パーティクルセンサーのメーカー3社・10製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。
目次
パーティクルセンサーは、一定時間吸い込んだ空気中の微粒子の数をカウントする装置です。
主にクリーンルームで用いられています。
似た装置にパーティクルカウンターがあり、用途はほぼ同じです。
パーティクルセンサーは連続して計測が可能で、パーティクルカウンターは連続測定が可能でないものもあります。
パーティクルカウンターのほうがパーティクルセンサーよりも計測が精度よく、装置のサイズが大きい傾向があり、空気中だけでなく液中で使用できるモデルがあります。
高性能な機種では、0.1㎛以上の微粒子の計測が可能です。
パーティクルセンサーはクリーンルーム内に設置して、清浄度のモニタリングに使用されています。
自動車塗装工程における清浄度の監視や、半導体製造工場でのクリーンルームの管理等に利用されています。
パーティクルセンサーの用途は広がっていて、人体への影響が懸念されているPM2.5を測定する車載用のパーティクルセンサーもあります。
超小型のタイプでかなり小さい機種が人気の傾向があり、場所を取らずに済むようDINレールに設置できたり、壁掛けできる機種もあります。
パーティクルセンサーの原理は大きく分けて光散乱方式か、光遮蔽方式があります。
両方とも空気を吸い込むためのポンプを内蔵しており、一定速度で連続した測定を行います。
光散乱方式のパーティクルセンサーでは、レーザーが空気中の微粒子に当たって光が散乱する様子をフォトダイオードで検出し、電気信号に変換します。
光の散乱による電気信号の回数と強さの違いで微粒子の大きさと個数をカウントすることができます。
光遮蔽方式のパーティクルセンサーでは常に光をダイオードに照射し、空気中の微粒子が光を通過する際に弱まった分を電気信号で検出することで、微粒子の大きさと個数をカウントしています。
パーティクルセンサーは精度によってかなりデリケートなので、光散乱、光遮蔽方式に共通して、クリーンルームの清浄度に対してパーティクルセンサーの測定精度が高すぎてしまうと測定誤差が大きくなってしまいます。
よって、適切な測定範囲の機種を選択する必要があります。
参考文献
https://www.fa.omron.co.jp/products/family/2067/
https://www.rion.co.jp/product/particle/about/about_1.html
社員数の規模
設立年の新しい会社
歴史のある会社
画像出典: 神栄テクノロジー株式会社公式サイト神栄テクノロジー株式会社のエアロゾルセンサ（パーティクルセンサ）は産業用にクリーンルームで使用できるよう開発されたものです。
パーティクル自体をカウントするのではなく、光散乱の原理を利用した独自のカウントシステムを採用しています。
0.5µm以上の浮遊粒子の、個数ではなく濃度を分類して清浄度クラスとして表示し、モニターすることができます。
小型で軽量なので取り付けが簡単で、吸引ポンプが不必要な低価格なモデルです。
画像出典: リオンテック株式会社公式サイトリオンテック株式会社の液中パーティクルセンサKS-19Fは、光源に半導体レーザ励起固体レーザを用いたパーティクルセンサです。
世界最小粒径レベルの0.03μm以上の粒子の検出が可能なモデルで、価格は高いですが機能は世界最高レベルです。
定格流量は10ml/minで、酸化力が非常に強いフッ化水素酸にも耐性がある仕様なので、幅広い薬液に使用できます。
粒径の区分は1～10段階として、自分で設定することができます。
画像出典: リオンテック株式会社公式サイトリオンテック株式会社の液中パーティクルセンサKS-42Aは、光源は半導体レーザーを使用しており、0.1μm以上の粒子の検出が可能で信頼性が高く比較的安価なモデルです。
計数効率が高いので少ないサンプル量で測定が可能で、定格流量は10ml/minです。
センサーが内蔵されているため、本体の内部で液漏れが発生したときに警報が出る仕組みになっています。
粒径の区分は0.1μmから0.5μm以上まで、0.1μm単位で5段階に設定されています。
画像出典: リオンテック株式会社公式サイトリオンテック株式会社の液中パーティクルセンサKS-41A（フォトレジスト溶液対応）は、最小粒径0.15μmから測定ができます。
SOG液や、フォトレジスト溶液など通常の仕様では使用できない溶液についても測定が可能なモデルです。
センサーが内蔵されていますので、内部で液漏れが発生した時には警報が出る仕組みです。
定格流量は10mL/minで、出荷時の粒径区分は40.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm以上の4段階に設定されています。
画像出典: リオンテック株式会社公式サイトリオンテック株式会社の液中パーティクルセンサKS-41Bは、半導体励起固体レーザを搭載することでさらに小さな粒子の検出を可能にし、半導体業界のニーズに対応したモデルです。
0.1μm以上の粒径の粒子について検出が可能で、さらに純水の場合には0.07μm以上から検出ができます。
フォトレジスト溶液やSOG液等通常の仕様では使用できない溶液についても測定が可能です。
定格試料流量は5mL/minとなっています。
画像出典: リオンテック株式会社公式サイトリオンテック株式会社の液中パーティクルセンサKS-18FXは、半導体励起固体レーザを搭載することでさらに小さな粒子の検出を可能にしたモデルです。
世界最高レベルの0.04μm以上の粒径の粒子について高感度に測定することができます。
粒径設定範囲は0.04μm～0.15μm以上で、あまり大きな粒子については設定ができませんので、高感度に小さな粒子を測定することに適しています。
定格試料流量は10mL/minとなっています。
画像出典: リオンテック株式会社公式サイトリオンテック株式会社の液中パーティクルセンサKS-42AFは半導体レーザにより最小0.1μmの粒子の検出が可能で、信頼性が高いモデルです。
内部にセンサーを搭載していますので、液漏れが発生したときには警報が出るようになっています。
計数効率が高いので、少ないサンプル量で高感度な測定が可能です。
粒径区分は5段階で、0.1μmから、0.5μm以上となっており、定格流量は10mＬ/minで、重量は約4kgです。
画像出典: オムロン株式会社公式サイトオムロン株式会社のZN-PD-Sは、手のひらに乗るサイズの超小型なパーティクルセンサなので、壁にかけることができ、狭い場所の環境モニターにも適しています。
大吸引ファンがついていますので、外付けポンプは必要ありません。
高度な計測技術によって、計測器なみの精度となっています。
微粒子計測タイプと粗粒子計測タイプがあるので、環境や用途に応じて選定し、微粒子計測定タイプでは、クラス1000以上のクリーンルーム等での使用が推奨されています。
画像出典: オムロン株式会社公式サイトオムロン株式会社のZN-PDは、高性能なファンで外気を吸引し0.3μm以上の粒子の長時間常時測定が可能なことに加えて、センシング部に画面がついているため、現状のクリーン度が一目でわかるモデルです。
詳細な数値についてはアンプ部で確認することができます。
別売りのインターフェースとPCを併用することでパーティクル量のデータを詳細に、リアルタイムで分析することができます。
DINレールに取り付けることができ、インラインでの清浄度管理に適しています。
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