【2021年版】パーティクルカウンター メーカー0社一覧

パーティクルカウンターのメーカー0社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


パーティクルカウンターとは

あらかじめ清浄度が確保されたクリーンルーム等の、空間管理を目的として使用します。

粒径と粒子濃度を測定するいくつかの方法の内のひとつである、光散乱式の粒子計測器をパーティクルカウンターと呼びます。

一般的な室内や屋外の大気を測定する目的に使われるのは、粉塵計・ダストモニタと呼ばれパーティクルカウンターとは区別します。

パーティクルカウンターは粒子の個数と粒径を測定(単位〇〇個/m3)するのに対し、粉塵計・ダストモニタはより多くの粒子を質量濃度(単位〇〇mg/m3)として測定します。

パーティクルカウンターの使用用途

あらゆる産業の現場では粒子は汚染の元とされており、半導体・精密機器などの最先端産業においては歩留まりに影響を及ぼすため、医療・食品・宇宙・原子力分野においては製品の安全性を確保するための清浄度管理の為に粒子の測定をします。

微細な粒子ほど付着した場合の洗浄が大変困難であるため、粒子はあらかじめ付着させない、浮遊させないために個数や粒径の管理が大変重要になります。

粒子測定は研究目的や、法律で清浄度が定められている場合、製造現場での歩留まり向上などの顧客の要求に答えるため等、あらゆる分野において管理が求められており、それぞれの環境に応じた機器の選択が重要です。

パーティクルカウンターの原理

原理として粒子と光の相互関係のうち、粒子に光を照射し散乱を捉える事で検出します。

吸引した試料にレーザーが照射され粒子が光を散乱し、その散乱光をレンズが捉えフォトダイオードへ集光し電気信号に変換し粒子信号を電圧として検知します。

検知した粒子信号はパルス状で、波高値は散乱高度に比例するので、粒子の大きさが分かり、パルスの数からは粒子の数を知る事が出来る為、粒子濃度(個数)と粒径を測定する事が可能です。

粒子の測定精度は吸引流量が大きいほど高くなりますが、測定出来る粒子数の限界である最大可測粒子濃度は低くなります。

最大可測粒子濃度付近(測定可能な上限値)付近での測定は不正確な測定結果や誤差が大きくなるため、結果の信頼性において予測される濃度の5~10倍の最大可測粒子濃度の機種を選ぶ事が大切です。
これは粒子にレーザーを照射し測定するため、数が多すぎると粒子同士が重なって複数粒子を1つであるとカウントしたり、次々と粒子が測定部分へ流れてくるため検出が間に合わない事から計測数が少なくなる事があるためです。

参考文献
https://www.rion.co.jp/product/docs/10.pdf
https://www.transtech.co.jp/product/particle-qa
https://nitta-monitoring.com/particle/particle-selection/

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