ノッチやベベルの欠陥を自動で検出 X線トポグラフィ―装置 JV SENSUS ブルカージャパン株式会社
ブルカージャパン株式会社の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
16.3時間
この製品について
■ノッチやベベルの欠陥を自動で検出 X線トポグラフィ―装置
Bruker JV Sensusはファブ用X線トポグラフィー装置です。近年のシリコン基板に対する深堀トレンチ応力をかけるプロセスが増えたことにより、プロセス中に生じる目に見えないクラックを測定するニーズは非常に高まっています。特にノッチやベベル等のウエハ内の不均質な部分には欠陥が生じやすく本装置が提供するゼロ・エッジ・エクスクルージョンの測定により分析が可能となります。 X線を用いるため金属パターンがある場合でも透過して測定が可能です。高速オプション (600f) を用いると24 WPHの高いスループットが達成可能です。-
シリーズ
ノッチやベベルの欠陥を自動で検出 X線トポグラフィ―装置 JV SENSUS
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取扱企業
ブルカージャパン株式会社
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ノッチやベベルの欠陥を自動で検出 X線トポグラフィ―装置 JV SENSUS 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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SENSUS CS |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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