の漏れを防ぐ機能がある様な高精度で測定でき、測定が可能な限り柔軟に行えるような種類を、量産用に使用する場合には、高速で素早い処理を行うことができる種類などから、適切に選定する必要があります。測定対象の半導体が高温や低温状態で正しく動作するかを確認するために、プローバー側にも温度に対する耐性が求められます。パワーデバイス用の半導体の測定に用いる場合は、高電圧で低インピーダンスのプローバーが必要になります。

プローバーの原理

プローバーは、シリコンウェーハを固定するためのウェーハチェック、ウェーハチェックをXY方向に移動させるためのステージ、検査用の複数のニードルが取り付けられており、ステージに対して、Z方向に移動するコンタクトプレート、位置決めのためのカメラなどで構成されています。これらの機構に加えて、シリコンウェーハを移動させるための搬送システムもプローバーの製品に含まれていることも多くあります。
動作原理としては、シリコンウェーハをセットすると、ウェーハチェックの位置までシリコンウェーハが搬送されて固定されます。その後、ステージによってXY方向の位置決めがなされ、測定用のニードルとシリコンウェーハ上の半導体の電極の位置が調節された状態で、コンタクトプレートがZ方向に動作して、ニードルと電極が接合されます。そうすることで、半導体の電気特性を検査装置で検査することが可能になります。

参考文献

https://patents.google.com/patent/US4864227A/en

プローバーのメーカー情報

プローバーのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 ダイトロン株式会社
  2. 2 株式会社オプト・システム
  3. 3 ハイソル株式会社

設立年の新しい会社

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歴史のある会社

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プローバーのメーカー3社一覧


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