優れた面精度 CMPクロス ムサシノ電子株式会社
ムサシノ電子株式会社の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
5.5時間
返信のとても早い企業
この製品について
■CMP (科学機械研磨) 工程で使用する研磨用品
・アルミ盤 (ツバ付き) に貼ることで、CMP溶液で満たした盤中で液中研磨を行うことが可能です。 ・平坦なアルミ盤に貼ることで、CMP溶液を滴下しての研磨が行えます。ポリシングクロス等で取り切れなかった微細スクラッチ傷を取り除くことが可能です。 ・特殊ポリエステル繊維から成る不織布にポリウレタンを結合。加工面の高い平坦性と高耐久性を実現したCMP用クロスです。■特長
・軟質の不織布クロスで研磨加工における最終工程時の使用に最適です。 ・優れた面精度が得られるとともに、エッジの鏡面仕上げにも適しています。■用途
・デバイスウェーハの層間絶縁膜のCMP研磨 ・メタル配線のCMP研磨 ・SiC、GaN、Ga2O3等の化合物半導体のCMP研磨-
シリーズ
優れた面精度 CMPクロス
-
取扱企業
ムサシノ電子株式会社
優れた面精度 CMPクロス 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 材質 | 外径 | 数量 | 厚さ | 密度 | 硬度(C) | 圧縮率 | 圧縮弾性率 | 研磨剤 | 粒度 | 工程 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
CMPクロス |
要見積もり | 特殊ポリエステル・ポリウレタン | Φ150mm, Φ200mm, Φ300mm, Φ380mm | 5枚/式 | t1.55mm | 0.32g/cm3 | 72.00 | 0.04 | 80％ | コロイダルシリカ研磨剤・ケミカルリキッド ……など | 0.015μm~0.0825μm | CMP研磨 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
ムサシノ電子株式会社のその他の取り扱い製品
ムサシノ電子の製品をもっと見る
