半導体検査装置
メーカー36社【2025年】

半導体検査装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、半導体検査装置のメーカー36社一覧や企業ランキングも掲載しております。半導体検査装置関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:株式会社クボタ、2位:ウインテスト株式会社、3位:株式会社モリモトとなっています。

半導体検査装置とは？
半導体検査装置のメーカー36社
半導体検査装置95製品

半導体検査装置とは

半導体検査装置

半導体検査装置とは、半導体製造工程の中で行われる検査に用いられる装置の総称です。

半導体製造では、ウェーハ製造段階、回路パターン形成段階、パッケージング段階で検査が行われます。様々な機器に用いられている半導体チップは機能の根源を担っているものも多く、正常に動作することは勿論、機器動作の安全性の面においても高い信頼性を保証する必要があります。

今や最も集積度が高い半導体チップでは、一つのチップ上に数百億個のトランジスタが搭載されており、これを数十年に渡って正常に動作させるためには、設計から製造まで十分な検査が必要です。

半導体検査装置の使用用途

半導体検査装置は、半導体製造工程のいくつかの段階で製造不良を検出するために用いられます。

1. ウェーハ製造段階

ウェーハ製造段階では、単結晶のシリコンの塊から回路製造の基板となる円盤状のシリコンウェーハがスライスされ、表面研磨や熱処理が行われて回路形成前のウェーハが製造されます。この段階での検査項目としては、スライスされたウェーハの歪みやヒビ割れ、エッジの欠けや表面の欠陥、異物の付着を検出する外観検査が行われ、良品と判定されたウェーハが次工程に送られます。

2. 回路パターン形成段階

回路パターン形成段階では、ウェーハ上にトランジスタや配線となる薄膜層の形成、フォトマスクを用いたパターン転写、不要な部分を除去するエッチングといった工程を繰り返しながら必要となる回路パターンが形成されます。この段階での検査項目としては、ウェーハ検査時のような外観検査の他に、電気的特性や回路としての正常動作を確認する検査があり、ここをクリヤしたウェーハが次工程に送られます。

3. パッケージング段階

パッケージング段階では、ウェーハ状態から一つ一つの半導体チップとして切断 (ダイシング) され、このチップの電極端子がパッケージ側の接続端子にボンディングされてパッケージに封入されます。この段階は製品として完成された段階にあたり、検査項目としては、電気的特性やパッケージとの接続 (ワイヤボンディング) 不良を検出する検査があり、ここをクリヤすると出荷可能な製品となります。

半導体検査装置の原理

半導体検査には大別すると外観検査と電気特性検査があります。

1. 外観検査

外観検査では高解像度カメラを用いて、ウェーハのひずみや割れ、エッジの欠けなどを検出したり、ウェーハ上の異物付着などを検出します。表面検査装置ではウェーハを回転させながらレーザー光をウェーハ表面に照射し、その反射光の散乱の有無を検出することで表面欠陥や異物付着を確認します。

更に、高感度カメラを用いてダイシングの際の寸法不良や、ワイヤーボンディング時の接続不良などの検出も行います。

回路パターン形成後には、電子顕微鏡を用いて微細パターンの画像解析を行い、異物検出や回路パターンのずれなどを確認します。高感度カメラで異物を発見した後、パターン転写を行い、転写後にレーザー発信機とレーザー受信機によって異物の位置を特定します。そこに電子顕微鏡を位置付けることで、異物の詳細部分を画像として記録し、他の形状などの詳細情報と比較して解析および評価を行います。

2. 電気特性検査

回路パターン形成段階ではウェーハ状態のまま電気特性の検査が行われます。この検査では、チップに対してテストパターンと呼ばれる電気信号を入力し出力信号パターンを期待値と比較して判定するLSIテスタと、一つ一つのチップの電極端子に正確に信号接続するためのチップレベルの位置決め制御を行うウェーハプローバと、チップ内の数百~数万の電極端子に正確に当たるように位置決めされた同数の針 (プローブ) を持つプローブカードで検査が実施されます。

パッケージング段階での検査は出荷前の最終検査となり、ファイナル検査 (F検) とも呼ばれます。ここではF検用ボードと呼ばれるテスト用のボードを作成し、回路動作を検査します。

近年の大規模回路ではBIST (英: Built In Self Test) と呼ばれる手法も用いられます。BISTでは、回路を検査するテストパターンを発生する回路と、テスト結果を期待値と照合する回路を設計段階から半導体チップ内に作り込むことで検査時間を短縮可能です。

以上に述べたような高感度カメラとLSIテスタ、電子顕微鏡の他、半導体検査に多く利用されているものとしては、検査用に作られた画像解析ソフトウェア、赤外線カメラ等が挙げられます。

参考文献
https://www.meti.go.jp/meti_lib/report/2019FY/000182.pdf

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半導体検査装置メーカー 36社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

【半導体検査装置】ポゴリング・ポゴタワー注目製品
株式会社モリモト

・ウエハー検査装置用ポゴリング、ポゴタワー
・テスターとのコンタクター
・～23000Pinまで実績あります

ウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）注目製品
株式会社クボタ

◆製品の特長
・レーザー式で検出した欠陥をリアルタイム観察可能な画像式との複合機も提案可能
・高速検査（約９１秒/6inch）
・PSL 50nm(オプション追加で40nm)相当の微小欠陥検出
・欠陥の凹凸を弁別
・SEM等での分析用にケガキ可能

ガラス検査装置LSI-T SERIES/ウエハ検査装置WSI SERIES 注目製品
北川グレステック株式会社

■ガラス検査装置LSI-T SERIES
　・角ガラス、ガラスウエハなどの異物検査（形状不問）
　・異物検出感度1μm
　・EFEM対応
　・各種カスタマイズ可能
■ウエハ検査装置WSI SERIES
　・8インチSiウエハ検査
　・異物検出感度0.05μm
　・各種カスタマイズ可能

- - 株式会社モリモト
    ポゴリング（ポゴタワー）　コンタクトプローブ　ICテストソケット　実機検査治具　超精密樹脂加工
  - 会社サイト創業: 1958年従業員数: 25人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市高津区久末2088-1
- ～23000PIN
  
  株式会社モリモトは創業1958年の歴史の長いコンタクトプローブのメーカーです。
  前工程に関わるテスター用ポゴリングからICソケット、実機検査治具まで幅広く対応致します。
- - 株式会社クボタメーカー
    半導体検査装置（レーザー式、画像式）
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1890年従業員数: 52,608人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市浪速区敷津東一丁目2番47号
- ロードセルから指示計まで一貫生産する工業用はかりの総合メーカーとして培った計量・計測技術を活かし、遠隔監視システムや、微小欠陥も検出可能な高精度検査装置を製造しています。
- - 北川グレステック株式会社メーカー
    ウェハー用表面検査装置、レーザー走査型異物検査装置 / LSI
  - 会社サイト創業: 1978年従業員数: 67人資本金: 9,000,000円会社詳細
  - 住所: 千葉県千葉市花見川区犢橋町1614-27
- お気軽相談無料見積り安心サポート
  
  汎用品からオーダーメイド品までレーザー式検査装置の開発・設計・販売を行っております。
  光学系だけでなく搬送系も含めてニーズに沿った最適な検査自動化装置を提供します。
- - 株式会社ジェイエイアイコーポレーションメーカー
    半導体検査装置
  - 会社サイト従業員数: 120人会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市神奈川区栄町10-35ポートサイドダイヤビル
- - 株式会社シバソクメーカー
    半導体テストシステム
  - 会社サイト創業: 1955年従業員数: 139人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区新橋4-6-8
- - 株式会社シキノハイテックメーカー
    半導体検査装置一覧
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1975年従業員数: 359人資本金: 376,621,000円会社詳細
  - 住所: 富山県魚津市吉島829
- - 応用電機株式会社メーカー
    半導体検査装置
  - 会社サイト創業: 1980年従業員数: 582人資本金: 72,212,000円会社詳細
  - 住所: 京都府城陽市平川中道表63-1
- - レーザーテック株式会社メーカー
    半導体関連装置一覧
  - 会社サイト創業: 1960年従業員数: 402人資本金: 931,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-10-1
- - ブルカージャパン株式会社メーカー
    半導体検査装置一覧
  - 会社サイト創業: 1975年従業員数: 170人会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市神奈川区守屋町3-9
- - ニデックアドバンステクノロジー株式会社メーカー
    半導体パッケージ用自動検査装置
  - 会社サイト創業: 1991年従業員数: 385人資本金: 9,300,800,000円会社詳細
  - 住所: 京都府向日市森本町東ノ口1-1ニデックパークC棟
- - ジャパンコーヨン株式会社メーカー
    半導体検査装置
  - 会社サイト創業: 2008年従業員数: 19人会社詳細
  - 住所: 千葉県千葉市美浜区中瀬2丁目6番地1WBG マリブイースト24階B2401号室
- - コマツNTC株式会社メーカー
    ウェーハ検査装置
  - 会社サイト創業: 1945年従業員数: 1,378人会社詳細
  - 住所: 富山県南砺市福野100
- - オムロン株式会社メーカー
    半導体検査装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1933年従業員数: 29,020人会社詳細
  - 住所: 京都府京都市下京区塩小路通堀川東入
- - テクトロニクスメーカー
    半導体検査装置
  - 会社サイト創業: 1946年会社詳細
  - 本社: アメリカ
- - 株式会社日立ハイテクメーカー商社・代理店
    半導体製造装置・計測装置・検査装置一覧
  - 会社サイト創業: 1947年従業員数: 11,903人資本金: 793,848,525円会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
- - 株式会社日本マイクロニクスメーカー商社・代理店
    半導体試験装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1970年従業員数: 1,111人会社詳細
  - 住所: 東京都武蔵野市吉祥寺本町2-6-8
- - 株式会社アドバンテストメーカー商社・代理店
    半導体テスト・システム
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1954年従業員数: 7,117人資本金: 32,363,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区丸の内1丁目6番2号新丸の内センタービルディング
- - ダイトロン株式会社メーカー商社・代理店
    半導体テスター
  - 会社サイト創業: 1952年従業員数: 942人資本金: 2,200,708,560円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市淀川区宮原4-6-11
- - イノテック株式会社メーカー商社・代理店
    メモリーテスター
  - 会社サイト創業: 1987年従業員数: 1,775人会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜3-17-6
- - 甲斐エレクトロニクス株式会社
    半導体検査装置
  - 会社サイト創業: 1986年従業員数: 30人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県狭山市狭山台4丁目24番地20
- - 株式会社ミノス
    半導体検査装置
  - 会社サイト創業: 1990年資本金: 88,000,000円会社詳細
  - 住所: 長野県茅野市金沢302
- - 株式会社プラムファイブ
    半導体検査装置
  - 会社サイト創業: 1989年従業員数: 47人資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市青葉区荏田町311-3
- - 株式会社テラダ
    セミコンダクタテスト
  - 会社サイト創業: 1935年従業員数: 22人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府八尾市神武町1-82
- - 株式会社テセック
    テストシステム
  - 会社サイト創業: 1969年従業員数: 189人会社詳細
  - 住所: 東京都東大和市上北台3丁目391番地の1
- - 株式会社シンコウ製作所
    半導体検査装置
  - 会社サイト創業: 1977年従業員数: 70人資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 福岡県行橋市大字下崎423番地
- - 東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社
    光学式半導体ウェーハ検査装置一覧
  - 会社サイト創業: 2000年従業員数: 50人会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-6-23金子第2ビル
- - 有限会社アズマ
    半導体検査装置
  - 会社サイト創業: 1990年従業員数: 15人会社詳細
  - 住所: 東京都東村山市本町1-6-48
- - 日本セミラボ株式会社
    半導体検査装置一覧
  - 会社サイト創業: 1987年会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10 YS新横浜ビル 6階
- - ワイエイシイガーター株式会社
    LEDテスタ LX47シリーズ
  - 会社サイト創業: 1944年従業員数: 122人会社詳細
  - 住所: 東京都青梅市今井3-5-13
- - コペル電子株式会社
    パワー半導体検査装置
  - 会社サイト創業: 1968年従業員数: 49人資本金: 49,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県厚木市船子43

半導体検査装置 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年2月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社クボタ	16.1%
2	ウインテスト株式会社	9.3%
3	株式会社モリモト	7.0%
4	レーザーテック株式会社	6.0%
5	株式会社アドバンテスト	5.8%
6	北川グレステック株式会社	5.0%
7	コマツNTC株式会社	3.9%
8	ニデックアドバンステクノロジー株式会社	3.5%
9	株式会社ジェイエイアイコーポレーション	3.3%
10	株式会社シキノハイテック	3.1%