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スピンコータのメーカー23社一覧や企業ランキングを掲載中！スピンコータ関連企業の2025年4月注目ランキングは1位:フロントラインテクノロジー株式会社、2位:東京応化工業株式会社、3位:株式会社三明となっています。 スピンコータの概要、用途、原理もチェック！
スピンコータとは、塗料を基材表面に均一に塗布するための装置のことです。
基材の中心に塗料を滴下した後、加速度や回転数を制御しながら基材を回転させ、遠心力を利用して均一な厚みを有する薄膜を形成します。スピンコータは、平滑な基材にしか使用できない、大きな面積の塗布には不向きなどのデメリットがありますが、厚みの誤差が少なければ、さまざまな薄膜を形成することが可能です。
そのため、半導体やディスプレイの製造、光学メディアのコーティングなどに広く使用されています。スピンコータは、高い精度を必要とする産業分野において欠かせない装置の1つであり、素材科学や表面加工技術の分野でも重要な役割を担っています。
2025年4月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | フロントラインテクノロジー株式会社 |
31.6%
|
| 2 | 東京応化工業株式会社 |
9.6%
|
| 3 | 株式会社三明 |
9.6%
|
| 4 | ミクロ技研株式会社 |
8.8%
|
| 5 | 株式会社アクティブ |
5.3%
|
| 6 | 株式会社日本ラスパート |
5.3%
|
| 7 | ミカサ株式会社 |
4.4%
|
| 8 | 株式会社プレシード |
3.5%
|
| 9 | ハイソル株式会社 |
3.5%
|
| 10 | 株式会社アイデン |
3.5%
|
28 点の製品がみつかりました
28 点の製品
株式会社アイデン
250人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
■簡易型スピンコータ SPIN COATER 型式：SC4002 ・簡単設定、小型、2段回転速度MAX4000RPM。 ・二重構造になっているため、内皿は取り出...
ハイソル株式会社
330人以上が見ています
最新の閲覧: 46分前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
26.7時間 返答時間
主力製品である精密スピンコーターは、全世界で広く取り扱われており、大学を中心とした様々な分野の研究機関に対して約6000台以上の納...
株式会社三明
210人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
78.2時間 返答時間
■特徴 ・ローコスト・コンパクト ・研究、試作開発、小ロット生産用 ・耐薬品,清掃性に優れたオールステンレス製外装
株式会社協同インターナショナル
190人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
28.5時間 返答時間
■樹脂製のスピンコーターだから… ・使い易い＝汚れても簡単に洗浄できます。 ・多目的に使える＝エッチング、現像、スピンドライなど。 ...
株式会社日本ラスパート
30人以上が見ています
■ディップスピンコーターの販売・施工において、35年以上の豊富な実績があります。 日々、自社工場でディップスピン塗装をすることで培...
大木理工機材株式会社
260人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
15.1時間 返答時間
■概要 コンパクトボディーに機能を凝縮、簡単に膜厚作業が可能。一人に1台のワンサイズ、ハイパフォーマンスモデルです。 ■特徴 ・優れ...
株式会社アイデン
360人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■簡易型スピンコータ SPIN COATER 型式：SC8002 ・簡単設定、小型、2段回転速度MAX8000RPM。 ・二重構造になっているため、内皿は取り出...
株式会社ピクリング
280人以上が見ています
100.0% 返答率
67.8時間 返答時間
■特徴 ・2インチ～6インチウェハ用レジスト塗布 ・膜厚0.8μm～1μm (参考値) ・スピン回転数50rpm～6,000rpm (任意設定) ・回転式ベー...
ハイソル株式会社
250人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
26.7時間 返答時間
主力製品である精密スピンコーターは、全世界で広く取り扱われており、大学を中心とした様々な分野の研究機関に対して約6000台以上の納...
株式会社協同インターナショナル
220人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
28.5時間 返答時間
多目的スピンコーターPOLOSの最大の特徴は全てが樹脂で出来ている事にあります。 その為、レジストコート以外にエッチングなど、アルカ...
株式会社日本ラスパート
20人以上が見ています
■ディップスピンコーターの販売・施工において、35年以上の豊富な実績があります。 日々、自社工場でディップスピン塗装をすることで培...
武蔵エンジニアリング株式会社
180人以上が見ています
返信のとても早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
3.3時間 返答時間
■円周塗布をワンタッチ実行 ワークの回転角度を指定しながら、回転しながら、螺旋上に塗布。ノズルを回すタイプとワークを回すタイプが...
タツモ株式会社
240人以上が見ています
最新の閲覧: 15時間前
CSX2000シリーズは、装置構成に柔軟性と拡張性を持たせ、研究開発向けから量産ラインまで幅広い対応を実現したコータ/デベロ ッパです。...
株式会社仲田コーティング
230人以上が見ています
■25年のFAコート生産から生まれた高い性能と信頼性。要求するコーティングに合わせた設計 仲田コーティングが生産する塗装設備は、25年...
武蔵エンジニアリング株式会社
180人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
3.3時間 返答時間
■円周塗布をワンタッチ実行 ワークの回転角度を指定しながら、回転しながら、螺旋上に塗布。ノズルを回すタイプとワークを回すタイプが...
NCC株式会社
270人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
19.3時間 返答時間
■概要 大量の小物部品を一気に塗装、特殊な仕組みで均一な塗膜に仕上がります。モータを動力として回転カゴを回転させることで製品がカ...
株式会社三明
270人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
78.2時間 返答時間
■立体・曲面構造物への塗布 微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、キャビティ、トレンチ構造部分など、...
株式会社マテハン三重
10人以上が見ています
■製品概要 手動で回転させながら塗装を行うための装置です。塗装対象物を回転させることで、塗料を均一に塗布しやすくし、作業効率を高...
株式会社ファイコーポレーション
340人以上が見ています
最新の閲覧: 18時間前
■特徴 ・塗着効率が約2倍に ・着面の仕上りが向上 ・少量多品種にも細かく対応 ・操作性向上
2種類の品番
株式会社仲田コーティング
210人以上が見ています
最新の閲覧: 23時間前
■25年のFAコート生産から生まれた高い性能と信頼性。要求するコーティングに合わせた設計 仲田コーティングが生産する塗装設備は、25年...
株式会社ファイコーポレーション
420人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
■特徴 ・装置概要 本装置は、X・Y・Z・θ軸を有する移動可能な ハンガーアームに、ワークを垂直状態でクランプし、 ワーク表裏の位置関係...
ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
10人以上が見ています
■特徴 多様な基板へのコーティングをスプレー方式で簡単に実現できます。少ない材料で簡単にスプレーコーティングサンプルが製作できま...
スピンコータとは、塗料を基材表面に均一に塗布するための装置のことです。
基材の中心に塗料を滴下した後、加速度や回転数を制御しながら基材を回転させ、遠心力を利用して均一な厚みを有する薄膜を形成します。スピンコータは、平滑な基材にしか使用できない、大きな面積の塗布には不向きなどのデメリットがありますが、厚みの誤差が少なければ、さまざまな薄膜を形成することが可能です。
そのため、半導体やディスプレイの製造、光学メディアのコーティングなどに広く使用されています。スピンコータは、高い精度を必要とする産業分野において欠かせない装置の1つであり、素材科学や表面加工技術の分野でも重要な役割を担っています。
スピンコータの主な使用用途は、平滑な基材の上に均一な厚みの薄膜を作製することです。
特に、スピンコータはフォトリソグラフィ分野で重要な役割を果たしています。フォトリソグラフィとは、シリコン基板などの基材上に感光剤を塗布し、紫外線などの強い光を照射することで、基材表面に微細パターンを作成する技術です。半導体やディスプレイの製造において欠かせません。
さらに、スピンコータは光学メディアの分野でも活躍しています。DVDやBlue-ray Discといった光学メディアの表面にコーティングを施す際に、均一な膜厚を確保するために利用され、レンズの調光液の塗布など、光学分野におけるさまざまな用途でスピンコータが重宝されています。
スピンコータは、遠心力を利用して基材の表面に均一な薄膜を作製しています。別名スピナーとも呼ばれ、平らな基材に薄膜を塗布する際に適した方法であり、膜厚のムラが少ないことが特徴です。
スピンコータの使用方法は、まず基材を装置にセットし、その中心付近に塗料を滴下させます。次に、基材を回転させて塗料に遠心力をかけ、塗料が基材表面に拡散塗布されるように調節します。回転速度や加速度は装置で設定できるため、塗料の液性や膜厚等を考慮して決定することが必要です。回転が終了した後、基材を取り外し、加熱や紫外線硬化を行って塗料を乾燥させます。
スピンコータによる薄膜化のメリットは、塗料の液性や回転数などを細かく設定することで様々な厚みの薄膜を形成できることや、使用する塗料の量を節約できることです。ただし、コーティング時に塗料ロスが生じることや、塗布が小さい面積に限られることがデメリットとして挙げられます。
それでもスピンコータは、高い精度の薄膜形成に役立つため、多くの産業で重要な装置として活用しています。
スピンコーター化合物から薄膜生成する際に使用されますが、手順は下記の通りです。
同じ薄膜作成に真空蒸着装置がありますが、真空状態ではポリマーなどは分解する可能性があるため、このような場合スピンコーターが適しています。
均一な薄膜生成をするスピンコータですが、塗布ムラが発生して、目に見えない凸凹ができる場合はあります。塗布ムラのできる条件として以下のようなことが挙げられます。
基本的にスピンコータは回転速度が遅いほど膜は厚くなり、不均一なものになりやすいです。一番簡単な解決方法は回転数を上げて、回転時間を長くすることです。時間をかけられる場合は、回転時間は固定し各回転数で薄膜を測定し、その膜厚を測定します。その中でベストな回転数と時間を定めます。
化合物溶液の粘度が高いと飛びづらくなるので、不均一な膜になりやすいです。対処方法としては、溶液濃度を薄めて粘度を小さくすることです。
基板の角部分が不均一になる場合の解消方法は、密閉式かつ自動滴下機能つきのスピンコータを使用するのが良いです。自動滴下機能は、回転中の基板に自動で化合物溶液を滴下します。滴下と同時に溶液が基板にすぐ広がるため、角部分の盛り上がりを抑制し、均一な薄膜生成が可能となります。
参考文献
https://www.iri-tokyo.jp/uploaded/attachment/2407.pdf
https://www.spincoater.biz/spincoater/
https://www.keyence.co.jp/ss/products/measure/sealing/coater-type/spin.jsp
http://www.aiden.com/03_productinfo.files/spincoater4001.htm
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/63/6/63_336/_pdf
