株式会社安川電機
株式会社不二越
株式会社レクザム
株式会社デンソーウェーブ
株式会社ダイヘン
株式会社ギークプラス
株式会社アルバック
株式会社ZMP
株式会社Doog
日本電産シンポ株式会社
日本電産サンキョー株式会社
平田機工株式会社

【2021年版】搬送ロボット5選 / メーカー31社一覧

搬送ロボットのメーカー31社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。

目次

搬送ロボットのメーカー31社一覧

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

搬送ロボットのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 三菱電機株式会社
  2. 2 株式会社リコー
  3. 3 オムロン株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 株式会社日立インダストリアルプロダクツ
  2. 2 株式会社匠
  3. 3 株式会社ギークプラス

歴史のある会社

  1. 1 株式会社安川電機
  2. 2 株式会社ダイヘン
  3. 3 三菱電機株式会社

搬送ロボット5選

株式会社安川電機
SEMISTAR-VD95D

特徴

SEMISTAR-VD95Dは有機EL・液晶・太陽電池用ガラス基板の搬送に対応する、4軸の水平多関節ロボットです。

最大で730mm×920mmクラス・第4世代までのガラス基板の搬送に対応しており、アームに剛性の高いリンク機構を採用しているため最大95kgまでのワークを安定して搬送することができます。

ベルト駆動を採用していないため放出ガスを低く抑えることに成功しているため、1μPa(0.000001Pa)までの真空中で稼働させることが可能です。

株式会社安川電機の会社概要

  • 会社所在地: 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石2番1号
  • 会社サイト
  • 創業: 1915年
  • 従業員数: 15,179人

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株式会社レクザム
ウエハ搬送ロボット(真空・耐熱)

ウエハ搬送ロボット(真空・耐熱) 画像出典: 株式会社レクザム公式サイト

特徴

ウエハ搬送ロボット(真空・耐熱)は真空・高温環境下でも動作可能な半導体ウエハ製造装置用のウエハ搬送ロボットです。

アームはステンレスのスチールベルト駆動でISO 14644に定めるClass 1で350度以上の高温環境下での動作に対応しており、300mmから450mmまでのウエハを搬送することができます。

また溶接ベローズと磁性流体シールによる真空シールで、真空構造は1μPa(0.000001Pa)となっているため安心して動作させることが可能です。

株式会社レクザムの会社概要

  • 会社所在地: 大阪府大阪市中央区南本町2-1-8
  • 会社サイト
  • 創業: 1960年
  • 従業員数: 1,250人

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株式会社ダイヘン
UTM-R3700F

UTM-R3700F 画像出典: 株式会社ダイヘン公式サイト

特徴

UTM-R3700Fは走行軸無しで広範囲な動作を可能とした6軸垂直多関節型のウェハ用搬送ロボットです。

従来必要であった走行軸とケーブルベアが不要となるため省スペースかつケーブルの断線リスクを低減し、パーティクルの発生リスクを低減させることができます。

ロボットの最小旋回径Φ520と小型ながら、横方向2.7m、高さ方向1.6mと広範囲へのアクセスが可能なため、様々なレイアウトをとることが可能です。

吸着ハンド仕様・アライナなしの条件下で毎時450ウェハ(450WPH)の理論値を誇る高速動作でタクトタイムを短縮し、装置のスループットを向上させることができます。

株式会社ダイヘンの会社概要

  • 会社所在地: 大阪府大阪市淀川区田川2丁目1番11号
  • 会社サイト
  • 創業: 1919年
  • 従業員数: 3,876人

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株式会社ジェーイーエル
GTCR5280(300 mmウェーハ搬送)

GTCR5280(300 mmウェーハ搬送) 画像出典: 株式会社ジェーイーエル公式サイト

特徴

GTCR5280(300 mmウェーハ搬送)はクリーンルーム内での300mmウェーハ搬送を目的とする5軸水平多関節型の半導体搬送ロボットです。

アームにセラミックス、アルミニウム、CFRP等様々な材質のツインチャックを搭載させることにより、1本のアームで搬送対象に合わせた最適なチャックによる2フープの同時搬送で作業効率をあげることが可能となっています。

またサーボモータがアブソリュートエンコードを搭載しているため、原点復帰にかかる時間を短縮することにより稼働率を上げることができます。

株式会社ジェーイーエルの会社概要

  • 会社所在地: 広島県広島県福山市草戸町2-8-20
  • 会社サイト
  • 創業: 1993年
  • 従業員数: 190人

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平田機工株式会社
CR-J1020CL

CR-J1020CL 画像出典: 平田機工株式会社公式サイト

特徴

CR-J1020CLは、大型ガラス基板の高速搬送が可能な、液晶ガラス基板用の搬送ロボットです。

搬送サイズは最大2,850mm×3,050mmまでと第10世代・世界最大級のガラス基板が搬送可能で、高さ方向も最大で3,700mmのZ軸ストロークをもつため、スペースを最大限に活かすことができます。

高剛性ツインマストでガラス基板を安全かつ高速に移載することで、タクトタイムの向上が可能です。

これまで数百台の生産・納入実績があるため、安心して導入することができます。

平田機工株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 熊本県熊本市北区植木町一木111番地
  • 会社サイト
  • 創業: 1951年
  • 従業員数: 2,201人

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