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【2020年版】半導体外観検査装置4選 / メーカー22社一覧

半導体外観検査装置のメーカー22社・120製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


半導体外観検査装置とは

半導体外観検査装置とは、半導体の製造過程のウェハーや半導体チップの不良を画像処理で検査する装置です。

半導体外観検査装置を半導体製造過程に導入することで、早期に不良品を選別でき、コストの削減や品質や信頼性の向上が見込まれます。

半導体外観検査装置を選定する基準としては、ウェハーの径、使用する工程、検出する不良の種類を考慮する必要があります。

半導体外観検査装置の使用用途

半導体外観検査装置は、半導体製造工場で使用されます。

半導体外観検査装置を使用して検出する不良としては、ウェハーのゆがみや割れ、傷、異物の付着、回路パターンのずれ、寸法の不良、パッケージの不良が挙げられます。

工程ごとに適切な半導体外観検査装置やソフトウェアを選定する必要があります。

検査を高速化、省人化するために半導体製造工程に組み込み、自動的に不良を検知する装置もあります。

半導体外観検査装置の原理

半導体外観検査装置は、計測する装置と計測したデータを処理するソフトウェア、適切な計測を行うための設備で構成されています。

計測する装置としては、高解像度カメラや電子顕微鏡、レーザー計測器が使用されます。計測したデータを処理するソフトウェアは、販売会社や検査する工程ごとに様々なアルゴリズムが開発されています。

適切な計測を行うための設備としては、振動を抑える装置やライトを当てる装置になります。

半導体外観検査装置の主要な検査技術である、画像撮像技術、画像処理技術、欠陥分類技術に分けて説明します。

  • 画像撮像技術: 画像撮像技術は、レーザー光をウェハーに照射し、その散乱光を検出することで欠陥を測定する技術です。微小な凹凸を光らせることで、異物や破損の検出に適しています。
  • 画像処理技術: 画像処理技術は、ウェハー上の半導体のパターンは同じであることを利用して、隣接するパターンと比較し、欠陥を検出する技術です。高速で広範囲の処理が可能になります。
  • 欠陥分類技術: 欠陥分類技術は、欠陥を検出した後に、その欠陥を分類分けして欠陥の原因を抽出する技術です。欠陥の原因を突き止めやすくなることが特徴です。

 

参考文献

https://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2013S/0/2013S_39/_pdf

http://kumamoto-iri.jp/library/data/kenkyuhokoku/2003/T42-47.pdf

半導体外観検査装置のメーカー情報

半導体外観検査装置のメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 東レエンジニアリング株式会社
  2. 2 キャノンマシナリー株式会社
  3. 3 株式会社安永

設立年の新しい会社

  1. 1 株式会社オプト・システム
  2. 2 日本ミルテック株式会社
  3. 3 ジャパンコーヨン株式会社

歴史のある会社

  1. 1 永田精機株式会社
  2. 2 株式会社安永
  3. 3 タカノ株式会社

半導体外観検査装置のメーカー22社一覧


半導体外観検査装置4選

自動マクロ検査装置 AMI-3000 MarkII / 3500

株式会社ニコンインステック 自動マクロ検査装置 AMI-3000 MarkII / 3500 画像出典: 株式会社ニコンインステック公式サイト

特徴

AMI-3000 MarkII/3500は、半導体外観検査を高いスループットと検出感度で行える自動マクロ検査装置です。

独自の回折光受光システムでZ軸方向のズレを高感度で検出でき、最上層の回折光のみを捕捉することができるので、これまで難しかった下地欠陥との識別を行うことができます。

AI画像処理技術を採用し、良品学習機能によって疑似欠陥を防ぐことができます。

ウェハ全数全面の一括検査ができるので、1時間に150枚の検査ができます。

株式会社ニコンインステックの会社概要

製品を見る

ウエハーエッジ外観検査

ソフトワークス株式会社 ウエハーエッジ外観検査 画像出典: ソフトワークス株式会社公式サイト

特徴

ウェハ外周の3面同時測定により傷、クラック、異物などの欠陥を検出する半導体外観検査装置です。

ウェハの端面と上下を同時撮影するので1枚に付き約6秒で検査が完了する高速性を実現しています。

ウェハサイズ4~8インチ、厚みも0.2~1.5 mmまで対応しており、照明技術の工夫により、黒抜けのない無影照明を実現しています。

これによりエッジ部分の精細画像の取得が可能で、高精度・高感度な欠陥検出を行うことができます。

ソフトワークス株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 静岡県浜松市中区高丘北1丁目40番15号
  • URL: http://www.softworks.co.jp/
  • 創業: 1991年
  • 従業員数: 10人

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3D-Eye35000シリーズ

オプテックス・エフエー株式会社 3D-Eye35000シリーズ 画像出典: オプテックス・エフエー株式会社公式サイト

特徴

3D-Eye35000シリーズは、レーザー光源と3Dカメラを用いて検査対象の表面不良を三次元解析する、半導体外観検査装置です。

表面形状を定量的に測定できるので、安定した高い精度で外観検査を行うことができます。

3Dカメラのセンサー部分には高速演算処理回路を搭載しており、世界最速の1秒間に35000プロファイルの処理を実現しています。

これにより、色調情報をエンコードした濃淡画像やレーザー拡散画像の同時取り込みも可能です。

オプテックス・エフエー株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 京都府京都市下京区中堂寺粟田町91 京都リサーチパーク9号館
  • URL: https://www.optex-fa.jp/
  • 創業: 2002年
  • 従業員数: 234人

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蛍光検査装置 INSPECTRA(R) PLシリーズ

TASMIT株式会社 蛍光検査装置 INSPECTRA(R) PLシリーズ 画像出典: TASMIT株式会社公式サイト

特徴

フォトルミネッセンスによる蛍光画像を取得することで、可視光を用いた外観検査では検出できなかった欠陥を高感度に検出することができます。

独自の光学系に合わせた検査アルゴリズムを採用することにより、感度と検査速度の大幅な向上を実現しており、結晶欠陥検査に最適です。

可視光検査と組み合わせることにより検査の信頼度を高めることができます。

これらの解析結果を工場へフィードバックすることで致命的な欠陥を特定し、歩留まりを改善することができます。

TASMIT株式会社の会社概要

製品を見る

半導体外観検査装置の120製品一覧

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