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マスフローメーターのメーカー24社一覧や企業ランキングを掲載中！マスフローメーター関連企業の2025年12月注目ランキングは1位:株式会社テクネ計測、2位:株式会社IBS、3位:東京計装株式会社です。
マスフローメーターとは、センサーなどによって機器内部の気体・液体の質量流量を直接測定する機器を指します。質量流量計ともいいます。用途として、ガス分析機器や、ガス検知管、電子・光学部品の製造などが挙げられます。マスフローメータ−に用いられる主な方式には、熱式とコリオリ式があります。なお、マスフローメーターから得た信号によって、流量を制御する機能を持った機器のことをマスフローコントローラと呼びます。
関連キーワード
項目別
使用用途
#流量制御
#半導体製造
#医療機器
#化学反応管理
#水処理管理
#ガス供給管理
測定原理
コリオリ式
熱式
差圧式
流体種類対応
気体用
液体用
高粘度流体用
出力信号形式
アナログ出力型
デジタル出力型
流量範囲 kg/h
0 - 1
1 - 10
10 - 20
20 - 50
50 - 100
100 - 250
250 - 1,000
1,000 - 2,500
2,500 - 5,000
精度 %
0 - 0.1
0.1 - 0.2
0.2 - 0.25
0.25 - 0.35
0.35 - 1
1 - 1.5
1.5 - 3
3 - 5
使用圧力範囲 MPa
0 - 1
1 - 5
5 - 10
10 - 30
30 - 45
45 - 110
使用温度範囲 ℃
-50 - 0
0 - 60
60 - 80
80 - 200
200 - 205
応答速度 ms
2 - 10
10 - 2,000
フルスケール流量 slm
0 - 1
1 - 10
10 - 50
50 - 100
100 - 1,000
1,000 - 15,000
最高使用圧力 MPa
0 - 100
100 - 300
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日本テスコン株式会社
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