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マスフローメーターについての概要、用途、原理などをご説明します。また、マスフローメーターのメーカー23社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。マスフローメーター関連企業の2024年11月注目ランキングは1位:ブロンコスト・ジャパン株式会社、2位:東京計装株式会社、3位:株式会社リガルジョイントとなっています。
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マスフローメーターとは、センサーなどによって機器内部の気体・液体の質量流量を直接測定する機器を指します。質量流量計ともいいます。用途として、ガス分析機器や、ガス検知管、電子・光学部品の製造などが挙げられます。マスフローメータ−に用いられる主な方式には、熱式とコリオリ式があります。なお、マスフローメーターから得た信号によって、流量を制御する機能を持った機器のことをマスフローコントローラと呼びます。
マスフローメーターは分析や製造といったあらゆる現場で用いられています。質量流量は温度圧力による影響をある程度は受けないため、反復の性能が良く、システムを制御することができます。例えば、分析機器の場合、ガス分析計にマスフローメーターが用いられています。機器の平衡器系統へのガス導入を制御するためなどに用いられます。ものづくりの現場では、半導体や、ディスプレイ、燃料電池など幅広い分野においてマウスフローメーターが活躍しています。また工場での省エネルギーを目的とした消費量の管理や、病院内で使用するガスの使用量管理などにも用いられています。
マスフローメータ−に用いられる主な方式(熱式・コリオリ式)について説明します。
流体が流れるチューブの一部に、一定量の熱を当てるヒーターが巻かれています。流体によってヒーターの熱が奪われます。このチューブ上の流入口・流出口におけるそれぞれ温度の差が、流体の質量流量と比例することから、流量を求めています。熱式は主に、微小流量計測用に用いられます。短所は汚れに弱いことと、流体そのものの温度変化による誤差が生じることです。
コリオリ式は、コリオリの力を原理として用いています。コリオリ式流量計には、流路であるチューブとチューブを振動させる機器から構成されます。チューブに流体が流れると、振動に加えてねじれが生じます。このねじれを、センサーにおいて位相差として検知することで流量を測定します。チューブの形は商品によって異なります。高精度で、機器によっては、高粘度の液体も測定できるといった長所があるものの、価格が高価・振動による影響を受けやすいといった短所もあります。
参考文献
https://www.oval.co.jp/techinfo/keisoku/coriolis.html
https://www.jemima.or.jp/tech/1-01-02-10.html
https://www.jemima.or.jp/tech/1-01-02-11.html
https://www.keyence.co.jp/ss/products/process/flowmeter/type/thermal.jsp
https://www.keyence.co.jp/ss/products/process/flowmeter/type/coriolis.jsp
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年11月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
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1 | ブロンコスト・ジャパン株式会社 |
9.3%
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2 | 東京計装株式会社 |
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3 | 株式会社リガルジョイント |
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4 | アズビル株式会社 |
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5 | 日本フローコントロール株式会社 |
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6 | ビュルケルトジャパン株式会社 |
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7 | アズビル金門株式会社 |
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8 | 八洲貿易株式会社 |
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9 | 日立オートモティブシステムズ&ナガノ株式会社 |
4.7%
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10 | 株式会社IBS |
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高精度・コンパクト設計 ■アプリケーション 塗料・液体N2・LNG等
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マスフローコントローラ/メータ用瞬時流量表示器
コフロック株式会社
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株式会社YTK
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■MODEL 3810S SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 10SCCM~50SLM ・精度 ±3~5%F.S.
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■MODEL 3810DSⅡ SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 10SCCM~100SLM ・精度±2~3%F.S. ・表示器一体型で各種機能使用可...
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■MODEL 3760 SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 10SCCM~100SLM ・精度 ±1~1.5%F.S. ・幅広い流量レンジに対応 (N2換...
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■MODEL 3100 SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 1SCCM~20SLM ・精度 ±1%F.S. ・微少流量に対応 (N2換算でF.S.1SCCMから)
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■MODEL EX-700R SERIES ・対象流体 気体 N2 (Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4/C.F.切替) ・最大流量 気体 10SCCM~500SLM ・精度 ±1~1.5%F.S. ・表示器一体...
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■対象流体 気体:N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体:1SCCM~20SLM ■精度 ±1%F.S. 微少流量に対応 (N₂換算でF.S.1SCCMから)
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■対象流体 気体:N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体:10SCCM~100SLM ■精度 ±1~1.5%F.S. 幅広い流量レンジに対応 (N₂換算でF.S.10SCCMからF...
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■対象流体 気体:N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体:10SCCM~100SLM ■精度 ・±1~1.5%F.S. ・幅広い流量レンジに対応 (N₂換算でF.S.10SCCMか...
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医療技術や産業オートメーション分野のガスフローソリューションをデザインしてきた長い歴史により、当社はお客様の 新製品の開発を支える理想のパートナーで...
2023年5月24日
コフロック株式会社が取り扱う『流体計測制御機器』の総合カタログです。各種流体計測機器の原理や選定の手引きも掲載しており、製品の選定にお役立てくださ...
2024年3月8日
■対象流体:気体 N₂(Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂、CH₄/C.F.切替)■最大流量:気体 10SCCM~500SLM■精度:±1~1.5%F.S.■表示器一体型で各種機能使用可能(瞬時/...
2024年3月14日
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2024年3月14日
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2024年3月14日
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2024年3月14日
■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等■最大流量:気体 10SCCM~100SLM■精度:±2~3%F.S.■表示器一体型で各種機能使用可能 瞬時/積算流量表示、...
2024年3月14日
■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等■最大流量:10SCCM~50SLM■精度:±3~5%F.S.
2024年3月14日
■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等■最大流量:気体 10SCCM~20SLM■精度:±1%F.S.■メタルシール
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■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等■最大流量:気体 10SCCM~100SLM■精度:±1~1.5%F.S.■幅広い流量レンジに対応(N₂換算でF.S.10SCCMからF.S....
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2024年3月14日
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2024年3月14日
■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等■最大流量:気体 10SCCM~5SLM■精度:±1%S.P.(25~100%F.S.) ±0.25%F.S.(~25%F.S.)■メタルシール■...
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■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等■最大流量:気体 100~1000SLM■精度:±1%F.S.■大流量に対応(N₂換算でF.S.1000SLMまで)
2024年3月14日
■マスフローメータ用電源■1台で2系統の電源供給が可能
2024年3月14日
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2024年3月14日