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マスフローメーターのメーカー23社一覧や企業ランキングを掲載中！マスフローメーター関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:東京計装株式会社、2位:株式会社IBS、3位:アズビル株式会社となっています。 マスフローメーターの概要、用途、原理もチェック！
マスフローメーターとは、センサーなどによって機器内部の気体・液体の質量流量を直接測定する機器を指します。質量流量計ともいいます。用途として、ガス分析機器や、ガス検知管、電子・光学部品の製造などが挙げられます。マスフローメータ−に用いられる主な方式には、熱式とコリオリ式があります。なお、マスフローメーターから得た信号によって、流量を制御する機能を持った機器のことをマスフローコントローラと呼びます。
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2025年8月の注目ランキングベスト9
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 東京計装株式会社 |
23.5%
|
| 2 | 株式会社IBS |
17.6%
|
| 3 | アズビル株式会社 |
17.6%
|
| 4 | エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 |
11.8%
|
| 5 | ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメント |
5.9%
|
| 6 | 日本フローコントロール株式会社 |
5.9%
|
| 7 | 日本スターテクノ株式会社 |
5.9%
|
| 8 | 八洲貿易株式会社 |
5.9%
|
| 9 | 大倉電気株式会社 |
5.9%
|
項目別
使用用途
#流量制御
#半導体製造
#化学反応管理
#ガス供給管理
測定原理
コリオリ式
熱式
流体種類対応
気体用
出力信号形式
アナログ出力型
デジタル出力型
流量範囲 kg/h
1 - 10
10 - 20
20 - 50
50 - 100
100 - 250
250 - 1,000
1,000 - 2,500
2,500 - 5,000
精度 %
0 - 0.1
0.1 - 0.2
0.25 - 0.35
0.35 - 1
1 - 1.5
使用圧力範囲 MPa
30 - 45
45 - 110
応答速度 ms
2 - 10
10 - 2,000
最高使用圧力 MPa
0 - 100
100 - 300
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マスフローメーターとは、センサーなどによって機器内部の気体・液体の質量流量を直接測定する機器を指します。質量流量計ともいいます。用途として、ガス分析機器や、ガス検知管、電子・光学部品の製造などが挙げられます。マスフローメータ−に用いられる主な方式には、熱式とコリオリ式があります。なお、マスフローメーターから得た信号によって、流量を制御する機能を持った機器のことをマスフローコントローラと呼びます。
マスフローメーターは分析や製造といったあらゆる現場で用いられています。質量流量は温度圧力による影響をある程度は受けないため、反復の性能が良く、システムを制御することができます。例えば、分析機器の場合、ガス分析計にマスフローメーターが用いられています。機器の平衡器系統へのガス導入を制御するためなどに用いられます。ものづくりの現場では、半導体や、ディスプレイ、燃料電池など幅広い分野においてマウスフローメーターが活躍しています。また工場での省エネルギーを目的とした消費量の管理や、病院内で使用するガスの使用量管理などにも用いられています。
マスフローメータ−に用いられる主な方式（熱式・コリオリ式）について説明します。
流体が流れるチューブの一部に、一定量の熱を当てるヒーターが巻かれています。流体によってヒーターの熱が奪われます。このチューブ上の流入口・流出口におけるそれぞれ温度の差が、流体の質量流量と比例することから、流量を求めています。熱式は主に、微小流量計測用に用いられます。短所は汚れに弱いことと、流体そのものの温度変化による誤差が生じることです。
コリオリ式は、コリオリの力を原理として用いています。コリオリ式流量計には、流路であるチューブとチューブを振動させる機器から構成されます。チューブに流体が流れると、振動に加えてねじれが生じます。このねじれを、センサーにおいて位相差として検知することで流量を測定します。チューブの形は商品によって異なります。高精度で、機器によっては、高粘度の液体も測定できるといった長所があるものの、価格が高価・振動による影響を受けやすいといった短所もあります。
参考文献
https://www.oval.co.jp/techinfo/keisoku/coriolis.html
https://www.jemima.or.jp/tech/1-01-02-10.html
https://www.jemima.or.jp/tech/1-01-02-11.html
https://www.keyence.co.jp/ss/products/process/flowmeter/type/thermal.jsp
https://www.keyence.co.jp/ss/products/process/flowmeter/type/coriolis.jsp
