半導体製造

本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。コントロール・パネル上の操作のみでDP (ダイレクトプラズマ) モードとRIE (リアクティブイオンエッチング) モ...

4種類の品番

• 半導体製造

• 半導体製造装置

FPD業界で世界NO.1のシェアを持つSCREEN Finetechの現像機を含むWET装置を「Fan Out Panel Level Package」向けに展開。

4種類の品番

• 半導体製造

• 半導体製造装置

Model 200マスクアライナーはテーブルトップ装置で、R&Dや大学向けに適したリーズナブルでシンプルなシステムです。 ■マスクアライナー マスクアライナーと...

2種類の品番

• 半導体製造

• 露光装置

■概要 簡便にダイヤモンドの成膜ができるよう小型の熱フィラメントCVD装置を開発しました。チャンバーはアルミ合金製で作っており、強制空冷しております。従...

2種類の品番

• 半導体製造

• コーティング装置

■概要 本装置は、ダイヤモンド合成を本格的に行うためのホットフィラメント型CVD装置です。基本システムに加え各種オプションを選択することにより、幅広いニ...

2種類の品番

• 半導体製造

• 成膜装置

SVシリーズは、優れたシミュレーション技術と長年の経験から最適設計された縦型石英リアクタを採用しています。GaAs系・InP系材料において30年以上の歴史があ...

2種類の品番

• 半導体製造

• 成膜装置

■特徴 ・COF (摩擦係数) やパッド表面温度、研磨液の温度、装置内の室温などをモニターしており、これらのパラメーターで上限値を設定出来、例えばパッドの温...

6種類の品番

• 半導体製造

• 研磨機

■CMP (科学機械研磨) 工程で使用する研磨用品 ・アルミ盤 (ツバ付き) に貼ることで、CMP溶液で満たした盤中で液中研磨を行うことが可能です。 ・平坦なア...

• 半導体製造

• CMP装置

大型のパネル型サンプル (ガラス等) の表面CMP研磨に最適です。上部揺動ユニットのフレキシブルパッドにてサンプル表面を一様に研磨することが可能です。 ...

3種類の品番

• 半導体製造

• 自動研磨機

スパッタ室にて 10⁻⁷Pa のバックグランドの排気性能を持つ超高真空対応の牧葉式スパッタリング装置です。 ロードロック室・カセット室・搬送室・スパッタ室...

2種類の品番

• 半導体製造

• スパッタリング装置

テーブルトップのコンパクトサイズながら原子レベルレイヤーの成膜が可能。直径200mm、高さ約25mmまでの構造物、カーボンナノチューブ (CNT) やグラフェンに...

• 半導体製造

• ALD装置

■概要 ・従来機に比べて、 塗布効率が向上。 ・エッジオフ機能により、 さらに塗布効率が向上 (従来機 約50% → 82%) ・塗布効率向上による飛散量減少により...

4種類の品番

• 半導体製造

• フラクサー

RF-430は遠赤外線と熱対流を基本加熱にした、窒素 (N2) 対応の小型リフローはんだ付け装置 (リフロー炉) です。卓上の小型リフロー装置ながら、N2対応機種は...

3種類の品番

• 半導体製造

• はんだ付け装置

■特徴 ・上部熱風＋遠赤外線と下部遠赤外線を併用した加熱方式 ・加熱5ゾーン構成で1.5m以下のコンパクトモデル ・リフロー用途はもちろん、スクリーニングや...

2種類の品番

• 半導体製造

• リフロー装置

■特徴 ・はんだボイドを大幅に削減 ・量産に最適な連続投入インライン搬送 ・上下熱風循環加熱方式 ・環境にやさしい超低消費電力、高断熱仕様 (約40%省エネ)...

3種類の品番

• 半導体製造

• はんだ付け装置