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日本カノマックス株式会社
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アズワン株式会社

【2021年版】パーティクルカウンター メーカー12社一覧

パーティクルカウンターのメーカー12社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


パーティクルカウンターとは

パーティクルカウンター

あらかじめ清浄度が確保されたクリーンルーム等の、空間管理を目的として使用します。

粒径と粒子濃度を測定するいくつかの方法の内のひとつである、光散乱式の粒子計測器をパーティクルカウンターと呼びます。

一般的な室内や屋外の大気を測定する目的に使われるのは、粉塵計・ダストモニタと呼ばれパーティクルカウンターとは区別します。

パーティクルカウンターは粒子の個数と粒径を測定(単位〇〇個/m3)するのに対し、粉塵計・ダストモニタはより多くの粒子を質量濃度(単位〇〇mg/m3)として測定します。

パーティクルカウンターの使用用途

あらゆる産業の現場では粒子は汚染の元とされており、半導体・精密機器などの最先端産業においては歩留まりに影響を及ぼすため、医療・食品・宇宙・原子力分野においては製品の安全性を確保するための清浄度管理の為に粒子の測定をします。

微細な粒子ほど付着した場合の洗浄が大変困難であるため、粒子はあらかじめ付着させない、浮遊させないために個数や粒径の管理が大変重要になります。

粒子測定は研究目的や、法律で清浄度が定められている場合、製造現場での歩留まり向上などの顧客の要求に答えるため等、あらゆる分野において管理が求められており、それぞれの環境に応じた機器の選択が重要です。

パーティクルカウンターの原理

原理として粒子と光の相互関係のうち、粒子に光を照射し散乱を捉える事で検出します。

吸引した試料にレーザーが照射され粒子が光を散乱し、その散乱光をレンズが捉えフォトダイオードへ集光し電気信号に変換し粒子信号を電圧として検知します。

検知した粒子信号はパルス状で、波高値は散乱高度に比例するので、粒子の大きさが分かり、パルスの数からは粒子の数を知る事が出来る為、粒子濃度(個数)と粒径を測定する事が可能です。

粒子の測定精度は吸引流量が大きいほど高くなりますが、測定出来る粒子数の限界である最大可測粒子濃度は低くなります。

最大可測粒子濃度付近(測定可能な上限値)付近での測定は不正確な測定結果や誤差が大きくなるため、結果の信頼性において予測される濃度の5~10倍の最大可測粒子濃度の機種を選ぶ事が大切です。
これは粒子にレーザーを照射し測定するため、数が多すぎると粒子同士が重なって複数粒子を1つであるとカウントしたり、次々と粒子が測定部分へ流れてくるため検出が間に合わない事から計測数が少なくなる事があるためです。

パーティクルカウンターと粉塵計の違い

空気中の粉塵を測定するには、粉塵計・ダストモニタとパーティクルカウンターなどの種類があり、これらは使用用途が異なります。粉塵計・ダストモニタは、通常の部屋や大気、またはそれ以上の粉塵濃度の工場やトンネル内の現場で使用されます。パーティクルカウンターは、医薬品や半導体、食品製造工場のクリーンルームなど、元々綺麗になるように設計されている空間を管理するために使用されます。

次に、それぞれの測定方法も異なります。粉塵計・ダストモニタはレーザー光線で粉塵をまとまった濃度で測定します。なので、粒子の多い環境での使用が想定されていて、高い濃度まで測定が可能です。それに対して、パーティクルカウンターはレーザー光線を一つ一つの粒子に当てて測定するので、濃度が高い環境で使用すると複数の粒子を同時に認識してしまい、正しい測定ができなくなってしまいます。パーティクルカウンターは[個/m³]であり、単位体積あたりの個数として測定されます。

また、粉塵計・ダストモニタは使用する環境の粉塵の濃度が高いので、吸引速度は毎分数Lで十分ですが、パーティクルカウンターでは測定するもともとの粒子が少ないので、なるべく多く吸引することで測定結果の信頼性を高くできます。よって粉塵計・ダストモニタよりも速い毎分100Lの吸引速度のものもあります。

パーティクルカウンターの精度

測定する粒子の径が、管理するクリーンルームの仕様よりも小さいパーティクルカウンターでは、浮遊している大きい粒子が測定されないので、測定結果の誤差が大きくなってしまいます。クリーンルームの仕様をよく確認して、粒子の径や濃度の上限に合ったパーティクルカウンターを選ぶ必要があります。

また、パーティクルカウンターの吸引力には限界があります。粒子が遠くに離れていたり径が大きいものだと、吸引力が足りず測定されない場合があります。なのでパーティクルカウンターでゼロの表示でも安心できません。なので、大きな粒子は別なツールで対策する必要もあります。

参考文献
https://www.rion.co.jp/product/docs/10.pdf
https://www.transtech.co.jp/product/particle-qa
https://nitta-monitoring.com/particle/particle-selection/
https://www.transtech.co.jp/product/particle-qa
https://www.transtech.co.jp/product/metoneparticle

パーティクルカウンターのメーカー情報

パーティクルカウンターのメーカー12社一覧


パーティクルカウンターのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 リオン株式会社
  2. 2 ヤマト科学株式会社
  3. 3 アズワン株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 デンコム株式会社
  2. 2 株式会社佐藤商事
  3. 3 株式会社テックジャム

歴史のある会社

  1. 1 ヤマト科学株式会社
  2. 2 柴田科学株式会社
  3. 3 日本カノマックス株式会社

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