ベルヌーイチャックのメーカー5社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。
目次
ベルヌーイチャックとは、「ベルヌーイの定理」と呼ばれる流体の流れに対するエネルギー保存則を応用した、非接触型のチャックのことをいいます。
製造現場では、ワークの把持および搬送を目的として利用されることが多く、比較的薄くて軽いものの搬送用ロボットなどに搭載されています。
技術が進歩し、精密機器が増加している近年、ワークに傷をつけない非接触型のチャックは半導体業界などで注目を浴び、需要も増加の傾向にあります。
ここでは、ベルヌーイチャックの使用用途について解説していきます。
ベルヌーイチャックは非接触でワークを把持・搬送できる特徴から、ワークの物理的ダメージや破損、汚れ、静電気の発生などを嫌う半導体ウエハ、ガラス基盤等の製造現場でよく利用されています。
また、衛生管理が徹底される食品などの把持・搬送にも、ベルヌーイチャックは適しています。今後は食品だけにとどまらず、医療の分野でも使用の範囲が広がっていくことが予想されています。
ここでは、ベルヌーイチャックの原理について解説していきます。
供給ポートから供給された圧縮空気が吸着面側のノズルから噴出されると旋回流となり、真空が発生します。(これをサイクロン効果と呼ぶ)圧縮空気が対象ワークと吸着面の間から大気に放出されるとベルヌーイ効果が働き、チャック中心部に圧力降下が生じる。この時に発生する負圧によってワークを引き上げることができるようになります。
また、ベルヌーイ効果の吸引力に加えて、サイクロン効果の遠心力による中心圧力降下を利用すると、より高い把持力を有することができます。これによって、より幅広いワークに対応することも可能です。
ベルヌーイチャックの一番のメリットは、非接触でワークの把持ができる点にあります。半導体ウエハなどの製造現場で使用されていた、従来の吸着パッドによる吸引把持と比べると安全性が格段に向上し、搬送中にワークの品質を低下させることが少なくなりました。
参考文献
https://www.jel-robot.co.jp/products/BERNOULLI_CHUCK.html
http://jvia.gr.jp/wordpress/wp-content/uploads/2014/07/22ab0619dd6fbf44546f58e23ed88718.pdf
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