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パーティクルセンサーのメーカー10社一覧や企業ランキングを掲載中!パーティクルセンサー関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:ノードソン株式会社、2位:アリアテクニカ株式会社、3位:オムロン株式会社となっています。 パーティクルセンサーの概要、用途、原理もチェック!
パーティクルセンサーとは、一定時間吸い込んだ空気中の微粒子の数をカウントする装置のことです。
主にクリーンルームで用いられています。ここでの「パーティクル」とは微粒子の異物のことであり、特に半導体製造においてこの異物は、不良発生や歩留まり低下の原因になるため管理が必要です。
似た装置にパーティクルカウンターがありますが、用途はほぼ同じです。ただし、パーティクルセンサーは連続して計測可能であるのに対して、パーティクルカウンターは連続測定が可能でないものもあります。
パーティクルカウンターのほうがパーティクルセンサーよりも計測が精度よく、装置のサイズが大きい傾向があり、空気中だけでなく液中で使用できるモデルが多いです。高性能な機種では、0.1㎛以上の微粒子の計測が可能です。
2025年7月の注目ランキングベスト10
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | ノードソン株式会社 |
21.8%
|
2 | アリアテクニカ株式会社 |
12.6%
|
3 | オムロン株式会社 |
12.6%
|
4 | 株式会社マツシマメジャテック |
10.3%
|
5 | リオン株式会社 |
9.2%
|
6 | オムロンエフエーストア株式会社 |
8.0%
|
7 | リオンテック株式会社 |
6.9%
|
8 | 神栄テクノロジー株式会社 |
6.9%
|
9 | 株式会社マクニカ |
5.7%
|
10 | 日本カノマックス株式会社 |
5.7%
|
65 点の製品がみつかりました
65 点の製品
トランステック株式会社
3990人以上が見ています
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返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
12.8時間 返答時間
MET ONE気中パーティクルカウンターは、ハンドヘルド、ポータブル、マニホールドシステム、及びリモートセンサなど、用途に合わせたモデ...
20種類の品番
570人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
建築物衛生法、事務所則、学校保健安全法に沿った空気環境測定に最適です。 公益財団法人 日本建築衛生管理教育センター較正基準適合性...
柴田科学株式会社
1110人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
15.1時間 返答時間
生活環境中の空気の綺麗さを数値で濃度表示できる簡易モニターで、概ね直径2.5μm以下の微小なホコリの空気中の濃度を確認できます。温湿...
株式会社クローネ
920人以上が見ています
最新の閲覧: 5時間前
返信の早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
7.4時間 返答時間
■概要 ・Honeywell HPMシリーズ粒子状物質センサは、光散乱を利用し粒子を検出してカウントするレーザーベースのセンサです。 ・検出濃...
3種類の品番
株式会社道具やわくい
450人以上が見ています
最新の閲覧: 9時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
15.1時間 返答時間
■デジタル粉じん計 LD-5R型 ・ポンプ吸引式で安定した流量の保持が可能。 ・バージエアー方式により、検出器の保護、高い耐久性。 ・小...
株式会社ビットストロング
330人以上が見ています
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100.0% 返答率
29.0時間 返答時間
レーザー拡散原理を採用し、デジタル微粒子含有量センサーを内蔵したこのポータブル大気質検出器は、微粒子含有量を継続的に検出でき、...
オガワ精機株式会社
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返信の比較的早い企業
4.5 会社レビュー
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12.9時間 返答時間
■特徴 ・最大25μmの粒子径対応モデル ・空気中のパーティクル (微粒子数) 3粒径サイズ検出可能 ・0.3µm、0.5µm、5.0µmの微粒子数を同時...
オプトテック株式会社
630人以上が見ています
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Alphasense社は、より良い品質のガスセンサーとより高いレベルのカスタマーサポートを求める業界の声に応え、1996年に設立されました。...
10種類の品番
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社(旧:近藤工業株式会社)
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100.0% 返答率
34.1時間 返答時間
■特長 ・操作性に優れたロングセラーモデル ・0.1~100µmまで幅広い粒径レンジに多彩な製品ラインナップで対応
2種類の品番
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社(旧:近藤工業株式会社)
640人以上が見ています
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返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
34.1時間 返答時間
■特長 ・操作性に優れたロングセラーモデル ・多彩なラインナップで多用途に対応 ・SOLAIR3100と3010は、HEPAフィルタ ・完全性試験用に...
3種類の品番
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社(旧:近藤工業株式会社)
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100.0% 返答率
34.1時間 返答時間
■特長 ・1.0ft3 (28.3L/min) デジタルリモートセンサー ・ステンレス外装、コンパクトサイズで設置が容易 ・常時モニタリングに最適 ・...
2種類の品番
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社(旧:近藤工業株式会社)
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返信の比較的早い企業
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100.0% 返答率
34.1時間 返答時間
■特長 ・1.0ft3 (28.3L/min) デジタルリモートセンサー ・ステンレス外装、コンパクトサイズで設置が容易 ・常時モニタリングに最適 ・...
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社(旧:近藤工業株式会社)
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返信の比較的早い企業
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34.1時間 返答時間
■特長 ・0.1ft3 (2.83L/min) デジタルリモートセンサー ・過酸化水素除染対応ステンレス外装 ・自己診断機能によりセンサー状態を監視 ...
3種類の品番
株式会社パーティクルプラス
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100.0% 返答率
95.0時間 返答時間
■光散乱パーティクルカウンタは、クリーンルーム用だけではありません 高濃度対応多粒径、高時間分解能のパーティクルプラスセンサは、...
9種類の品番
株式会社パーティクルプラス
700人以上が見ています
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100.0% 返答率
95.0時間 返答時間
■クリーンルームから一般環境まで 1台でクリーンルームから、モノ作り、室内、大気まで幅広い環境に対応。いつでも、どこでも、だれにで...
2種類の品番
株式会社メディア研究所
310人以上が見ています
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100.0% 返答率
13.6時間 返答時間
■特徴 ・世界初Violet LD搭載で、飛躍的なランニングコストの低減を達成。 ・多様なウェーハサイズに対応。 (50mm~200mm) ・高性能、...
株式会社柳生商会
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4.5 会社レビュー
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8.3時間 返答時間
■概要 ・クラス100~100,000相当を11段階レベルで表示します。 ・5秒ごとの更新で清浄度を表示します。 ・温度・湿度の測定も可能で、多...
株式会社柳生商会
380人以上が見ています
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4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.3時間 返答時間
■概要 ・0.5b以上の浮遊粒子を高感度に安定検出し、清浄度クラス相当値 (クラス100相当から100,000相当まで) を10段階表示します。 ・内...
株式会社柳生商会
430人以上が見ています
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4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.3時間 返答時間
■概要 ・浮遊粒子計測が可能なモニターです。 ・清浄度クラス1,000~100,000を4段階のLEDで表示します。 ・0.3㎛と数㎛以上 (参考値) の...
株式会社柳生商会
450人以上が見ています
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4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.3時間 返答時間
■概要 ・粗粒子計測が可能なモニターです。 ・浮遊せずに落下する粗粒子の個数濃度を4段階のLED表示します。 ・5㎛〜50㎛の粒子数を出力...
パーティクルセンサーとは、一定時間吸い込んだ空気中の微粒子の数をカウントする装置のことです。
主にクリーンルームで用いられています。ここでの「パーティクル」とは微粒子の異物のことであり、特に半導体製造においてこの異物は、不良発生や歩留まり低下の原因になるため管理が必要です。
似た装置にパーティクルカウンターがありますが、用途はほぼ同じです。ただし、パーティクルセンサーは連続して計測可能であるのに対して、パーティクルカウンターは連続測定が可能でないものもあります。
パーティクルカウンターのほうがパーティクルセンサーよりも計測が精度よく、装置のサイズが大きい傾向があり、空気中だけでなく液中で使用できるモデルが多いです。高性能な機種では、0.1㎛以上の微粒子の計測が可能です。
パーティクルセンサーは、主にクリーンルーム内に設置して、ルーム内の清浄度のモニタリングに使用されます。具体的には、自動車塗装工程における清浄度の監視や、半導体製造工場でのクリーンルームの管理等です。
使用用途の幅は広がっており、例えば人体への影響が懸念されているPM2.5を測定するための車載用のパーティクルセンサーもあります。超小型のタイプでかなり小さい機種が人気の傾向があり、場所を取らずに済むようDINレールに設置可能なタイプや、壁掛けできる機種もあります。
パーティクルセンサーの原理には、大きく分けて光散乱方式か、光遮蔽方式のふたつの動作原理があります。両方とも空気を吸い込むためのポンプを内蔵しており、一定速度で連続した測定を行いますが、各々のパーティクルの検出の手法が、光の散乱を用いるか、通過での減衰を用いるかで異なります。
光散乱方式のパーティクルセンサーでは、通常はレーザーが空気中の微粒子に当たって光が散乱する様子をフォトダイオードで検出することにより、散乱光を電気信号に変換する検出手法です。この方式では、光の散乱による電気信号の回数と強さの違いで微粒子の大きさと個数をカウントすることが可能です。
光遮蔽方式のパーティクルセンサーでは、常に光をフォトダイオードに照射し、光源とフォトダイオード間の空気中の微粒子が光を通過する際に弱まった分を電気信号で検出することで、微子の大きさと個数をカウントしています。
パーティクルセンサーは、測定精度の設定に注意を払う必要があります。光散乱、光遮蔽方式に共通して、もしクリーンルームの清浄度に対してパーティクルセンサーの測定精度が高すぎる場合は、測定誤差が大きくなる傾向です。
クリーンルームの清浄度管理のために所望の測定誤差内でパーティクルセンサーを用いるには、適切な測定範囲の機種を選択する必要があります。
粉塵計とパーティクルセンサーやパーティクルカウンターとの最も大きな違いは、測定対象とする微粒子の濃度です。粉塵計は、通常は0.01mg/m3以上の高濃度の微粒子濃度測定を対象としており、微粒子の数量ではなく、重さで濃度評価を行っています。一方で、パーティクルセンサーやパーティクルカウンターは微粒子数で計測を定量化している違いがあります。
特にパーティクルカウンターは低濃度でクリーン度の高い環境測定に耐えられるように、単発測定が主で仕様もClass1からClass9まで細かく分かれているのに対して、粉塵計の場合は連続測定で測定可能な濃度範囲も比較的広いです。
昨今クリーン度を要求される環境や業界は様々であり、その計測箇所もクリーンルームのみならず多岐にわたることから、持ち運びに便利なパーティクルセンサーの需要が大きいです。
リチウムイオン電池駆動でUSBなどによりパソコンと接続しデータ解析できたり、多点モニタリングシステムへ接続可能としている機種、カメラーを搭載している機種など、ユーザーの利便性向上に向けて、各メーカーがさまざまなパーティクルセンサーの開発に取り組んでいます。
参考文献
https://www.fa.omron.co.jp/products/family/2067/
https://www.rion.co.jp/product/particle/about/about_1.html