【2023年版】スピンコータ メーカー15社一覧
スピンコータについての概要、用途、原理などをご説明します。また、スピンコータのメーカー15社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。スピンコータ関連企業の2023年10月注目ランキングは1位:ハイソル株式会社、2位:フロントラインテクノロジー株式会社、3位:ミカサ株式会社となっています。
スピンコータとは
スピンコータとは、塗料を基材表面に均一に塗布するための装置のことです。
基材の中心に塗料を滴下した後、加速度や回転数を制御しながら基材を回転させ、遠心力を利用して均一な厚みを有する薄膜を形成します。スピンコータは、平滑な基材にしか使用できない、大きな面積の塗布には不向きなどのデメリットがありますが、厚みの誤差が少なければ、さまざまな薄膜を形成することが可能です。
そのため、半導体やディスプレイの製造、光学メディアのコーティングなどに広く使用されています。スピンコータは、高い精度を必要とする産業分野において欠かせない装置の1つであり、素材科学や表面加工技術の分野でも重要な役割を担っています。
スピンコータの使用用途
スピンコータの主な使用用途は、平滑な基材の上に均一な厚みの薄膜を作製することです。
特に、スピンコータはフォトリソグラフィ分野で重要な役割を果たしています。フォトリソグラフィとは、シリコン基板などの基材上に感光剤を塗布し、紫外線などの強い光を照射することで、基材表面に微細パターンを作成する技術です。半導体やディスプレイの製造において欠かせません。
さらに、スピンコータは光学メディアの分野でも活躍しています。DVDやBlue-ray Discといった光学メディアの表面にコーティングを施す際に、均一な膜厚を確保するために利用され、レンズの調光液の塗布など、光学分野におけるさまざまな用途でスピンコータが重宝されています。
スピンコータの原理
スピンコータは、遠心力を利用して基材の表面に均一な薄膜を作製しています。別名スピナーとも呼ばれ、平らな基材に薄膜を塗布する際に適した方法であり、膜厚のムラが少ないことが特徴です。
スピンコータの使用方法は、まず基材を装置にセットし、その中心付近に塗料を滴下させます。次に、基材を回転させて塗料に遠心力をかけ、塗料が基材表面に拡散塗布されるように調節します。回転速度や加速度は装置で設定できるため、塗料の液性や膜厚等を考慮して決定することが必要です。回転が終了した後、基材を取り外し、加熱や紫外線硬化を行って塗料を乾燥させます。
スピンコータによる薄膜化のメリットは、塗料の液性や回転数などを細かく設定することで様々な厚みの薄膜を形成できることや、使用する塗料の量を節約できることです。ただし、コーティング時に塗料ロスが生じることや、塗布が小さい面積に限られることがデメリットとして挙げられます。
それでもスピンコータは、高い精度の薄膜形成に役立つため、多くの産業で重要な装置として活用しています。
スピンコーターのその他情報
1. スピンコーターの使い方
スピンコーター化合物から薄膜生成する際に使用されますが、手順は下記の通りです。
- スピンコーターの中央にある回転体にガラスや金属の基板をセットします。真空引きをすることで、基板を回転体 (台座) に固定可能です。真空状態にするのが好ましくない場合は、両面テープなどを使用しますが、高粘着性のものが望ましいです。
- 基板上にポリマーなどの化合物溶液を注ぎます。なるべく基板全体が覆われるように均一に注ぎます。
- 回転数と回転時間を設定してスタートボタンを押します。時間になると回転が停止し、基板上に均一な薄膜が形成されています。
同じ薄膜作成に真空蒸着装置がありますが、真空状態ではポリマーなどは分解する可能性があるため、このような場合スピンコーターが適しています。
2. スピンコーターによる塗布ムラをなくす方法
均一な薄膜生成をするスピンコータですが、塗布ムラが発生して、目に見えない凸凹ができる場合はあります。塗布ムラのできる条件として以下のようなことが挙げられます。
- 回転速度が遅い (時間内の回転数が少ない)
- 化合物溶液の粘度が高い
- 基板の角部分に溶液の盛り上が見られる
基本的にスピンコータは回転速度が遅いほど膜は厚くなり、不均一なものになりやすいです。一番簡単な解決方法は回転数を上げて、回転時間を長くすることです。時間をかけられる場合は、回転時間は固定し各回転数で薄膜を測定し、その膜厚を測定します。その中でベストな回転数と時間を定めます。
化合物溶液の粘度が高いと飛びづらくなるので、不均一な膜になりやすいです。対処方法としては、溶液濃度を薄めて粘度を小さくすることです。
基板の角部分が不均一になる場合の解消方法は、密閉式かつ自動滴下機能つきのスピンコータを使用するのが良いです。自動滴下機能は、回転中の基板に自動で化合物溶液を滴下します。滴下と同時に溶液が基板にすぐ広がるため、角部分の盛り上がりを抑制し、均一な薄膜生成が可能となります。
参考文献
https://www.iri-tokyo.jp/uploaded/attachment/2407.pdf
https://www.spincoater.biz/spincoater/
https://www.keyence.co.jp/ss/products/measure/sealing/coater-type/spin.jsp
http://www.aiden.com/03_productinfo.files/spincoater4001.htm
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/63/6/63_336/_pdf
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企業
フロントラインテクノロジー株式会社 株式会社アクティブスピンコータのメーカー15社一覧
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
企業の並び替え
- 標準
- 従業員数順
- 資本金の大きい順
- 設立年古い順
- 設立年新しい順
- 上場企業順
スピンコータ 2023年10月のメーカーランキング
*一部商社などの取扱い企業なども含みます2023年10月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | ハイソル株式会社 |
19.6%
|
| 2 | フロントラインテクノロジー株式会社 |
16.5%
|
| 3 | ミカサ株式会社 |
8.2%
|
| 4 | 東京応化工業株式会社 |
7.0%
|
| 5 | 株式会社共和理研 |
7.0%
|
| 6 | 株式会社ジャステム |
5.7%
|
| 7 | 株式会社エイブルジャパン |
5.1%
|
| 8 | 株式会社アクティブ |
5.1%
|
| 9 | 株式会社あすみ技研 |
5.1%
|
| 10 | 株式会社アイデン |
4.4%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2023年10月のスピンコータページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
- 東京応化工業: 1,950人
- アイデン: 280人
- ジャパンクリエイト: 40人
設立年の新しい会社
- フロントラインテクノロジー: 2011年
- ブルーオーシャンテクノロジー: 2008年
- ジャステム: 2005年
歴史のある会社
- ミカサ: 1921年
- 東京応化工業: 1940年
- ジャパンクリエイト: 1963年
スピンコータのカタログ 13件
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フロントラインテクノロジー株式会社
スピンコータ
カタログ概要
＜安価タイプ＞ 研究や実験などワークサイズがφ4インチサイズまでで評価用途としてご利用になられるお客様向けです。 安価ではありますので、操作方法も手動...
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スピンコータ2022年4月28日
株式会社アクティブ
卓上型 手動滴下用 スピンコーター（スピンコート機）『ACT-220AII』（標準機） アクティブ製
カタログ概要
アクティブの人気機種『卓上型スピンコーターACT-220AII』はラインナップ中最も小型の標準機で、Φ4インチ基板対応の手動滴下用スピンコート機です。約18kgと...
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スピンコータ2022年10月6日
株式会社アクティブ
卓上型 手動滴下用 スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII』（標準機） アクティブ製
カタログ概要
アクティブの人気機種『卓上型スピンコーターACT-300AII』は丸基板でφ150mm、四角基板で110mmまで対応する汎用性の高い手動滴下用の標準機です。低価格ながら...
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スピンコータ2022年10月6日
株式会社アクティブ
卓上型 手動滴下用 スピンコーター（スピンコート機）『ACT-400AII』（標準機） アクティブ製
カタログ概要
アクティブの『卓上型スピンコーターACT-400AII』は□150mm、φ200mm基板まで対応するコストパフォーマンスのよい手動滴下用の標準機です。1分間の回転数を0～5...
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スピンコータ2022年10月6日
株式会社アクティブ
卓上型 手動滴下用 スピンコーター（スピンコート機）『ACT-450AII』（標準機） アクティブ製
カタログ概要
アクティブの『卓上型スピンコーターACT-450AII』は□180mm、φ250mm基板まで対応するコストパフォーマンスのよい手動滴下用の標準機です。1分間の回転数を0～5...
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スピンコータ2022年10月6日
株式会社アクティブ
卓上型 手動滴下用 スピンコーター（スピンコート機）『ACT-500AII』（標準機） アクティブ製
カタログ概要
アクティブの『卓上型スピンコーターACT-500AII』は□220mm、φ300mm基板まで対応するコストパフォーマンスのよい手動滴下用の標準機です。スピンコートの作業...
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スピンコータ2022年10月6日
株式会社アクティブ
自立型 手動滴下用 スピンコーター（スピンコート機）『ACT-600AII』 アクティブ製
カタログ概要
アクティブの『自立型スピンコーターACT-600AII』は□300mm、φ400mm基板まで対応する手動滴下用の装置です。キャスター付きで移動も楽な自立型で、使いやすい...
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スピンコータ2022年10月6日
株式会社アクティブ
自立型 手動滴下用 スピンコーター（スピンコート機）『ACT-700AII』 アクティブ製
カタログ概要
アクティブの『自立型スピンコーターACT-700AII』は□360mm、φ500mm基板まで対応する手動滴下用の装置です。キャスター付きで移動も楽な自立型で、使いやすい...
タグ付けカテゴリ
スピンコータ2022年10月6日
株式会社アクティブ
超高速回転スピンコーター（スピンコート機）『ACT-200SM-S』（卓上型 手動滴下用） アクティブ製
カタログ概要
『ACT-200SM-S』は、1,000～60,000rpm±1％以下（試料台Φ20実績値）の超高速回転が可能な卓上型スピンコーターです。薬液の揮発性が高くスピード重視、粘性が...
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スピンコータ2022年10月6日
株式会社アクティブ
高精度・高速回転スピンコーター（スピンコート機） ACT-300AII-HS（卓上型 手動滴下用） アクティブ製
カタログ概要
『ACT-300A II-HS』は、MAX12,000±2rpmの高精度・高速回転が可能な卓上スピンコーターです。粘性が高いスピンコート液や揮発しやすいスピンコート液で高速回...
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スピンコータ2022年10月6日
株式会社アクティブ
試料台加熱型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII-H』（卓上型 手動滴下用） アクティブ製
カタログ概要
最近お引き合いの多いアクティブの人気機種『ACT-300A II-H』は、アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵した加熱式の卓上型手動滴下用スピンコーターです。基...
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スピンコータ2022年10月6日
株式会社アクティブ
4軸同時駆動スピンコーター（スピンコート機）『ACT-220AII-4axis』（卓上型 手動滴下用） アクティブ製
カタログ概要
4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。2軸、3軸、4軸同時処理（起動）が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートで...
タグ付けカテゴリ
スピンコータ2022年10月6日
株式会社アクティブ
精密自動滴下スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AIIS』（卓上型） アクティブ製
カタログ概要
『ACT-300A IIS』は、マイクロシリンジポンプを搭載したマイクロリットルレベルの精密自動滴下が可能な卓上スピンコーターです。最大15系統の液の滴下が可能...
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スピンコータ2022年10月6日
