プローブカードとはメーカー20社一覧カタログ3件一覧

概要メーカー20社一覧カタログ3件

【2022年版】プローブカード2選 / メーカー20社一覧

プローブカードについての概要、用途、原理などをご説明します。また、プローブカードのメーカー20社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。プローブカード関連企業の2022年7月注目ランキングは1位:日本電子材料株式会社、2位:東邦電子株式会社、3位:株式会社日本マイクロニクスとなっています。

プローブカードとは？
プローブカードのメーカー20社一覧
プローブカードのカタログ3件一覧
プローブカード2選

プローブカードとは

プローブカードとは、LSIの製造工程における検査に必要な器具で、ウェーハ検査装置に取り付けて使用します。

プローブカードは探針を持ち、シリコンウェーハ上に形成されたLSIチップに対してほぼ全数の電気的な接続と特性検査を行います。1枚のウェーハ上に何百ものLSIチップがあるので、プローブカードも多くの針を持ちます。

ウェーハ検査装置のメーカーや、シリコンウェーハのサイズによってプローブカードが必要になるため、専用の機種が多くあります。

プローブカードの使用用途

プローブカードはLSI製造工程における検査で使用されています。そのため、LSIが使用されている携帯電話やスマートフォン、高機能の家電、パソコン、自動車等を安定的に製造するために、プローブカードによる検査が役に立っています。プローブカードは消耗品なので、定期的なメンテナンスや交換が重要です。

LSIの種類が豊富なので、高周波測定用、微小電流測定用、LCDドライバ、CMOSイメージセンサ用など、専用のプローブカードが多くあります。

プローブカードの原理

プローブカードは、シリコンウェーハのプローバの上に取り付けられます。プローブカードはLSIチップの電極とLSIテスタをつなぐ、コネクタの役割を果たしています。

LSIテストヘッドにはスピリングコンタクトピンや高密度ピンが使用されていますが、LSI本体の端子電極はテストヘッドのピンの配置密度よりも微細なので、プローブカードを介して両者が接続するようになっています。

プローブカードの上側の面にはテストヘッドとの接続端子、下側にはLSIチップの電極と接続するための針が取り付けられています。

テストヘッドとプローブカードの接続端子と、LSIチップの電極とプローブカードの針をつなぎ、電気的に接触させることで、電気的な検査を行い、良、不良の判定をすることができます。シリコンウェーハ上の一つ一つのLSIに対して検査を行います。

プローブカードにはアドバンスト型、カンチレバー型があり、アドバンスト型は垂直型の端子が付いたブロックが基板に取り付けられていてプローブの配列が自由、メンテナンスしやすいなどのメリットがあります。カンチレバー型では直接針が基板に取り付けられていて、狭ピッチに対応しやすいなど特徴があります。

プローブカードシェア２０２０

プローブカードとは、半導体の集積回路製造におけるウエハ検査に使用される検査ツールです。プローブカードの顧客７４社のアンケート結果によると、イタリアのテクノプローブが第１位のシェアを獲得しており、この分野におけるリーディングメーカです。
２位はアメリカ合衆国のフォームファクター、３位が日本電産リードの子会社であるＳＶＴＣＬの上位３社が最高ランクです。
１位のテクノプローブは顧客へのフィールドエンジニアリングサポートの良さ、アプロケーションサポートの良さを挙げています。
２位のフォームファクター社の強みは、業界における技術的リーダーシップ、サプライヤとしての信頼性、３位のＳＶについては、顧客へのアプリケーションサポートの良さ、他人に購入を勧めたいサプライヤといった部分を挙げています。

プローブカード材質

プローブカード材質は、ウエハ検査における微細で高度な信頼性を求められ、セラミック製の基板が多用されています。例えば、京セラの場合、ＤＲＡＭやフラッシュメモリやロジックデバイス等のウエハプローブカード用に、薄膜単層や薄膜多層のメタライズ付きセラミック多層基板を製造しています。一般的には、ＬＳＩと呼ばれる大型集積半導体回路の信号接続部分、いわゆるテストヘッドは、その端子にスプリングコネクタや高密度コネクタが用いられています。プローブカードはこのテストヘッドと検査対象のウエハとの間の仲介役としての役割も持ち、高度な接続信頼性と電気検査性能機能を求められているため、その機構も材料も繊細であり、セラミックなどの材料が使用されています。しかし、耐久性には限界があり、定期的な交換が必要です。

参考文献

https://www.mjc.co.jp/technology/column/probe_card.html#:~:text=%E3%83%97%E3%83%AD%E3%83%BC%E3%83%96%E3%82%AB%E3%83%BC%E3%83%89%E3%81%A8%E3%81%AF%E3%80%81LSI,%E3%81%AA%E5%BD%B9%E5%89%B2%E3%82%92%E6%8C%81%E3%81%A1%E3%81%BE%E3%81%99%E3%80%82
https://www.toyo-denshi.co.jp/service/wafer/whats.html
https://www.seiken.co.jp/semiconductor/probecard.html
https://news.mynavi.jp/article/20200603-1047480/
https://www.mjc.co.jp/technology/column/probe_card.html

Metoreeでは各社カタログを無料で一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。

プローブカードのカタログ一覧はこちら

企業

FormFactor Inc.

プローブカードのメーカー20社一覧

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

企業の並び替え

標準
従業員数順
資本金の大きい順
設立年古い順
設立年新しい順
上場企業順

- - 株式会社ミコジック
    メーカー
    プローブポジショナ一覧
  - 会社サイト創業: 2003年会社詳細
  - 住所: 大阪府高槻市古曽部町3-12-23
- - 株式会社イーエスエス
    メーカー
    プローバ一覧
  - 会社サイト創業: 2001年従業員数: 58人会社詳細
  - 住所: 東京都文京区湯島2-10-10 ESSビル
- - 東邦電子株式会社
    メーカー
    プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 1963年従業員数: 183人資本金: 48,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県相模原市緑区西橋本2-4-3
- - 日本電子材料株式会社
    メーカー
    プローブカード一覧
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1960年従業員数: 1,015人資本金: 1,721,000,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県尼崎市西長洲町2丁目5番13号
- - 富士通インターコネクトテクノロジーズ株式会社
    メーカー
    プローブカード基板一覧
  - 会社サイト創業: 2002年従業員数: 770人会社詳細
  - 住所: 長野県長野市大字北尾張部36
- - 株式会社精研
    メーカー商社・代理店
    プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 1984年従業員数: 311人会社詳細
  - 住所: 東京都大田区南蒲田 2-16-2 テクノポート大樹生命ビル10階
- - 株式会社日本マイクロニクス
    メーカー商社・代理店
    ウェーハプローバ、プローブカード一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1970年従業員数: 1,456人資本金: 2,147,483,647円会社詳細
  - 住所: 東京都武蔵野市吉祥寺本町2-6-8
- - イノテック株式会社
    メーカー商社・代理店
    テスター/プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 1987年従業員数: 1,428人会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜3-17-6
- - 理化電子株式会社
    プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 1961年従業員数: 112人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区三田1-4-28 13F
- - 株式会社テクノプローブ
    DCプローブ
  - 会社サイト創業: 1991年従業員数: 25人会社詳細
  - 住所: 千葉県鎌ケ谷市東鎌ケ谷2丁目1-11
- - 株式会社ティアテック
    プローバ、プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 2000年従業員数: 4人会社詳細
  - 住所: 東京都江東区永代 2-16-1 ティアテックビル
- - 株式会社アポロウエーブ
    プローバー一覧
  - 会社サイト創業: 2000年従業員数: 8人資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市淀川区西中島6-7-8大昭ﾋﾞﾙ4F
- - 太洋工業株式会社
    ブローパー一覧
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1960年従業員数: 222人資本金: 87,272,100円会社詳細
  - 住所: 和歌山県和歌山市有本661番地
- - ワイエイシイガーター株式会社
    NPB-200
  - 会社サイト創業: 1944年従業員数: 122人会社詳細
  - 住所: 東京都青梅市今井3-5-13
- - ミクナスファインエンジニアリング株式会社
    WS-51
  - 会社サイト創業: 1949年従業員数: 294人会社詳細
  - 住所: 長野県岡谷市田中町2-8-13
- - ベクターセミコン株式会社
    プローバー一覧
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 10人会社詳細
  - 住所: 東京都荒川区西日暮里2-43-2
- - イーエスジェー・プローブテクノロジー・ジャパン株式会社
    プローブカード、プロ-バー一覧
  - 会社サイト創業: 2000年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市大正区泉尾6-2-29 テクノシーズ泉尾302
- - ATEサービス株式会社
    aシリーズ
  - 会社サイト創業: 1983年従業員数: 30人会社詳細
  - 住所: 東京都町田市南町田5丁目6番23
- - FormFactor Inc.
    プローブカード一覧
  - 会社サイト創業: 1993年会社詳細
  - 本社: アメリカ
- - ハイソル株式会社
    商社・代理店
    プローバー一覧
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 25人会社詳細
  - 住所: 東京都台東区上野1-17-6

プローブカードのメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2022年7月の注目ランキングベスト10

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	日本電子材料株式会社	15.3%
2	東邦電子株式会社	13.4%
3	株式会社日本マイクロニクス	8.2%
4	株式会社テクノプローブ	7.7%
5	富士通インターコネクトテクノロジーズ株式会社	6.5%
6	FormFactor Inc.	6.3%
7	イノテック株式会社	5.4%
8	株式会社精研	4.8%
9	株式会社ティアテック	4.5%
10	イーエスジェー・プローブテクノロジー・ジャパン株式会社	4%

注目ランキング導出方法について

注目ランキングは、2022年7月のプローブカードページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。

社員数の規模

日本マイクロニクス: 1,456人
イノテック: 1,428人
日本電子材料: 1,015人

設立年の新しい会社

ミコジック: 2003年
富士通インターコネクトテクノロジーズ: 2002年
イーエスエス: 2001年

歴史のある会社

ワイエイシイガーター: 1944年
ミクナスファインエンジニアリング: 1949年
日本電子材料: 1960年

プローブカードのカタログ一覧(3件)

Metoreeに登録されているプローブカードが含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。

すべてを選択

FormFactor Inc.のカタログ

Advanced Wafer Probe cards

プローブカード

cascade probe systems

プローブカード

SourceOne

プローブカード

プローブカード2選

株式会社精研
大電流プローブカード

画像出典: 株式会社精研公式サイト

特徴

大電流プローブカードは、IGBTなどの車載デバイス向けの大電流測定が可能で、エミッタ電極に数百アンペアまで対応しています。

プローブの先端にカーボンナノチューブ（CNT)技術を採用しているので、大きな許容電流を有しており、プローブの耐久性が著しく向上させることで大電流測定を実現しています。

また、カード本体に金属を採用することでプローブに流れる電流を分散させ負荷の減少を実現し、プローブカードの高さを従来の半分以下に抑えることでAC特性の大幅な向上を実現しています。

株式会社精研の会社概要

会社所在地: 東京都大田区南蒲田 2-16-2 テクノポート大樹生命ビル10階
会社サイト
創業: 1984年
従業員数: 311人

製品を見る

イノテック株式会社
パラメトリックテスト用プローブカード(Virgo)

画像出典: イノテック株式会社公式サイト

特徴

Virgo-Proシリーズはセラミック基板を採用することで、高温での安定したテストを行うことができるプローブカードです。

-40～300度の幅広い温度似対応しており、過酷な環境でも安定した試験を行うことができます。

小さいサイズのパッドや狭いピッチにも対応しており、近年の小型化された装置にも組み込むことができます。

低リーク、低ノイズを実現し、微小電流測定に最適なプローブソリューションに対応しています。