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FPD露光装置のメーカー10社一覧や企業ランキングを掲載中！FPD露光装置関連企業の2025年10月注目ランキングは1位:株式会社ブイ・テクノロジー、2位:株式会社ニコン、3位:壺坂電機株式会社です。
FPD（英：Flat Panel Display）露光装置は、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ等の製造において、ガラス基板の上に形成する薄膜トランジスタ（英：Thin Film Transistor）の回路パターンが描かれた原版であるフォトマスクに光を照射し、ガラス基板に塗布されたフォトレジストにTFTの回路パターンを露光する装置です。
FPD露光装置の技術は半導体製造のフォトリソグラフィー技術を元にしていますが、半導体チップの１辺が大きいもので約1cm程度であるのに対しFPDでは数mにまで達するため、半導体製造での露光技術とは異なり、複数回に分けて露光を繰返す等の新たな技術が必要となります。
又、高精細化に向けては画素数に応じてTFTの回路数を増やす必要があります。例えば画素数が800万を超える4K液晶では800万×RGB（赤緑青の3色でなるカラーフィルター）で2400万以上のTFT回路を形成し、有機ELでは更にその数倍のTFT回路を形成する必要があるため、生産性や露光精度の向上が要求されます。
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2025年10月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社ブイ・テクノロジー |
30.0%
|
| 2 | 株式会社ニコン |
16.7%
|
| 3 | 壺坂電機株式会社 |
13.3%
|
| 4 | 株式会社大日本科研 |
11.7%
|
| 5 | キヤノンマーケティングジャパン株式会社 |
11.7%
|
| 6 | 株式会社サーマプレシジョン |
6.7%
|
| 7 | 株式会社協同インターナショナル |
5.0%
|
| 8 | 日本ファインテック株式会社 |
1.7%
|
| 9 | 株式会社ピーエムティー |
1.7%
|
| 10 | 株式会社三光精衡所 |
1.7%
|
項目別
使用用途
#半導体製造
#微細加工
#フォトリソグラフィ
#研究開発
#MEMS
#バイオテクノロジー
#3次元露光
#水晶発振子製造
#タッチパネル
#ディスプレイ
露光方式
マスク露光型
スキャン露光型
マスクレス露光型
光源種類
水銀ランプ型
エキシマレーザー型
LED光源型
解像方式
接触露光型
近接露光型
投影露光型
搬送方式
ステージ移動型
ロール搬送型
対応サイズ
大型基板対応型
中小型基板対応型
最小露光線幅 µm
0 - 1
1 - 2
2 - 5
5 - 10
10 - 20
光源波長 nm
200 - 300
300 - 350
350 - 400
400 - 500
500 - 1,100
露光領域 mm
0 - 50
50 - 150
150 - 1,000
1,000 - 1,500
1,500 - 2,100
対物レンズ倍率 倍
0 - 5
5 - 15
15 - 50
50 - 100
100 - 150
露光時間ショットあたり 秒
0 - 5
5 - 10
10 - 15
消費電力 kW
0 - 3
3 - 6
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