概要メーカー15社一覧カタログ13件

【2023年版】スピンコータメーカー15社一覧

スピンコータについての概要、用途、原理などをご説明します。また、スピンコータのメーカー15社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。スピンコータ関連企業の2023年1月注目ランキングは1位:フロントラインテクノロジー株式会社、2位:ミカサ株式会社、3位:株式会社共和理研となっています。

スピンコータとは？
スピンコータのメーカー15社一覧
スピンコータのカタログ13件一覧

スピンコータとは

スピンコータとは、基材表面に塗料を塗布するための装置です。

基材の中心に塗料を滴下した後、加速度や回転数を制御しながら基材を回転することで、遠心力を利用して均一な厚みを有する膜をつくることができます。

平滑な基材にしか使用できない、大きな面積の塗布には不向きであるなどのデメリットはありますが、厚みの誤差が少ない様々な薄膜を形成することができます。半導体やディスプレイの製造、光学メディアのコーティングなどに使用される装置です。

スピンコータの使用用途

スピンコータを使用すると、平滑な基材の上に均一な厚みの薄膜を作製することができます。

スピンコータは、フォトリソグラフィ分野で使用されます。フォトリソグラフィとは、シリコン基板などの基材上に感光剤を塗布した後、紫外線などの強い光を照射することにより、基材表面に微細パターンをつくる技術です。半導体やディスプレイの製造には欠かせない技術です。

また、DVDやBlue-ray Discなどの光学メディア表面のコーティング、レンズの調光液の塗布などで幅広く利用されています。

スピンコータの原理

スピンコータとは、回転による遠心力を利用して、基材の表面をコーティングする塗布装置です。別名スピナーとも呼ばれます。平らな基材に薄膜を作製する際に適した塗布方法で、膜厚のムラが少ないのが特徴です。

まず、スピンコータに基材をセットした後、基材の中心付近に塗料を滴下します。次に、基材を回転させて塗料に遠心力をかけ、塗料が基材表面に拡散塗布されるように調節します。回転速度や加速度は装置で適宜設定することができるので、塗料の液性や膜厚等を考慮して決定する必要があります。回転終了後は、基材をスピンコータから外し、加熱や紫外線硬化により塗料を乾燥させます。これらの一連の操作により、基材に均一な薄膜を作製することができます。

スピンコータによる薄膜化のメリットは、塗料の液性や回転数などを細かく設定することで様々な厚みの薄膜を形成することができること、使用する塗料の量を少なくできることなどがあります。一方で、デメリットは、コーティングの際に塗料ロスが生じてしまうこと、塗布が小さい面積に限られることなどが挙げられます。

スピンコーターの使い方

スピンコーター化合物から薄膜生成する際に使用されますが、手順は下記の通りです。

スピンコーターの中央にある回転体にガラスや金属の基板をセットします。真空引きをすることで基板を回転体 (台座) に固定することができます。真空状態にするのが好ましくない場合は両面テープなどを使用しますが、高粘着性のものを使用するようにします。
基板上にポリマーなどの化合物溶液を注ぎます。なるべく基板全体が覆われるように均一に注ぎます。
回転数と回転時間を設定してスタートボタンを押します。時間になると回転が停止し、基板上に均一な薄膜が形成されています。

同じ薄膜作成に真空蒸着装置がありますが、真空状態ではポリマーなどは分解する可能性があるため、このような場合スピンコーターが適しています。

スピンコーターのその他情報

スピンコーターによる塗布ムラをなくす方法

均一な薄膜生成をするスピンコータですが、塗布ムラが発生して、目に見えない凸凹ができる場合はあります。塗布ムラのできる条件として以下のようなことが挙げられます。

回転速度が遅い (時間内の回転数が少ない)
化合物溶液の粘度が高い
基板の角部分に溶液の盛り上が見られる

基本的にスピンコータは回転速度が遅いほど膜は厚くなり、不均一なものになりやすいです。一番簡単な解決方法は回転数を上げて、回転時間を長くすることです。時間をかけられる場合は、回転時間は固定し各回転数で薄膜を測定し、その膜厚を測定します。その中でベストな回転数と時間を定めます。

化合物溶液の粘度が高いと飛びづらくなるので不均一な膜になりやすいです。対処方法としては溶液濃度を薄めて粘度を小さくすることです。

基板の角部分が不均一になる場合の解消方法は密閉式かつ自動滴下機能つきのスピンコータを使用するのが良いです。自動滴下機能は、回転中の基板に自動で化合物溶液を滴下します。滴下と同時に溶液が基板にすぐ広がるため、角部分の盛り上がりを抑制し、均一な薄膜生成が可能となります。

参考文献
https://www.iri-tokyo.jp/uploaded/attachment/2407.pdf
https://www.spincoater.biz/spincoater/
https://www.keyence.co.jp/ss/products/measure/sealing/coater-type/spin.jsp
http://www.aiden.com/03_productinfo.files/spincoater4001.htm
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/63/6/63_336/_pdf　熊谷俊弥

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スピンコータのカタログ一覧はこちら

企業

フロントラインテクノロジー株式会社株式会社アクティブ

スピンコータのメーカー15社一覧

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

企業の並び替え

標準
従業員数順
資本金の大きい順
設立年古い順
設立年新しい順
上場企業順

スピンコーター　安価タイプ注目製品
フロントラインテクノロジー株式会社

・前面パネルのタイマーとスイッチだけの簡単な操作方法
・SUS製のΦ200mmカップにて試料は最大でΦ4インチまで対応可能
・必要な機能のみを追求し可能な限りの低価格を実現

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- - フロントラインテクノロジー株式会社
    スピンコータ一覧
  - 会社サイト創業: 2011年会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市高津区千年80-2千年大藤ビル2F
- 特注可能試作受託有安心アフターケア
  
  今までに無い様な難しい案件なども真摯に対応いたします。また、実績に基づいた提案型の対応をモットーにしております。ユーザー様と一緒に日々成長を目指している企業です。
  
  製品をみる会社サイトをみる
- - 東京応化工業株式会社メーカー
    半導体製造分野一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1940年従業員数: 1,726人会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地
- - 株式会社共和理研
    スピンコーター一覧
  - 会社サイト創業: 1969年会社詳細
  - 住所: 東京都杉並区和泉3-37-3
- - 株式会社ジャステム
    スピンコータ SSC-01型
  - 会社サイト創業: 2005年従業員数: 15人会社詳細
  - 住所: 新潟県長岡市新陽1丁目15番地
- - 株式会社エース設備
    ディップスピンコーター DS 一覧
  - 会社サイト創業: 1977年従業員数: 21人資本金: 3,700,000円会社詳細
  - 住所: 三重県鈴鹿市安塚町1350-27
- - 株式会社エイブルジャパン
    スピンコータ一覧
  - 会社サイト創業: 2003年会社詳細
  - 住所: 埼玉県さいたま市大宮区上小町 615-3-102
- - 株式会社イーエッチシー
    小型液晶パネル組立装置／ウェットプロセス関連装置一覧
  - 会社サイト創業: 1972年従業員数: 11人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都八王子市高倉町66-3
- - 株式会社アクティブ
    スピンコーター
  - 会社サイト創業: 1998年従業員数: 7人資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県さいたま市見沼区深作3-33-9
- - 株式会社アイデン
    スピンコータ一覧
  - 会社サイト創業: 1973年従業員数: 280人資本金: 87,000,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県神戸市西区見津が丘２丁目２番３
- - 株式会社あすみ技研
    スピンコータ一覧
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都文京区本郷三丁目14-16 3F
- - リソテックジャパン株式会社
    LITHOTRACシリーズ
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 20人資本金: 40,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県川口市並木2-6-6
- - ミカサ株式会社
    スピンコーター（塗布機）　製品案内一覧
  - 会社サイト創業: 1921年従業員数: 20人会社詳細
  - 住所: 東京都港区芝公園2丁目8番1号
- - ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
    スピンコーター販売・レンタル　RENTAL一覧
  - 会社サイト創業: 2008年会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区西新宿7-4-7イマス浜田ビル5F
- - ジャパンクリエイト株式会社
    スピン洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1963年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県所沢市林1丁目203番地4
- - ハイソル株式会社商社・代理店
    超精密スピンコーター
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 25人会社詳細
  - 住所: 東京都台東区上野1-17-6

スピンコータのメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2023年1月の注目ランキングベスト10

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	フロントラインテクノロジー株式会社	19.8%
2	ミカサ株式会社	16%
3	株式会社共和理研	9.9%
4	リソテックジャパン株式会社	8.6%
5	株式会社アクティブ	7.4%
6	株式会社ジャステム	6.2%
7	東京応化工業株式会社	6.2%
8	ハイソル株式会社	6.2%
9	株式会社あすみ技研	4.9%
10	株式会社アイデン	3.7%