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蒸着装置のメーカー38社一覧や企業ランキングを掲載中！蒸着装置関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:長州産業株式会社、2位:新明和工業株式会社、3位:テルモセラ・ジャパン株式会社となっています。 蒸着装置の概要、用途、原理もチェック！
蒸着装置は、減圧下で物質を気化させて対象物上に製膜する真空蒸着 (VD) を行う装置です。
蒸着装置を用いることで、対象物上に平滑な塗膜を形成することができ、その膜厚や組成の制御をすることも可能です。
2025年7月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 長州産業株式会社 |
14.9%
|
| 2 | 新明和工業株式会社 |
10.1%
|
| 3 | テルモセラ・ジャパン株式会社 |
10.1%
|
| 4 | 株式会社エイエルエステクノロジー |
8.1%
|
| 5 | ジャパンクリエイト株式会社 |
8.1%
|
| 6 | 株式会社サンバック |
4.1%
|
| 7 | 株式会社シンクロン |
4.1%
|
| 8 | 株式会社真空デバイス |
3.4%
|
| 9 | 大阪真空工業株式会社 |
3.4%
|
| 10 | アリオス株式会社 |
3.4%
|
項目別
使用用途
#研究開発
#金属膜
#有機エレクトロニクス
#多層膜
#超高真空
蒸着方式
抵抗加熱蒸着型
電子ビーム蒸着型
成膜環境
真空蒸着型
高真空蒸着型
イナートガス雰囲気型
蒸着材料供給方式
単発源型
多元源型
特徴機能
自動制御型
高速成膜型
高精度厚さ制御型
クリーン対応型
排気時間 分
10 - 15
15 - 20
20 - 25
排気系主ポンプ
油拡散ポンプ
ターボ分子ポンプ
操作方法
手動
基板サイズ mm
50 - 100
100 - 200
チャンバーサイズ mm
200 - 250
250 - 300
300 - 350
蒸発方式
抵抗加熱
基板加熱温度 ℃
100 - 500
500 - 800
膜厚分布 %
1 - 5
5 - 15
28 点の製品がみつかりました
28 点の製品
神港精機株式会社
800人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
100.0% 返答率
162.9時間 返答時間
基礎研究実験に対応したローコストの小型蒸着装置です。 目的に合わせ蒸発機構・基板加熱・冷却機構等各種機構が選択できます。
2種類の品番
三弘エマテック株式会社
420人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
25.4時間 返答時間
■製品説明 架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリー...
三弘エマテック株式会社
440人以上が見ています
最新の閲覧: 21時間前
返信の比較的早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
25.4時間 返答時間
■製品説明 架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリー...
株式会社MPS
270人以上が見ています
最新の閲覧: 23時間前
100.0% 返答率
57.6時間 返答時間
■概要 抵抗加熱式の蒸着装置です。小規模の光学膜生産用としてお使いいただいています。
北野精機株式会社
350人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
25.1時間 返答時間
本製品は高蒸気圧材料 (有機物) 薄膜成長用に、低温で安定して動作できる低温セル (Organic Deposition Cell：KOD-Cell) です。KOD-Cell...
北野精機株式会社
270人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
25.1時間 返答時間
■特徴 ・ICF-70によるコンパクト/省スペース設計 ・シャッター機構標準装備 ・±0.1℃による温度設定が可能 ・ルツボは、4ccで、幅広い用...
北野精機株式会社
300人以上が見ています
最新の閲覧: 23時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
25.1時間 返答時間
■特徴 ・コンパクトで手軽に使用可能 ・ルツボ容量は10cc、幅広い用途 ・均一なルツボ温度 ・メンテナンスが容易 ・温度安定性、操作性...
北野精機株式会社
340人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
25.1時間 返答時間
■特徴 ・コンパクトで手軽に使用可能な蒸着源 ・メンテナンスが容易 ・通電加熱用フィラメント加熱式のルツボ構成 ・ルツボ容量は1cc～3...
北野精機株式会社
240人以上が見ています
最新の閲覧: 21時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
25.1時間 返答時間
■特徴 ・コンパクトで手軽に使用可能 ・メンテナンスが容易 ・通電加熱用フィラメント加熱式のルツボ構成 ・2種類の金属材料が自由に蒸...
北野精機株式会社
270人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
25.1時間 返答時間
■特徴 ・コンパクトで手軽に使用可能 ・メンテナンスが容易 ・通電加熱用フィラメント加熱式のルツボ構成 ・3種類の金属材料が自由に蒸...
アルバック販売株式会社
320人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
175.8時間 返答時間
■概要 ターボ分子ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電...
アルバック販売株式会社
290人以上が見ています
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
175.8時間 返答時間
■概要 架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排...
アルバック販売株式会社
250人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
175.8時間 返答時間
■概要 ターボ分子ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電...
アルバック販売株式会社
260人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
175.8時間 返答時間
■概要 水冷式油拡散ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計...
アルバック販売株式会社
280人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
175.8時間 返答時間
■概要 空冷式油拡散ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バル...
アルバック販売株式会社
370人以上が見ています
最新の閲覧: 56分前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
175.8時間 返答時間
■概要 空冷拡散ポンプ (200L/sec) ＋油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置 (抵抗加熱式) 。パイプフレームにメインポン...
入江株式会社
290人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の早い企業
4.7 会社レビュー
100.0% 返答率
11.2時間 返答時間
■概要 研究開発用、及び小ロット生産用の抵抗加熱式小型蒸着装置。本シリーズの一部機種には電子ビーム (EB) の搭載も可能です。 ■特徴...
テルモセラ・ジャパン株式会社
310人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
29.2時間 返答時間
■MiniLab ʻPlug & Playʼ 感覚でコンポーネントを組合せるモジュラーデザイン。必要な成膜条件を満たす専用機のセミカスタムメイドが可能...
テルモセラ・ジャパン株式会社
140人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
29.2時間 返答時間
■概要 nanoPVD-T15A は、卓上・コンパクトサイズの高性能『有機膜・金属膜蒸着』装置です。温度応答性 / 安定性に優れた低温有機蒸着源 ...
テルモセラ・ジャパン株式会社
90人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
29.2時間 返答時間
■概要 nano benchtop シリーズのラインナップに新たに加わった「蒸着」「スパッタ」混在型、” 3-in-1” マルチ薄膜実験装置 小型チャンバ...
フジ・インバック株式会社
150人以上が見ています
最新の閲覧: 23時間前
100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
■概要 排気系に安価なDPを使用した省スペースタイプ
株式会社昭和真空
10人以上が見ています
■金属薄膜用蒸着装置のコンパクトモデル 抵抗加熱式蒸発源もしくは電子ビーム蒸発源による金属材料の成膜が可能です。研究開発・小ロッ...
株式会社昭和真空
10人以上が見ています
■金属薄膜用蒸着装置のコンパクトモデル 抵抗加熱式蒸発源もしくは電子ビーム蒸発源による金属材料の成膜が可能です。研究開発・小ロッ...
株式会社昭和真空
10人以上が見ています
■加飾膜などに適したスタンダードモデル 各種金属膜の成膜が可能です。基板台車を2台付属しており、成膜中に基板交換、蒸着材料交換が可...
株式会社オプトラン
20人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
本装置は反射防止膜を大量生産するために設計製作された光学薄膜形成装置です。 ■特長 ・ドーム回転は磁気シール駆動による中心回転方...
蒸着装置は、減圧下で物質を気化させて対象物上に製膜する真空蒸着 (VD) を行う装置です。
蒸着装置を用いることで、対象物上に平滑な塗膜を形成することができ、その膜厚や組成の制御をすることも可能です。
蒸着装置ではアルミニウムなどの金属材料や有機無機材料など様々な材料での成膜が可能です。
蒸着装置は下記のような用途で利用されます。
図1. 蒸着装置の原理イメージと液相成長法
ロータリーポンプやターボ分子ポンプなどでチャンバー内を減圧状態にし、蒸着したい材料を気化させて、離れた位置にある対象物上に堆積させます。減圧状態にすることで、チャンバー内の不純物を取り除き、気化した物質の拡散性が向上し、密着性がよく平滑な膜を作製することができます。
物質の表面に製膜する方法としてメッキが有名ですが、メッキなどは液相から原料が供給されるのに対し、蒸着は気相から原料が供給されるという違いがあります。
蒸着装置に用いられる蒸着方法には、物質を気化させる方法によって、物理気相成長法 (または物理蒸着、英: Physical Vapor Deposition, PVD) と化学気相成長法 (または化学蒸着、英: Chemical Vapor Deposition, CVD) の2種類に分けられます。
図2. 物理気相成長法と主な種類
物理気相成長法は、加熱などの物理的な方法で蒸着材料の気化や昇華などを起こし、製膜する方法です。加熱方法は電子ビーム、抵抗加熱、高周波誘導、レーザーなどがあります。
また、プラズマや分子線などを利用した方法も物理気相成長法の1つです。
図3. 化学気相成長法と主な種類
化学気相成長法は、化学反応などの化学的な方法で、蒸着材料を蒸着対象物上に堆積させ製膜する方法です。代表的なものとして、熱CVD、光CVD、プラズマCVD、有機金属CVD、原子層成長 (ALD) などがあります。
上記の他にもさまざまな方式の蒸着装置が開発、販売されています。用途に応じて適切な装置を選択をする必要があります。
参考文献
https://www.satovac.co.jp/application/deposition.html
https://www.samco.co.jp/company/primer/2011/03/post.php
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/82/11/82_956/_pdf
http://www.jspf.or.jp/Journal/PDF_JSPF/jspf2000_08/2000_08-759.pdf
https://ulvac-kiko.com/support/img/deposition_catalog_Jp_2018_10.pdf
https://www.semilinks.com/sub208.htm
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/product-knowledge02/oil-diffusion-pump.html
https://www.samco.co.jp/ir/library/
https://www.oike-kogyo.co.jp/research/column/cvd/
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/59/7/59_16-LC-011/_pdf
