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薄膜形成装置 研究開発用蒸着装置 品番4件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 操作方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 成膜系 / 処理量 | 成膜系 / 膜厚分布 | 成膜系 / 蒸発方式 | 成膜系 / 基板加熱 | 操作方法 / 排気動作 | 操作方法 / 成膜動作 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
EM-330S |
要見積もり | 全手動 | ×10-4Pa台 | ×10-⁴Pa台まで20分以内 | 油拡散ポンプ | ¢3インチ × 4枚 | ±15% | 抵抗加熱 | 350℃ | - | - | ||
EM-435S |
要見積もり | 全手動 | ×10-⁵Pa台 | ×10-⁴Pa台まで15分以内 | 油拡散ポンプ | ¢3インチ × 5枚 | ±15% | 抵抗加熱 | 350℃ | - | - | ||
AM-645SB |
要見積もり | - | ×10-⁵Pa台 | ×10-⁴Pa台まで20分以内 | 油拡散ポンプ | ¢4インチ × 6枚 | ±10% | 電子銃 | 350℃ | 自動 | 手動 | ||
|
AMF-645SB |
要見積もり | - | ×10-⁵Pa台 | ×10-⁴Pa台まで20分以内 | 油拡散ポンプ | ¢4インチ × 6枚 | ±10% | 電子銃 | 350℃ | 自動 | 手動 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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