真空ポンプ
メーカー115社【2025年】

真空ポンプについての概要、用途、原理などをご説明します。また、真空ポンプのメーカー115社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。真空ポンプ関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン、2位:有限会社スコットプランニング、3位:芝浦メカトロニクス株式会社となっています。

真空ポンプとは？
真空ポンプのメーカー115社
真空ポンプ961製品
真空ポンプの価格・相場

真空ポンプとは

真空ポンプ

真空ポンプは、装置や容器から空気を排出し、真空にするための装置です。真空ポンプは、ポンプ、排気口、吸気口で構成されています。ポンプには、真空にするための仕組みが多く開発されています。

真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、必要な真空度や、真空に到達するまでの時間、使用する温度環境を考慮して、使用する真空ポンプを適切に選定する必要があります。油を使用するかどうかで、ドライポンプとウェットポンプに分けられます。

真空ポンプの使用用途

真空ポンプは、医療機器や医療機器の製造過程、食品工場、電気機器、半導体の製造過程などで使用されます。また、真空を必要とする医療機器や理化学機器の補器としても使われます。真空ポンプは10種類以上の原理が開発されており、それぞれの特性を理解して適切に選定する必要があります。

真空ポンプの主な使用用途は以下の通りです。

歯科医療時の唾液の吸引機
魔法瓶における真空部の作成
半導体プロセスにおけるプラズマ使用時の真空環境作成
食品梱包材の接着時
理化学研究機器用の真空源( エバポレータ、ろ過、真空乾燥器、デシケータ、等 )
工場における生産設備用大容量真空ポンプ

真空ポンプの原理

真空ポンプを動作原理により分類し、そのうち代表的なものの動作原理を説明します。

1. 油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプは、回転するローターなどの働きで吸入した空気を押し出すようにして排気する真空ポンプで、気密性を高めるために油を使うウェットポンプの総称です。ロータリー真空ポンプとも呼ばれます。

詳細な形式として、回転翼型油真空ポンプ、カム形油回転真空ポンプ、揺動ピストン型油回転真空ポンプなどがあります。回転翼、カム、ピストンに結合した揺動部と、空気と接する部位の形は異なりますが、いずれの形式でも、ローターの回転に伴って空気を排出することで真空を作ります。

油を使う以上、油の蒸気圧が真空の限界となりますが、油の働きで安定した性能を発揮でき、小型の装置で容易に中真空を得ることができます。

2. 油拡散真空ポンプ

油拡散真空ポンプは、ボイラーとジェットノズル、凝縮機で構成されています。ボイラーで加熱して蒸気になった油をジェットノズルにより超音速で噴射し、ポンプ内の空気分子を排気口に押し出します。蒸気になった油は凝縮器で液体の油となり再利用されます。

3. 回転翼型ドライ真空ポンプ

回転翼型ドライ真空ポンプは、回転するローターとベーンが吸気口から吸入した空気をかき出すようにして排気する真空ポンプで、油を使わないものです。空気の逆流を防ぐことが出来ないため、低真空状態が限界になりますが、大きな排気速度を得ることができます。

4. 揺動ピストン型ドライ真空ポンプ

揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、偏心回転軸に連動するピストンによって、空気を押し出すようにして排気する真空ポンプです。構造上、空気の逆流を防ぐことができないため、低真空状態が限界になりますが、メンテナンスが容易です。

5. ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

ダイヤフラムポンプ( 膜ポンプ )とは、ゴム、樹脂、金属といった素材から成るダイアフラムの往復運動と逆止弁を組み合わせて流体を輸送するポンプです。真空ポンプとする場合、逆止弁があるため気密に油を用いる必要が無く、ドライポンプとすることができます。往復運動に伴い、真空にしたい側から空気を吸い込み、大気側に吐き出すことを繰り返して真空を作ります。

6. スクロール型ドライ真空ポンプ

スクロール型ドライ真空ポンプは、渦巻型のステータとローターの運動の組み合わせによって排気するドライ真空ポンプです。渦巻の運動により、空気を中央に寄せて、中央部から排気します。

7. ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプは、タービンの形をしたドライ真空ポンプです。タービン翼を分子の熱運動に近い速度で高速回転させ、タービン翼の傾きに応じた分子運動の偏りを作ることで排気を行います。タービン翼の高速回転を可能とするため、ある程度の真空中で使用する必要があり、他の真空ポンプと組み合わせて使われます。

真空ポンプの選び方

真空ポンプの選定では、到達真空度、排気時間、排気容量などを考慮してポンプの種類を決定します。真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、それぞれに合った真空ポンプがあります。

1. 低真空用の真空ポンプ

低真空用では、ダイアフラム型ドライポンプ、揺動ピストン型ドライポンプ、回転翼型ドライポンプなどがあります。ダイアフラム型は回転翼型ドライポンプのような摺動部がないので煽動による微粒子が発生せず、クリーンな真空を得ることができます。揺動ピストン型は構造がシンプルでメンテナンスが容易です。回転翼型は大きな排気速度を得ることができます。

2. 中真空用の真空ポンプ

中真空用では、スクロール型、油回転型などがあります。スクロール型は多くの製品で2段圧縮により効率を確保しており、低振動、低騒音なものとなっています。油回転型は名前の通り、油により潤滑、密封を行っているため効率が良く、真空度の安定性が良いポンプです。

3. 高真空用の真空ポンプ

高真空用では、2つのローターを回転させて吸引、圧縮するルーツ型( メカニカルブースター )真空ポンプ、多段のルーツ型ポンプを一体化した多段ルーツ型真空ポンプ、構造がシンプルで排気速度が大きい油拡散型真空ポンプなどがあります。更に超高真空用と呼ばれるものにターボ分子ポンプやクライオポンプなどがあります。

このように様々な種類の真空ポンプがあるため、その特徴や特性を良く理解し、用途に合ったものを選択することが大切です。

真空ポンプの使い方

真空を使用した設備では、到達真空度、排気時間を考慮して真空ポンプを選定します。しかし、一般的に真空度が上がると排気速度が遅くなること、高真空用ポンプの中には大気圧状態では使用できないものがあることから、真空ポンプ単独ではなく、組み合わせて使用する場合があります。

例えば、「低真空で排気速度の速いポンプ」と「高真空のポンプ」を切り替えて併用したり、同時使用したりすることで、高真空でもある程度の排気速度が得られます。

具体例としては、油回転型で低真空領域まで真空引き( 粗引き )し、その後、メカニカルブースターポンプに切り替えて高真空まで真空引き( 本引き )する方法が挙げられます。

また、2種類の真空ポンプを連結し、中低真空用ポンプを介することで大気圧でも高真空用ポンプを使用できるようにすることもあります。

真空ポンプのその他情報

真空ポンプのオイル

油回転真空ポンプは、正しく使えば安定した性能を発揮しますが、オイルの管理が重要です。気体を吸引して真空をつくる性質上、どうしても吸引したものの中にある不純物( 水など )がオイルに混入してしまいます。このような不純物がオイルの性能を劣化させます。

ほとんどの油回転真空ポンプには、ガスバラストといって揮発性の成分を蒸発させる機能があるので、定期的にガスバラストを行うとよいでしょう。オイル量の日常点検、定期的なオイル交換も重要です。また、「オイルを汚染しやすい用途であるが安価なのでとりあえず油回転真空ポンプを設置していた」など、状況によっては近い性能のドライポンプに置き換えるなどの見直しも意義があるかもしれません。

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/56/6/56_13-LC-014/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_657/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_670/_pdf
https://ulvac-kiko.com/support/pump_types.html

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真空ポンプメーカー 115社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

防爆型・耐薬品性　ダイアフラム真空ポンプ LABOPORTシリーズ注目製品
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン

【おすすめアプリケーション】
エバポレータ、ろ過、脱気/脱泡、乾燥
水素を含む可燃性ガスOK、メタネーションに最適
到達真空度：0.8kPa G. 排気量：20L/min

小型ダイアフラム真空ポンプ・真空コンプレッサー N96.18 注目製品
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン

【おすすめアプリケーション】
真空ろ過・アスピレーション・ガス循環
減圧・加圧両方に対応。小型コンプレッサーとしても使用可
アスピレーターの置き換えにも最適
到達真空度：13kPa、排気量1.5～7L/min、加圧圧力250kPa

【真空ポンプ】油回転式真空ポンプなど多数取り扱いあります注目製品
有限会社スコットプランニング

D.V.P社・MIL'S（ミルズ）社・pompetravaini（ポンペトラヴァーニ社など
海外拠点の老舗メーカー商品を多数取り扱っております。

◾️ポンプ選定からサポート対応で無駄なコスト
◾️高度な技術・エンジニアの丁寧な対応が大手企業様に人気です
◾️修理・メンテナンス【他社メーカー品の対応可】

ルーツブロア・真空ポンプ注目製品
防長商事株式会社

《～　ルーツブロア・真空ポンプをお探しのお客様へ　～》
種類が多くお悩みの方へご提案いたします。
■ルーツブロア
■水封式真空ポンプ
■油回転式
■ドライ真空
■メカニカルブースター

水滴・蒸気に強く、メンテナンスも容易・小型水封式真空ポンプ（エルモタイプVLW・ベーンタイプVVW）注目製品
株式会社サクライ・エンジニアリング

・世界最小クラスの小型サイズ、卓上サイズ（4.0Kg)もあります
・滅菌機、食品機械、バイオプラント多用途
・水を使うので防爆、クリーン
・技術者常駐のサポート体制
・低コストでメンテナンスも容易
・高い耐久性
・各種証明書対応可

- - 株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
    ダイアフラム式真空ポンプ
  - 会社サイト創業: 1983年会社詳細
  - 住所: 東京都中央区新川1-16-14
- お試し可能装置への組み込み可能水素・可燃ガスOK
  
  KNFのダイアフラムポンプは実験レベル～パイロットスケール～小規模プラントまで幅広い製品をご用意。水素・可燃ガスに使用できる防爆ポンプはメタネーションに最適です。お客様の要求に合わせてカスタマイズ可能
- - 有限会社スコットプランニング
    真空ポンプ販売、修理、メンテナンス、真空システム提案迄
  - 会社サイト創業: 1983年従業員数: 10人資本金: 3,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県三郷市中央2-12-8
- お気軽相談無料見積り安心サポート
  
  D.V.P、Mil’ｓ、Pompetravaini、Hanbell、Pneumofore社等、海外の真空ポンプメーカーと直接取引を行っています。販売、修理、メンテナンス、真空システム提案迄。
- - 防長商事株式会社商社・代理店
    ポンプ各種
  - 会社サイト創業: 1938年従業員数: 50人資本金: 75,000,000円会社詳細
  - 住所: 山口県宇部市琴芝町一丁目1番63号
- ●●　ルーツブロア・真空ポンプをお探しのお客様へ　●●
  種類が多くお悩みの方へご提案いたします。
  ■ルーツブロア
  ■水封式真空ポンプ
  ■油回転式
  ■ドライ真空
  ■メカニカルブースター
- - 株式会社サクライ・エンジニアリング
    ・水封式真空ポンプ1kw~40w ・カスケードポンプ・安全弁0.13Mpa～0.7M ・チェック弁
  - 会社サイト創業: 1978年資本金: 3,000,000円会社詳細
  - 住所: 長野県佐久市下越177-3
- 貸出機あり短納期小型
  
  前身のサクライ・エンジニアリングは昭和52年より真空ポンプの開発の会社として設立されました。
  環境面、衛生面に強い製品を心掛け、2019年にはJAXAの仕事で宇宙で使う真空ポンプの設計製造も致しました。
- - 芝浦メカトロニクス株式会社メーカー
    真空ポンプ
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1939年従業員数: 1,211人資本金: 6,761,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1
- - 芝浦エレテック株式会社メーカー
    真空ポンプ・コンポーネンツ一覧
  - 会社サイト創業: 1972年従業員数: 223人会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目5番1号
- - 神港精機株式会社メーカー
    真空ポンプ一覧
  - 会社サイト創業: 1949年従業員数: 194人資本金: 375,000,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県神戸市西区高塚台3丁目1番35号
- - 森政産業株式会社メーカー
    真空ポンプ
  - 会社サイト創業: 1946年従業員数: 40人資本金: 40,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市山科区北花山大林町18-5
- - 株式會社三和トレーデングメーカー
    真空ポンプ
  - 会社サイト創業: 1986年会社詳細
  - 住所: 東京都港区新橋3-1-9 301 SHIMBASHI BUILDING 2F
- - 株式会社鶴見製作所メーカー
    液封式真空ポンプ
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1948年従業員数: 1,132人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市鶴見区鶴見4丁目16番40号
- - 株式会社荏原製作所メーカー
    空冷ドライ真空ポンプ
  - 会社サイト創業: 1912年従業員数: 17,080人会社詳細
  - 住所: 東京都大田区羽田旭町11-1
- - 株式会社浪速ポンプ製作所メーカー
    真空ポンプユニット
  - 会社サイト創業: 1921年従業員数: 208人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市西区新町3丁目11番5号
- - 株式会社浅野製作所メーカー
    移動型ステンレス真空ポンプ
  - 会社サイト創業: 1917年従業員数: 16人資本金: 24,000,000円会社詳細
  - 住所: 愛知県名古屋市中区正木三丁目6番25号
- - 株式会社日本ピスコメーカー
    真空ポンプ一覧
  - 会社サイト創業: 1976年従業員数: 520人資本金: 488,565,000円会社詳細
  - 住所: 長野県岡谷市長地出早3-9-32
- - 株式会社島津製作所メーカー
    ターボ分子ポンプ一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1875年従業員数: 13,499人会社詳細
  - 住所: 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地
- - 株式会社宇野澤組鐵工所メーカー
    ドライ真空ポンプ一覧
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1933年資本金: 785,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都渋谷区恵比寿一丁目19-15
- - 株式会社大阪真空機器製作所メーカー
    ターボ分子ポンプ一覧
  - 会社サイト創業: 1950年従業員数: 200人資本金: 348,060,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市中央区今橋3丁目3番13号ニッセイ淀屋橋イースト 12F
- - 株式会社大塚製作所メーカー
    真空ポンプ
  - 会社サイト創業: 1947年従業員数: 7人会社詳細
  - 住所: 東京都荒川区町屋6-3-2
- - 株式会社四葉機械製作所メーカー
    真空ポンプ一覧
  - 会社サイト創業: 1973年資本金: 80,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県桶川市赤堀2-15-8
- - 株式会社前田鉄工所メーカー
    真空給水ポンプ
  - 会社サイト創業: 1906年従業員数: 196人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 長野県須坂市大字豊丘1385-1
- - 株式会社伸友メーカー
    真空ポンプ
  - 会社サイト創業: 1968年従業員数: 30人会社詳細
  - 住所: 広島県福山市一文字町14番31号
- - 株式会社三津海製作所メーカー
    真空ポンプ一覧
  - 会社サイト創業: 1958年従業員数: 17人会社詳細
  - 住所: 東京都大田区東蒲田 2丁目16番13号
- - 株式会社マキタメーカー
    真空ポンプ
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1915年従業員数: 3,245人会社詳細
  - 住所: 愛知県安城市住吉町3丁目11番8号
- - 株式会社フロンケミカルメーカー
    真空ポンプ　手動型
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市北区天満4丁目5番3号
- - 株式会社ニクニメーカー
    真空ポンプ一覧
  - 会社サイト創業: 1946年従業員数: 419人資本金: 80,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市高津区久地843-5
- - 株式会社ドリテックメーカー
    真空ハンディポンプ
  - 会社サイト創業: 1997年資本金: 90,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県川口市戸塚二丁目11-8
- - 株式会社テイエルブイメーカー
    真空用ドレン回収ポンプ
  - 会社サイト創業: 1950年従業員数: 500人資本金: 480,000,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県加古川市野口町長砂881番地
- - 株式会社シブヤメーカー
    バキュームポンプ
  - 会社サイト創業: 1952年従業員数: 172人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 広島県廿日市市木材港北5-86
- - 株式会社シェイクトロンメーカー
    真空ポンプ
  - 会社サイト創業: 1998年会社詳細
  - 住所: 東京都大田区大森西7-4-26
- - 株式会社エスケー精工フジエンジニアリング事業部メーカー
    油回転真空ポンプ300L仕様
  - 会社サイト創業: 1999年会社詳細
  - 住所: 長野県上田市塩川630-11

真空ポンプ 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年2月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン	6.4%
2	有限会社スコットプランニング	3.7%
3	芝浦メカトロニクス株式会社	3.7%
4	株式会社サクライ・エンジニアリング	3.0%
5	株式会社荏原製作所	3.0%
6	防長商事株式会社	2.7%
7	神港精機株式会社	2.7%
8	株式会社マキタ	2.7%
9	ベッカーエアーテクノ株式会社	2.4%
10	株式会社大阪真空機器製作所	2.0%

真空ポンプのレビュー

株式会社マキタの真空ポンプのレビュー

製品の品質への満足度

5.0 (1)

顧客対応への満足度

5.0 (1)

購入した製品充電式真空ポンプ VP180D レビュー日時: 2024年1月5日

レビューユーザー: 電気業界個人事業主 | 会社従業員数1-10人

製品の品質への満足度

5.0

気に入っているところは見た目、収納ケースがおしゃれなところです。また、軽くてコードレスで使いやすく、持ち運びが簡単なため様々な場所で重宝しています。

バッテリーが長持ちなこともポイントが高かったです。短時間の真空引きならば、1回の充電で10回ほどは使用可能でした。他にもマキタ製品を使用しているためバッテリー共有が可能で、バッテリーを差し替えればたくさん使用可能で便利です。また、軽量なのに想像していたより真空引き速度が早くてたすかっています。

別売りのTascoのデジタルメーターを付けていて、真空引きを始めてから短い時間で100まで数値が出るため作業効率が良いと感じます。使い始めて5年目になるがまだ一度も不具合がありません。

顧客対応への満足度

5.0

真空ポンプを使用して5年になりますが、今までに一度も不具合等が無いため、この製品についてはメーカーに問い合わせ等をした事がありませんが、仕事仲間からメーカーに問い合わせをしたことがある方がいて、その際に迅速かつ丁寧な対応をしてもらったと聞いたことがあります。

また、私はマキタのLED照明の手持ちのタイプの製品が壊れてしまったため、住んでいる近くのマキタ支店に対応をしていただきました。

屋根裏等で主に使用していたため何回も点灯消灯を繰り返しボタンのスウィッチ部分の部品が壊れていたため、部品の取り寄せから納品まで適時連絡があり、日数は少しかかりましたが安心して修理をお任せ出来ました。なので、真空ポンプが壊れても安心してメーカーの方に修理等をお願いできると、信用しております。

購入背景

個人で電気屋としてエアコン工事をする際に必要なために5年前に購入しました。

エアコンの新規設置の際や、ガスチャージの際に使用しています。

例えば、エアコンを新しくお客様の家につける際に、新規に作業の最後で室外機の真空引きをする際や、またエアコンを使用されているお客様でエアコンが冷えなくなった、暖まらならくなったなどガスが抜けることで起きる症状を改善するために、ガスをチャージしないといけないですが、新規で取り付ける時と同様に配管の中を真空にしないといけないために、そういう工事の際に使用しています。

他にもマキタ製品を愛用していたことと、仕事で親しくしている親方たちがマキタの真空ポンプをを使用していて、良いという話を聞いたためにこちらの商品を購入しました。