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パーティクルセンサーのメーカー10社一覧や企業ランキングを掲載中！パーティクルセンサー関連企業の2025年6月注目ランキングは1位:ノードソン株式会社、2位:神栄テクノロジー株式会社、3位:オムロン株式会社となっています。 パーティクルセンサーの概要、用途、原理もチェック！
パーティクルセンサーとは、一定時間吸い込んだ空気中の微粒子の数をカウントする装置のことです。
主にクリーンルームで用いられています。ここでの「パーティクル」とは微粒子の異物のことであり、特に半導体製造においてこの異物は、不良発生や歩留まり低下の原因になるため管理が必要です。
似た装置にパーティクルカウンターがありますが、用途はほぼ同じです。ただし、パーティクルセンサーは連続して計測可能であるのに対して、パーティクルカウンターは連続測定が可能でないものもあります。
パーティクルカウンターのほうがパーティクルセンサーよりも計測が精度よく、装置のサイズが大きい傾向があり、空気中だけでなく液中で使用できるモデルが多いです。高性能な機種では、0.1㎛以上の微粒子の計測が可能です。
2025年6月の注目ランキングベスト9
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | ノードソン株式会社 |
23.3%
|
| 2 | 神栄テクノロジー株式会社 |
18.6%
|
| 3 | オムロン株式会社 |
18.6%
|
| 4 | 株式会社マツシマメジャテック |
11.6%
|
| 5 | アリアテクニカ株式会社 |
7.0%
|
| 6 | リオンテック株式会社 |
7.0%
|
| 7 | リオン株式会社 |
7.0%
|
| 8 | 株式会社マクニカ |
4.7%
|
| 9 | オムロンエフエーストア株式会社 |
2.3%
|
45 点の製品がみつかりました
45 点の製品
トランステック株式会社
3870人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
12.8時間 返答時間
MET ONE気中パーティクルカウンターは、ハンドヘルド、ポータブル、マニホールドシステム、及びリモートセンサなど、用途に合わせたモデ...
11種類の品番
神栄テクノロジー株式会社
1830人以上が見ています
最新の閲覧: 48分前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
13.8時間 返答時間
パーティクルセンシングモニター AES-FPシリーズ（微粒子計測モデル） クリーンルームやクリーンブース、半導体・食品の製造工程、...
3種類の品番
1050人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
ポンプ内蔵型リモートパーティクルセンサー 2.83ℓタイプ ＜適合規格＞JIS B9921、ISO 21501-4 準拠 特徴 ■標準 2CH(0.3/0.5um、又は、0...
3種類の品番
株式会社マツシマメジャテック
1280人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
43.1時間 返答時間
ダストモニタとは、集塵機からの発塵を監視する粉塵計 (粉塵濃度計) です。 集塵機からのダストの微量な漏れを24時間連続モニタリング。...
4種類の品番
オガワ精機株式会社
350人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
4.6 会社レビュー
100.0% 返答率
13.1時間 返答時間
■特徴 ・空気中のパーティクル (微粒子数) 3粒径サイズ検出可能 ・0.3µm、2.5µm、10µmの微粒子数を同時に表示 ・温度、相対湿度、露点温...
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社（旧：近藤工業株式会社）
620人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
37.2時間 返答時間
■特長 ・データインテグリティ対応の次世代モデル ・監査証跡機能、ユーザー権限階層に加え優れた自己診断機能でデータの信頼性を担保。...
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社（旧：近藤工業株式会社）
660人以上が見ています
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5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
37.2時間 返答時間
■特長 ・1.0ft3 (28.3L/min) デジタルリモートセンサー ・ステンレス外装、コンパクトサイズで設置が容易 ・常時モニタリングに最適 ・...
2種類の品番
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社（旧：近藤工業株式会社）
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最新の閲覧: 40分前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
37.2時間 返答時間
■特長 ・1.0ft3 (28.3L/min) デジタルリモートセンサー ・ステンレス外装、コンパクトサイズで設置が容易 ・常時モニタリングに最適 ・...
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社（旧：近藤工業株式会社）
860人以上が見ています
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5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
37.2時間 返答時間
■特長 ・0.1ft3 (2.83L/min) デジタルリモートセンサー ・過酸化水素除染対応ステンレス外装 ・自己診断機能によりセンサー状態を監視 ...
3種類の品番
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社（旧：近藤工業株式会社）
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5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
37.2時間 返答時間
■特長 ・0.1ft3 (2.83L/min) デジタルリモートセンサー ・ステンレス外装、コンパクトサイズで設置が容易 ・常時モニタリングに最適 ・...
2種類の品番
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社（旧：近藤工業株式会社）
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100.0% 返答率
37.2時間 返答時間
■特長 ・ポンプ内蔵 1.0ft3 (28.3L/min) デジタルリモートセンサー ・過酸化水素除染対応ステンレス外装 ・自己診断機能によりセンサー...
2種類の品番
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社（旧：近藤工業株式会社）
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■特長 純水、脱イオン水を対象としたバッチ式液中パーティクルカウンター
2種類の品番
ケンブリッジフィルターコーポレーション株式会社（旧：近藤工業株式会社）
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100.0% 返答率
37.2時間 返答時間
■特長 ・インラインで常時モニタリングに最適 ・外部吸引源が必要
株式会社パーティクルプラス
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100.0% 返答率
95.0時間 返答時間
■光散乱パーティクルカウンタは、クリーンルーム用だけではありません 高濃度対応多粒径、高時間分解能のパーティクルプラスセンサは、...
8種類の品番
株式会社柳生商会
340人以上が見ています
最新の閲覧: 34分前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
■概要 ・クラス100～100,000相当を11段階レベルで表示します。 ・5秒ごとの更新で清浄度を表示します。 ・温度・湿度の測定も可能で、多...
パーティクルセンサーとは、一定時間吸い込んだ空気中の微粒子の数をカウントする装置のことです。
主にクリーンルームで用いられています。ここでの「パーティクル」とは微粒子の異物のことであり、特に半導体製造においてこの異物は、不良発生や歩留まり低下の原因になるため管理が必要です。
似た装置にパーティクルカウンターがありますが、用途はほぼ同じです。ただし、パーティクルセンサーは連続して計測可能であるのに対して、パーティクルカウンターは連続測定が可能でないものもあります。
パーティクルカウンターのほうがパーティクルセンサーよりも計測が精度よく、装置のサイズが大きい傾向があり、空気中だけでなく液中で使用できるモデルが多いです。高性能な機種では、0.1㎛以上の微粒子の計測が可能です。
パーティクルセンサーは、主にクリーンルーム内に設置して、ルーム内の清浄度のモニタリングに使用されます。具体的には、自動車塗装工程における清浄度の監視や、半導体製造工場でのクリーンルームの管理等です。
使用用途の幅は広がっており、例えば人体への影響が懸念されているPM2.5を測定するための車載用のパーティクルセンサーもあります。超小型のタイプでかなり小さい機種が人気の傾向があり、場所を取らずに済むようDINレールに設置可能なタイプや、壁掛けできる機種もあります。
パーティクルセンサーの原理には、大きく分けて光散乱方式か、光遮蔽方式のふたつの動作原理があります。両方とも空気を吸い込むためのポンプを内蔵しており、一定速度で連続した測定を行いますが、各々のパーティクルの検出の手法が、光の散乱を用いるか、通過での減衰を用いるかで異なります。
光散乱方式のパーティクルセンサーでは、通常はレーザーが空気中の微粒子に当たって光が散乱する様子をフォトダイオードで検出することにより、散乱光を電気信号に変換する検出手法です。この方式では、光の散乱による電気信号の回数と強さの違いで微粒子の大きさと個数をカウントすることが可能です。
光遮蔽方式のパーティクルセンサーでは、常に光をフォトダイオードに照射し、光源とフォトダイオード間の空気中の微粒子が光を通過する際に弱まった分を電気信号で検出することで、微子の大きさと個数をカウントしています。
パーティクルセンサーは、測定精度の設定に注意を払う必要があります。光散乱、光遮蔽方式に共通して、もしクリーンルームの清浄度に対してパーティクルセンサーの測定精度が高すぎる場合は、測定誤差が大きくなる傾向です。
クリーンルームの清浄度管理のために所望の測定誤差内でパーティクルセンサーを用いるには、適切な測定範囲の機種を選択する必要があります。
粉塵計とパーティクルセンサーやパーティクルカウンターとの最も大きな違いは、測定対象とする微粒子の濃度です。粉塵計は、通常は0.01mg/m3以上の高濃度の微粒子濃度測定を対象としており、微粒子の数量ではなく、重さで濃度評価を行っています。一方で、パーティクルセンサーやパーティクルカウンターは微粒子数で計測を定量化している違いがあります。
特にパーティクルカウンターは低濃度でクリーン度の高い環境測定に耐えられるように、単発測定が主で仕様もClass1からClass9まで細かく分かれているのに対して、粉塵計の場合は連続測定で測定可能な濃度範囲も比較的広いです。
昨今クリーン度を要求される環境や業界は様々であり、その計測箇所もクリーンルームのみならず多岐にわたることから、持ち運びに便利なパーティクルセンサーの需要が大きいです。
リチウムイオン電池駆動でUSBなどによりパソコンと接続しデータ解析できたり、多点モニタリングシステムへ接続可能としている機種、カメラーを搭載している機種など、ユーザーの利便性向上に向けて、各メーカーがさまざまなパーティクルセンサーの開発に取り組んでいます。
参考文献
https://www.fa.omron.co.jp/products/family/2067/
https://www.rion.co.jp/product/particle/about/about_1.html
