【2021年版】熱式流量計メーカー8社一覧

熱式流量計のメーカー8社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。

熱式流量計とは？
熱式流量計のメーカー8社一覧

熱式流量計とは

熱式流量計は、流体の流れる量を測定する流量計の一種で、特に気体の流量測定に適した装置です。

熱式流量計には動作原理によっていくつか種類がありますが、基本的に、流体が発熱体に接触すると物体から熱を奪って温度が上昇することを利用して、流量を測定するものです。

流量計には、流体の体積を測定するものと質量を測定するものがあります。流量計全体としては体積流量を測定するものが大半ですが、熱式流量計は質量流量を測定します。気体は温度や圧力の影響で体積が変わるため、体積流量を測定するタイプの流量計は測定値を補正しなくてはなりません。しかし、熱式流量計はそのような補正の必要がなく、測定の精度が高いという特徴があります。

熱式流量計の使用用途

熱式流量計の測定対象は気体です。液体の流量を測定する製品もありますが、測定できるのはごく少量の流量に限られます。汚れに弱いという短所があり、気体の中でも純粋な気体の測定に向いています。

純粋な気体の測定向きであることと、測定精度が高いことから、熱式流量計は半導体製造工場のガスライン制御などに利用されます。他にも、医療用の麻酔ガスの流量計測、清涼飲料水の製造・冷却に使用する炭酸ガスの流量計測、窒素や酸素など純粋な気体製造ラインなど、多様な分野に応用されています。

熱式流量計の原理

熱式流量計は、気体を流す細い金属管、気体を直接または間接的に加熱するヒーター、ヒーターの上流側と下流側に対象的に設置された温度計で構成されます。

気体が流れていないとき、ヒーターが設置されている中央部の気体温度が最も高く、ヒーターから離れるほど温度は下がります。ヒーターから同距離にある２つの温度計は等しい値を示します。気体が流れると、新たな気体が流れ込む上流の温度は下がり、ヒーターで温められた気体が流れてくる下流の温度は上がります。このとき、上流と下流の温度差が質量流量と加熱エネルギーに比例するという特徴を利用して、流量を求めます。

流量の求め方には２つの方式があります。一つは、ヒーターの出力を一定にして上流と下流の温度差から質量流量を算出する温度差測定法で、少量の流量計によく見られます。もう一つは、上流と下流の温度差が常に一定になるようにヒーターの出力を調整し、その消費電力から気体の質量流量を算出する消費電力測定法です。

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