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ロボット・制御装置 多様なニーズに応える最先端のラインアップ ウェハ搬送ロボット 品番10件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 構造 | 軸数 | 可搬重量 | 本体質量 | クリーン度 | ロボット形状 | 動作範囲 X1, X2-axis | 動作範囲 θ-axis | 動作範囲 Z-axis | 最大動作速度 X1, X2-axis | 最大動作速度 θ-axis | 最大動作速度 Z-axis | 動作時間 X1, X2-axis | 動作時間 θ-axis | 動作時間 Z-axis | 繰返し位置精度 XY direction | 可搬質量 | 設置環境 温度 | 設置環境 湿度 | 設置環境 圧力 | 分類 | 必要諸源 真空 | 繰返し位置精度 Z direction | 動作範囲 R-axis | 最大動作速度 R-axis | 必要諸源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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UTM-R3700F |
要見積もり | 垂直多関節形 | 6 | 0.5kg/arm (ハンド重量を含む) | 74kg |
クランプ仕様：ISO Class 3 (ISO-14644) 吸着仕様：ISO Class 1 (ISO14644) |
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UTVW-R2800H |
要見積もり | - | - | - | 85kg | ISO Class 3 (ISO-14644) | 4軸円筒座標形 | 670mm | 330° | 50mm | 120°/sec. | 100°/sec. | 25mm/sec. | 1.5sec./670mm | 2.4sec./180° | 1.6sec./50mm | XYZ direction: ±0.1mm each (3σ) | 2.5kg | 15-40℃ (Atm. side) /15-80℃ (Vacuum Seal Unit) | 20-70%, No condensation | Atmospheric pressure ~ 10-6Pa | - | - | - | - | - | - | |
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UTW-REH5500 |
要見積もり | - | - | - | 85kg | ISO Class 3 (ISO-14644) | 4軸円筒座標形 | 500mm | 340° | 300mm | 1,800mm/sec. | 360°/sec. | 500mm/sec. | 0.5sec/mm | 1.2sec/340° | 0.8sec/300mm |
XYZ方向：各±0.1mm XYZ direction ±0.1mm each |
0.5kg/arm (ハンド質量を含む including E/E) | 32kg | - | - | - | - | - | - | - | - | |
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UT-VDX3000NS |
要見積もり | - | - | - | 29KG | ISO Class 1 | 2軸円筒座標型：2 axis Cylindrical Coordinate | 850mm | Endless | - | - | - | - | 2.0sec / 850mm | 2.5sec / 180° | - | φ0.02mm (3σ) | 1.0kg | 5-40℃ (本体) /5-80℃ (アーム) | 20-70%, No condensation | Atmospheric pressure ~ 10-7Pa | - | - | - | - | - | - | |
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UT-VDW3000HS |
要見積もり | - | - | - | 160kg | ISO Class 1 | 4軸円筒座標型: 4 axis Cylindrical Coordinate | 620mm | 346° | 50mm | 380°/sec. | 300°/sec. | 185mm/sec. | 0.6sec./620mm | 0.7sec./90° | 0.25sec./20mm | XYZ direction: ±0.1mm each (3σ) | 2kg | 5-40℃ (本体) /5-80℃ (アーム表面) | 20-70%, No condensation | Atmospheric pressure ~ 10-6Pa | - | - | - | - | - | - | |
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UT-VFX3000NM |
要見積もり | - | - | - | 29kg (35kg) | ISO Class 1 (ISO-14644) | 2 (3) 軸円筒座標形 2 (3) axis Cylindrical Coordinate | 510mm | 340° | 20mm | 948mm/sec. | 200°/sec. | 121mm/sec. | 1.2sec./510mm | 2.4sec./340° | 1.0sec./20mm | XYZ direction ±0.1mm each | 0.7kg (ハンド質量を含む Including E/E) | 10-40℃ (Atmosphere side) /0-80℃ (Vacuum Seal Unit) | 20-70%, No condensation | Atmospheric pressure ~ 10-6Pa | Standard Type | - | - | - | - | - | |
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UT-VFX3010NM |
要見積もり | - | - | - | 29kg (35kg) | ISO Class 1 (ISO-14644) | 2 (3) 軸円筒座標形 2 (3) axis Cylindrical Coordinate | 720mm | 340° | 20mm | 1,339mm/sec. | 200°/sec. | 121mm/sec. | 1.2sec./720mm | 2.4sec./340° | 1.0sec./20mm | XYZ direction ±0.1mm each | 0.7kg (ハンド質量を含む Including E/E) | 10-40℃ (Atmosphere side) /0-80℃ (Vacuum Seal Unit) | 20-70%, No condensation | Atmospheric pressure ~ 10-6Pa | Long Arm Type | 0.4-0.7MPa, 200L/min | - | - | - | - | |
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UT-AFW4010NM |
要見積もり | - | - | - | 1kg/2N･m |
クランプ仕様：ISO Class 3 (ISO-14644) 吸着仕様：ISO Class 1 (ISO14644) |
4軸円筒座標型：4axis Cylindrical Coordinate | 770mm | 340° | 300mm or 450mm | 1,180mm/sec. | 200°/sec. | 250mm/sec. | 1.7sec./770mm | 2.2sec./340° | 1.6sec./300mm | - | - | 0-40℃ | 70% or less, No condensation | - | Long Arm Type | -80kPa, 10NL/min | XYZ±0.1mm | - | - | - | |
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UT-AFW4000NM |
要見積もり | - | - | - | 4kg/8N･m |
クランプ仕様：ISO Class 3 (ISO-14644) 吸着仕様：ISO Class 1 (ISO14644) |
4軸円筒座標型：4axis Cylindrical Coordinate | 500mm | 340° | 300mm or 450mm | 800mm/sec. | 200°/sec. | 250mm/sec. | 1.7sec./500mm | 2.2sec./340° | 2.2sec./450mm | 1.7sec./180° | - | 0-40℃ | 70% or less, No condensation | - | High Payload Type | - | XYZ±0.1mm, R±0.1° | 182° | 180°/sec. | 0.4-0.7MPa, 200L/min | |
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UT-AFX/W3000NM |
要見積もり | - | - | 1.0kg/arm (ハンドを含む) (Including E/E) | 30kg | ISO Class 1 (ISO-14644) | 3-axis Cylindrical Coordinate | 500mm | 340° | 300mm or 450mm | 1,000mm/sec | 200°/sec. | 250mm/sec. | 1.0sec/500mm | 2.2sec./340° | 1.5sec/300mm, 2.1sec/450mm |
XYZ方向：各±0.1mm XYZ direction ±0.1mm each |
- | 5-45℃ | 20-70% (結露なきこと)(No condensation) | - | - | -80kPaG or less, 10NL/min | - | - | - | -80kPaG or less, 10NL/min |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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