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真空フランジについての概要、用途、原理などをご説明します。また、真空フランジのメーカー25社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。真空フランジ関連企業の2024年10月注目ランキングは1位:黒岩ステンレス工業株式会社、2位:株式会社紀和産業、3位:トーステ株式会社となっています。
真空フランジとは、真空装置に使用されるフランジです。
フランジは円形または正方形の板状部品であり、圧力容器に使用されます。容器の気密を保持しつつ、他の機器と接続したり、のぞき窓を取り付けたりするための部品です。その中でも真空フランジは、装置内部に真空環境を構築する際に使用されます。
外周にネジ穴や溝が設けられており、ボルトやナットを使用してフランジ同士を締結します。密封のために、ガスケットやパッキンによってシールを施されることが多いです。NWやKF、 JISなどの様々な規格が存在します。
真空フランジは真空装置を必要とする様々な産業で広く使用されます。以下はその使用用途です。
半導体産業では、真空環境がウエハー製造プロセスにおいて不可欠です。蒸着やエッチングなどのプロセスを真空下で実施することで、高品質の半導体デバイスを製造することが可能です。真空フランジによって真空チャンバーを確実に気密し、不純物の侵入を防止しつつ、ガスや反応物質の導入を確実に実施するために使用されます。
光学装置産業では、レンズや鏡などの光学部品コーティングプロセスに真空環境が用いられます。真空環境下でコーティングを実施することで、高精度かつ均一な膜厚の薄膜を塗布することができ、光学性能を向上させます。真空フランジはコーティング材料の蒸着過程で真空チャンバー内の気密を確保し、不純物の混入を防ぐために重要です。
発電のために使用される蒸気タービンは、蒸気を純水へ変換するために復水器と呼ばれる装置を使用します。復水器内部では蒸気を冷却して純水に戻すため、内部が真空状態となります。真空フランジは復水器の接続点において、真空状態を維持するために重要な部品です。
研究開発分野では、新しい材料の合成や物性研究に真空装置が使用されます。特に物理・化学の実験では、真空下での反応や試料の分析を求められることが多く、外部の空気や不純物の侵入を防ぎながら実験を行うことが不可欠です。これにより、より高純度の試料を用いた実験が可能になり、科学的発見や技術革新を加速します。
真空フランジは、真空システムにおける気密性を確保するために使用されます。2つ以上の配管やチューブなどを繋ぐために使用される機械的な接続部品です。内部の真空状態を維持しながら、外部からの不純物や空気の侵入を防ぐために重要な役割を果たします。
真空フランジは、フランジ間の接合部にガスケットやパッキンなどのシーリング材料を使用することで気密性を確保します。シーリング材料をフランジの接触面間に挟み込み、ボルトやナットによる締め付けることで圧縮する仕組みです。これにより、微細な隙間も塞がれ、外部からガス漏れが防止します。
真空フランジにはSUS316LやSUS304などのステンレス材料を使用することが多いです。インコネルなどのニッケル合金を使用することで、耐食性を向上させる場合もあります。気密のためのシーリング材には、テフロンパッキンや銅ガスケットが使用されます。
真空フランジは規格に応じて、様々な種類が存在します。以下はその種類一例です。
KF (Klein Flansche) フランジまたはNW (Normschliff) フランジとも呼ばれ、中真空から高真空の範囲で広く使用されています。モジュラー設計であり、シーリング材料とクランプを使用して気密接続を実現します。取り付けと取り外しが容易で、頻繁に構成を変更する装置に最適です。
CF (Conflat Flang) フランジは、超高真空用途向けに設計されており、銅またはステンレス鋼による金属ガスケットを使用して接続します。非常に高い気密性と真空レベルを達成することが可能で、熱サイクルや化学的腐食にも強いです。
ANSI (American National Standards Institute) フランジはアメリカの規格であり、主に低真空用途で使用されます。一般的な配管系統にも使用され、ボルト・ナットでの接続が一般的です。
JISは日本の産業標準を定める規格で、多くの工業製品や技術に対して規格を設定しています。真空フランジに関してもJIS規格があり、主に日本国内で製造される真空機器に適用されます。ボルト・ナットによる締結が一般的です。
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年10月の注目ランキングベスト6
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 黒岩ステンレス工業株式会社 |
46.2%
|
2 | 株式会社紀和産業 |
15.4%
|
3 | トーステ株式会社 |
15.4%
|
4 | アユミ工業株式会社 |
7.7%
|
5 | 株式会社アドバンテック |
7.7%
|
6 | 株式会社コンサス |
7.7%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年10月の真空フランジページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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製品の閲覧数をもとに算出したランキング
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78 点の製品がみつかりました
株式会社コンサス
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■特徴 ・ボルト穴のタップ仕様も製作いたします。 ・特殊寸法も製作いたします。 ・他の材質でも製作可能です。 ・回転タイプもございます。
日章アステック株式会社
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4.0 会社レビュー
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TYPE:a TYPE:b 特殊フランジ ■説明 ・SUS304 (通常品) 、SUS316L ・特殊寸法の製作可 SUS304 SUS316L
有限会社 Nex's-K.C
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■カップリングの基本原理 NW (KF) 規格のクランプは一対のアルミボディをスイングさせてフランジに取り付けて蝶ネジで締め込みます。これにより配管/継手を接...
有限会社 Nex's-K.C
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株式会社コンサス
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有限会社 Nex's-K.C
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有限会社 Nex's-K.C
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■ISOフランジとは ISO1609によるMFフランジは、クロウクランプによって連結する方法で、組立時の誤差吸収や施工性向上のために使用されます。また、シングル...
株式会社コンサス
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■特徴 ・NW10~NW40は70Lもございます。 ・特殊寸法も製作いたします。 ・他の材質でも製作可能です。
有限会社 Nex's-K.C
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■VGVFフランジとは JIS規格 (JIS B 2290) に定められた寸法及び品質のフランジであり、主に低真空から高真空領域までの真空配管やチャンバーなどの継手類等に...
株式会社コンサス
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■特徴 ・ボルト穴のタップ仕様も製作いたします。 ・他の材質でも製作可能です。
有限会社 Nex's-K.C
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■VGVFフランジとは JIS規格 (JIS B 2290) に定められた寸法及び品質のフランジであり、主に低真空から高真空領域までの真空配管やチャンバーなどの継手類等に...
株式会社コンサス
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■特徴 NWフランジの閉止用ブランクフランジです。
有限会社 Nex's-K.C
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■カップリングの基本原理 NW (KF) 規格のクランプは一対のアルミボディをスイングさせてフランジに取り付けて蝶ネジで締め込みます。これにより配管/継手を接...
株式会社コンサス
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■特徴 ・ボルト穴のタップ仕様も製作いたします。 ・特殊寸法も製作いたします。 ・他の材質でも製作可能です。
有限会社 Nex's-K.C
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■カップリングの基本原理 NW (KF) 規格のクランプは一対のアルミボディをスイングさせてフランジに取り付けて蝶ネジで締め込みます。これにより配管/継手を接...
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■特徴 変換継手もございます。
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■ISOフランジとは ISO1609によるMFフランジは、クロウクランプによって連結する方法で、組立時の誤差吸収や施工性向上のために使用されます。また、シングル...
株式会社コンサス
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■特徴 ・ボルト穴のタップ仕様も製作いたします。 ・他の材質でも製作可能です。
Metoreeに登録されている真空フランジが含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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株式会社 吉川製作所のカタログです。・NW フランジシリーズ・NW ブランクフランジシリーズ・NW クランプシリーズ・NW センターリングシリーズ・NW 接続...
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当カタログは、テクネティクス・グループが取り扱う特殊メタルシール・ガスケット・パッキン類を多数掲載しております。ばね入りCリング・メタルシール「HELI...
2023年3月23日
高機能シール国内実績26年!創業140年以上の世界トップクラスメーカー!ばね入りCリング・メタルシール先駆者の知識と経験をご提供!テクネティクス・グルー...
2023年3月23日
ばね入りCリング・メタルシールHELICOFLEXⓇヘリコフレックスシールやメタル中空Oリング等のシール製品の高機能シールメーカーがメタルシールを機能させる重要...
2023年3月23日
超高真空や高温NW・KFフランジ用クランプ QDSはヘリコフレックスシリーズとの組み合わせで、組込時間を大幅に短縮しつつ超高真空を実現します。NW/KF小径から...
2023年3月23日
『デルタシールHNV』超高真空用ばね入りCリング メタルシールはテクネティクス・グループとフランス原子力庁(CEA)との共同による広範な研究を通じて、厳し...
2023年3月23日
『HELICOFLEX(R)ヘリコフレックスシール』は、フランス原子力庁(CEA)と共同で開発された、弾性を持つばね入りCリング・メタルシールです。本製品の驚くべきパ...
2023年3月23日
【半導体業界向け】HNRV:ゴムOリングからばね入りCリングへ置換既設のボルトのサイズ・数は変更不要?半導体製造装置で『真空のゴムOリング ガス透過やガス...
2023年3月29日
『ばね入CリングHELICOFLEX(R) ヘリコフレックスシール』は、外被の塑性変形とばねの弾性でシール性能を発揮します。10-10mbarから3000barまでの圧力に対応-2...
2023年3月23日
当社では、真空フランジJIS Vシリーズ用のデルタシールHNVを取り扱っています。デルタシールHNVは、超高真空向けばね入りCリングです。当資料では、デルタシ...
2023年3月23日
真空フランジのカタログ11件分をまとめてダウンロードできます!お迷いの方は便利な無料の一括ダウンロード機能をご利用ください。
企業
伯東株式会社 株式会社吉川製作所 テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社