半導体製造

SK-60EX/SK-80EXは、多様化する電子デバイス製造ニーズに応えるため、対応アプリケーションと機能を充実させました。また、基本システムの性能の向上を図り、...

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• 半導体製造

• コーター

■概要 ・コールドウォール式の熱CVD装置です。最高800℃の加熱制御が行えます。 ・成膜基板およびその近傍を加熱する構造の為、原料を効率良く利用できます。 ...

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• 半導体製造

• 半導体製造装置

■摘要 ・後工程での歩留まり向上をサポート ・パーティクルフリー、繰り返し動作での高耐久性など半導体製造装置に要求されるスペックに対応。 ■特長 ・高い...

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• 半導体製造

• 搬送装置

■次世代・先端半導体に対応したグローバルニッチトップ製品の開発を推進 半導体デバイスの微細化が進んでおり、これに対応した装置の開発を進めています。ま...

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• 半導体製造

• エッチング装置

特徴 ■固形樹脂水現像製版システム 各種水現像紫外線硬化樹脂に対応します。固形樹脂LED製版システム、蛍光灯 (ケミカルランプ) 製版システム 固形樹脂製版...

• 半導体製造

• 露光装置

SVシリーズは、優れたシミュレーション技術と長年の経験から最適設計された縦型石英リアクタを採用しています。GaAs系・InP系材料において30年以上の歴史があ...

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• 半導体製造

• 成膜装置

本装置は、プロセスユニット部、ガス制御部、シリンダーキャビネット部、電気制御部を1.3m×1.3mのフットプリントに設置した、オール・イン・ワンCVD装置です。

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• 半導体製造

• 成膜装置

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• 半導体製造

• プラズマCVD装置

■概要 UCUF-Eシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-E形検出器と、SFC形変換器で構成されます。UCUF形...

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• 半導体製造

• 流量計

RF-630は赤外線式、鉛フリーはんだ対応の小型リフローはんだ付け装置 (リフロー炉) です。卓上の小型リフロー装置ながら遠赤 (IR) 6ゾーン方式で、鉛フリーは...

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• 半導体製造

• はんだ付けロボット

■特徴 ・上部熱風＋遠赤外線と下部遠赤外線を併用した加熱方式 ・加熱8ゾーン＋冷却1ゾーン構成、基板有効幅460mmまで対応の量産モデル ・量産用民生機器、産...

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• 半導体製造

• リフロー装置

■特徴 ・はんだボイドを大幅に削減 ・量産に最適な連続投入インライン搬送 ・上下熱風循環加熱方式 ・環境にやさしい超低消費電力、高断熱仕様 (約40%省エネ)...

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• 半導体製造

• はんだ付け装置

■特徴 ・省エネを促進する超低消費電力 ・精細で高品質の加熱性能 ・作業環境に配慮した高断熱設計

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• 半導体製造

• はんだ付け装置

■概要 サイズがコンパクトの為、試験片作成や基礎データ採取に最適な装置になっております。真空排気時間も非常に短く、実験時間の短縮にもつながります。

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• 半導体製造

• 成膜装置

■製品情報  通常の半導体向け単結晶基板を小口径基板においても高平坦度化を実現いたしました。 通常加工において、平坦度(TTV)が≤3umが限界の加工精度であっ...

• 半導体製造

• シリコンウェハ